Hach MET ONE 6003 ユーザーマニュアル

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仕様ページの 91 スタートアップページの 104

総合情報ページの 92 操作ページの 105

設置ページの 96 メンテナンスページの 112

仕様

この仕様は予告なく変更されることがあります。

仕様詳細

寸法

(W × D ×

H)

13.56 x 8.93 x 12.06 cm

筐体 304 ステンレス鋼

光源 Long Life Laser

™

ダイオード、クラス

3B レーザー

重量

0.82 kg

汚染度

2

取り付けカテ

ゴリ

I

保護クラス

III

電源 9 ～ 28 VDC (電源: クラス 2 有限電源、< 150 VA)

消費電力 (最

大)

シリアルユニット/パルスユニット: 3.3 W、イーサネットユニッ

ト: 4.3 W、アナログ: 3.5 W、最大 1 A

動作周囲温度 5 ～ 40 °C、最高性能: 10 ～ 32 °C

保管温度 –40 ～ 70 °C

湿度作動時および保管時: 相対湿度 5 ～ 95%、結露なきこと

高度最大 2000 m

仕様詳細

ポートサイズモデル

6003、6005: 吸気チューブ - 内径 0.32 cm 用バーブ継手、

排気チューブ - 内径 0.64 cm 用バーブ継手

モデル 6013、6015: 吸気チューブ - 内径 0.64 cm 用バーブ継手、

排気チューブ - 内径 0.64 cm 用バーブ継手

出力信号オプ

ション

パルス、アナログ

4–20 mA、シリアル RS232 (Modbus RTU ま

たは FXB 通信プロトコル) (ネットワークなし)、シリアル

RS485 (Modbus RTU または FXB 通信プロトコル)、イーサネッ

ト (ModbusTCP プロトコル)

データメモリ

ー

1000 サンプル/レコード (バッファーがいっぱいになった場合

は、古いレコードから順に上書き)

サンプル流量モデル

6003、6005: 0.1 cfm (2.83 Lpm) ± 5%

モデル 6013、6015: 1.0 cfm (28.3 Lpm) ± 5%

インレット圧

力

周囲圧力～ 2.5 mmHg 負圧

真空要件 ≥ 406 mmHg (最小負圧)、

すべての装置で気流が発生している状

態で各装置で測定。

範囲モデル 6003: 0.3 μm ～ 10.0 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))

モデル 6005: 0.5 μm～ 10.0 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))

モデル 6013、6015: 0.5 μm～ 10.0 μm (1.0 cfm (28.3 リット

ル/分))

最小可測粒径モデル

6003: 0.3 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))

モデル 6005: 0.5 μm (0.1 cfm (2.83 リットル/分))

モデル 6013: 0.3 μm (1.0 cfm (28.3 リットル/分))

モデル 6015: 0.5 μm (1.0 cfm (28.3 リットル/分))

カウント効率モデル

6003: 0.3 μm で 50% (± 20%)、(最小感度の 1.5 倍で

100% ± 10%)

1

。

モデル 6005、6013、6015: 0.5 μm で 50% (± 20%)、(最小感度の

1.5 倍で 100% ± 10%)

1

。

日本語

91

仕様詳細

同時計数ロスモデル

6003、6005 (すべての出力オプション): 140,000,000 粒

子/m

3

(4,000,000 粒子/ft

3

)で 10%

モデル 6013、6015 (パルスを除くすべての出力オプション):

20,000,000 粒子/m

3

(566,000 粒子/ft

3

) で 10%

偽計数 5 分で 1 以下

認証

CE

1

ISO21501-4 に完全準拠

総合情報

いかなる場合も、製造元は、例えそのような損害が生じる可能性につい

て報告を受けていたとしても、本マニュアルに含まれるいかなる瑕疵ま

たは脱落から生じる直接的、間接的、特定、付随的または結果的に生じ

る損害に関して責を負いません。製造元は、通知または義務なしに、随

時本マニュアルおよび製品において、その記載を変更する権利を留保し

ます。改訂版は、製造元の Web サイト上にあります。

拡張マニュアルバージョン

追加情報はこのマニュアルの拡張バージョンの CD を参照してくださ

い。

安全情報

告知

メーカーは、本製品の目的外使用または誤用に起因する直接損害、偶発的損害、

結果的損害を含むあらゆる損害に対して、適用法で認められている範囲で一切責

任を負わないものとします。ユーザーは、適用に伴う危険性を特定したり、装置

が誤作動した場合にプロセスを保護するための適切な機構を設けることに関し

て、全責任を負うものとします。

この機器の開梱、設定または操作を行う前に、このマニュアルをすべて

よく読んでください。危険および注意の注意事項に注意を払ってくださ

い。これを怠ると、オペレータが重傷を負う可能性、あるいは機器が損

傷を受ける可能性があります。

本装置に備わっている保護機能が故障していないことを確認します。本

マニュアルで指定されている以外の方法で本装置を使用または設置しな

いでください。

危険情報の使用

危険

回避しなければ死亡または重傷につながる、潜在的または切迫した危険な状況を

示します。

警告

避けない場合、死亡事故や負傷が起こるかも知れない危険な状況を示します。

注意

軽傷または中傷事故の原因となる可能性のある危険な状況を示しています。

告知

回避しなければ、装置の損傷を引き起こす可能性のある状況を示します。特に注

意を要する情報。

使用上の注意ラベル

装置に取り付けてあるラベルとタグをすべてお読みください。これを怠

ると、人身傷害や装置の損傷につながるおそれがあります。測定器に記

載されたシンボルについては、使用上の注意が記載されたマニュアルを

参照してください。

このシンボルが測定器に記載されている場合、操作用の指示マニュア

ル、または安全情報を参照してください。

このシンボルが製品筐体またはバリア上に表示されている場合、感電

の危険があり、場合によっては感電死の原因となる恐れのあることを

示しています。

92

日本語

このシンボルは、機器内でレーザーデバイスが使用されていることを

示します。

このシンボルが表示された電気機器は、欧州廃棄システムにより

2005 年 8 月 12 日以降の廃棄処分が禁じられています。欧州地域規

制および国内規制

(EU 指令 2002/96/EC) に従い、欧州の電気機器ユ

ーザーは古くなったまたは使い切った機器をメーカーに無償返却す

る必要があります。

注

:

リサイクルのために返却する際には、機器の製造者または販売業者に連絡を

取り、使用済みの機器、製造者に供給された電気付属品、ならびにすべての補助

品を適切に廃棄するための指示を受けてください。

レーザーの安全性に関する情報

この装置は

、クラス 1 のレーザー製品です(CDRH Accession No.

9022243-029)。開くと、不可視レーザー光が出ます。ビームに直接触れ

ないようにしてください。内部コンポーネントの取り扱いは必ず工場認

定技術者が行うようにしてください。

この製品は、IEC/EN 60825-1 および 21 CFR 1040.10 に準拠しています

(2007 年 6 月 24 日付の Laser Notice No. 50 に準じた逸脱を除く)。

取得認証

カナダの障害発生機器規則、IECS-003、クラス A:

テスト記録のサポートはメーカーにあります。

このクラス A デジタル装置はカナダの障害発生機器規則の要件をすべて

満たします。

Cet appareil numèrique de classe A répond à toutes les exigences de la

réglementation canadienne sur les équipements provoquant des

interférences.

FCC PART 15、クラス「A」限度値

テスト記録のサポートはメーカーにあります。この機器は FCC 規則の

パート 15 に準拠します。運転は以下の条件を前提としています:

1. この装置が有害な干渉の原因とならないこと。

2. この装置が望ましくない動作の原因となる可能性のあるいかなる干

渉にも対応しなければなりません。

これらの規格への準拠に責任を持つ当事者による明示的承認を伴わなず

にこの装置に対する改変または改造を行うと、ユーザーはこの機器を使

用する権限を失う可能性があります。この装置は、FCC 規則のパート

15 に従って、

クラス A のデジタル機器の制限に準拠することが試験によ

って確認されています。これらの制限は、この機器が商用の環境で使用

されたときに、有害な干渉から適切に保護することを目的に設定されて

います。この機器は、無線周波数エネルギーを生成および使用するもの

で、取り扱い説明書に従って取り付けおよび使用しない場合にはそれを

放射する場合があり、無線通信に対して有害な干渉を発生させる可能性

があります。住宅地域における本装置の使用は有害な電波妨害を引き起

こすことがあり、その場合ユーザーは自己負担で電波妨害の問題を解決

する必要があります。以下の手法が干渉の問題を軽減するために使用可

能です。

1. 装置から電源を取り外して、電源が干渉源かどうかを確認します。

2. 装置が干渉を受けている装置と同じコンセントに接続されている場

合は、装置を別のコンセントに接続してください。

3. 妨害を受けている装置から本装置を離します。

4. 干渉を受けるデバイスの受信アンテナの位置を変更します。

5. 上記の手法を組み合わせてみます。

製品の概要

この装置は、レーザーダイオード光源と集光光学系によって浮遊粒子を

カウントします。図 1 を参照してください。接続されている外部真空シ

ステムによって、クリーンルームの空気がパーティクルカウンターに吸

引されます。

複数の装置をクリーンルーム内の異なる場所に設置して、空気品質を監

視することができます。カウントデータはユーザーが用意したセントラ

ルモニタリングソフトウェアに、適切な通信プロトコル経由で送信され

ます。セントラルモニタリングソフトウェアは、装置を遠隔操作するの

に使用します。

センサの流路は、VHP による標準的なクリーンルームの殺菌/洗浄サイク

ルで使用できるよう、過酸化水素ガス (VHP) に対する耐性を備えていま

す。

日本語

93

図 1 製品の概要

1 電源入力および通信コネクタ、10 ピ

ン

1

7 相対湿度 (RH)/温度センサ用ポート

2 真空源用継手 (クイックコネクト継

手)

8 真空源用継手 (代替位置)

3 サンプル吸気用継手 9 接続インジケーターライト

2

(表 2)

4 ステータスインジケーターライト

(表 1)

10 イーサネット RJ45 コネクタ

2

5 サービスポートとオプションのラ

イトスタック用ポート

11 電源入力コネクタ、5 ピン

2

6 DIP スイッチ、ネットワークアドレ

ス

1

イーサネットユニットを除くすべてのユニット

2

イーサネットユニットのみ

表 1 ステータスインジケーターライト

色表示システムのステータス

緑点滅

(3 秒) 正常、サンプリング中

点灯正常、サンプリング停止中

青点灯センサ故障

短い点滅 1 回、長い点滅 1 回気流異常

点滅通信エラー

赤点灯または点滅カウントアラーム

黄色点灯初期化

点滅カウントアラート

1

紫色点滅セットアップユーティリティ使用中

1

ユーザーが用意したセントラルモニタリングソフトウェアを使って、FX プロ

トコルではなく、ModBus プロトコルによってカウントアラートが発生したと

きに黄色のライトが点滅するように設定することができます。カウントアラ

ート設定は、セントラルモニタリングソフトウェアで選択します。

表 2 イーサネットインジケーターライト

色表示ステータス

黄色点灯接続済み

緑消灯

10Base-T

点灯

100Base-T

等速吸引プローブ

層流環境で最高の精度を得るためにも、必ずこの装置に付属されている

等速吸引プローブを使用してください。プローブ内の空気流速は、クリ

ーンルームやクリーンフードなどの典型的な垂直または水平層流環境の

流速とほぼ同じです。付属の等速吸引プローブでは、装置がクリーンル

ームの層流の代表的サンプルを採取できるように、

垂直方向 (または水平

方向) の流速は同じになります。等速吸引プローブを使用した場合と使

94

日本語

用しない場合のサンプリングの比較については、図 2 を参照してくださ

い。

図 2 等速吸引プローブの機能

1 非層流でプローブなし 3 層流でプローブなし。粒子を逃す

2 パーティクルカウンターへ 4 層流で等速吸引プローブあり。最

も正確

装置の構成

この装置はさまざまな構成で使用することができ、構成によって部品番

号が異なります。図 3 に部品番号の構造を示し、表 3 に部品番号コード

の説明を示します。

図 3 部品番号の構造

1 流量 3 排気位置 5 通信

2 感度 (最小) 4 流量測定

表

3 パラメーターコード

パラメー

ター

コード説明パラメー

ター

コード説明

流量

0 0.1 cfm

(感度

0.3 µm

および 0.5 µm

用)

流量測定

F

流量測定

機能あり

1 1.0 cfm

(感度 0.5 µm

専用)

N

流量測定

機能なし

日本語

95

表

3 パラメーターコード（続き）

パラメー

ター

コード説明パラメー

ター

コード説明

可測粒径

(最小)

3 0.3μm

通信

E

イーサネ

ット

5 0.5μm S

シリアル

入出力オ

プション

排気位置

D

下向き

(裏側)

A

アナログ

S

側面

例: 流量 0.1 cfm、感度 0.5 μm、排気ポート裏面、流量測定機能あり、RS485 通

信付き装置の部品番号は 2088605-DF-S と 20888600-485 になります。2 番目

の部品番号は、シリアル通信のタイプを特定するのに必要です (RS232 =

20888600-232、RS485 = 20888600-485、パルス = 20888600-PLS)。2 番目の部

品番号は、他の通信タイプでは必要ありません。

製品コンポーネント

すべてのコンポーネントがあることを確認します。図 4 を参照してくだ

さい。コンポーネントが不足していたり損傷していたりした場合は、直

ちに HACH Japan または弊社販売代理店にお問い合わせください。

図 4 装置のコンポーネント

1 MET ONE 6000 シリーズパーティ

クルカウンター

5 クラムシェル型 10 ピンコネクタ

3

2 チューブ付きサンプル (等速吸引)

プローブ

1

6 クラムシェル型 5 ピンコネクタ

4

3 チューブ付きサンプル (等速吸引)

プローブ

2

7 セットアップユーティリティ CD

4 DIN レール取り付けキット 8 サービスポートケーブル (8 ピン

DIN / 9 ピンシリアルコネクタ)

5

1

1.0 cfm ユニットのみ

2

0.1 cfm ユニットのみ

3

イーサネットユニットを除くすべてのユニット

4

イーサネットユニットのみ

5

1 注文につきサービスポートケーブル 1 本のみ付属

設置

取り付けのガイドライン

告知

洗浄または殺菌サイクルを開始するまで、真空ポンプを停止し、吸気継手にカバ

ーを取り付けてください。

96

日本語

告知

内部温度が高いと、装置のコンポーネントが損傷する可能性があります。

• 装置は、屋内の清潔で乾燥した、換気が良好で温度制御され、振動の

少ない場所に設置してください。

• クリーンルームを定期的に洗浄する場合は、装置をクリーンルームの

外に設置し、吸気チューブと真空チューブのみがクリーンルームに入

るようにしてください。または、装置をクリーンルーム内の密閉され

たボックス内に設置し、ボックスを通すようにして、すべてのチュー

ブとケーブルを装置に接続してください。密閉されたボックス内で装

置を作動させると、装置周囲の温度が上昇し、装置の性能および寿命

が低下することがあります。

• 直射日光の当たる場所、または熱源の近くで装置を作動させないでく

ださい。

• 装置はできるだけサンプル供給源の近くに設置してください。距離が

3 m 以下であることを確認してください。吸気チューブの長さが 3 m

を超えていると、1 μm より大きな粒子を採取できなくなる可能性があ

ります。吸気チューブを 3 m を超える長さにする必要がある場合は、

ポータブルパーティクルカウンターとこの装置の結果を比較してくだ

さい。

• 気流が常に下向きになるようにしてください。可能な場合は、装置を

サンプリング位置の真下に設置してください。

真空装置のガイドライン

• 真空ポンプは中心となる位置に設置してください。ネットワーク内の

すべての装置で十分な負圧を得られる必要があります。

• 負圧損失を最小限に抑えることが可能な分配マニホールドを使用して

ください。負圧分配で一般的に使用する材質として、ろう付け銅管、

スケジュール 80 PVC パイプ、または Cobolite

®

などのチューブがあ

ります。

• 分配マニホールドから各装置に負圧を供給するチューブの長さは短く

してください。各装置の設置場所では、適切なサイズの分配バルブお

よびバーブ継手を使用してください。

• システムの負圧損失を最小限にするためにも、ストレートアダプター

やエルボーの数、および真空源から装置へのチューブの長さを最小限

に抑えてください。

設置

装置の取り付け

装置を水平な場所に設置するか、次のいずれかの取り付けキットを使用

して壁面に取り付けます。

•

DIN レールキット (装置に付属) - 装置を壁面からすばやく取り外せる

ようにする場合に使用します。

• 壁取り付けブラケット (オプション) - 恒久的に設置する場合に使用し

ます。キットに付属の取扱説明書を参照してください。

DIN レールを使用して取り付ける場合は、図 5 の手順を参照してくださ

い。装置をレールから取り外すには、装置の下部を持ち上げます。

日本語

97

図 5 DIN レール取り付け

サンプルプローブの取り付け

取り付け前にサンプルプローブのガイドラインページの 99 を参照し

て、装置に汚れがつかないようにし、領域の代表サンプルをとるための

方法を確認してください。サンプル (等速吸引) プローブの位置は、カウ

ントの精度に重要です。

サンプルプローブのオプション

サンプルプローブ設置用のオプションキットも用意しています。図 6 を

参照してください。

• 直接取り付け - キットは不要です。サンプルプローブは、装置のサン

プル吸気継手の上に直接取り付けた短いチューブに取り付けます。直

接取り付け設置方法は、サンプル採取場所に装置を設置できる場合に

使用します。粒子のロスを最小限に抑えるためには、直接取り付け設

置方法を使用してください。

• 壁取り付け、90 ° - プローブは、

ステンレススチール製チューブ (90 °)

とウォールブラケットに接続されています。

• T タイプウォールブラケット - サンプルプローブは、ウォールブラケ

ットに取り付けます。チューブを切断してプローブをカウンターに接

続します。

• 垂直壁取り付け - サンプルプローブは、ステンレススチール製チュー

ブとブラケットに接続されています。垂直壁取り付け設置方法は、ス

テンレススチール製チューブの機器で使用します。

98

日本語

図 6 サンプルプローブの設置方法

1 直接取り付け 3 垂直壁取り付け

2 壁取り付け、90 ° 4 T タイプウォールブラケット

サンプルプローブのガイドライン

告知

この装置は、乾燥粘着剤や他の化学薬品から発した気体が含まれた空気を監視す

るのに使用しないでください。これらの気体によりセンサの光学系や他の内部部

品が覆われて、除去できなくなってしまう可能性があります。

告知

この装置は、腐食性のある気体が含まれた空気を監視するのに使用しないでくだ

さい。これらの気体により、光学系やカウンターの電子部品はすぐに永久的な損

傷を受けてしまいます。

• 層流 - 2.3 m

2

の表面積ごとにサンプルプローブを少なくとも 1 つ設

置します。

• 乱流 - 各クリーンルームに、サンプルプローブを少なくとも 2 つ設置

します。

• サンプル (等速吸引) プローブは、

気流と同じ向きになるように設置し

てください。図 2 ページの 95 を参照してください。

• サンプルプローブは、遊離物質、埃、液体および飛沫から 30 cm 以上

離してください。

• サンプルプローブは、装置の排気ファンなど、汚染源となり得る装置

から 30 cm 以上離してください。

• この装置は、表 4 に示している物質が含まれた空気を監視するのに使

用しないでください。

表

4 汚染物質

物質損傷

粉末センサが汚染され、結果が不正確になったり、装置が故障する

液体センサの内部光学系が汚染され、装置の校正が変化する

注

:

液体は、油滴の状態で空気中に存在することもあります。

煙霧センサが汚染される

チューブの取り付け

チューブフックまたはケーブルタイを使用してチューブをおさえて、チ

ューブが折れ曲がらないようにします。チューブが折れ曲がると、空気

流量が減少し、次のような問題が発生します:

• 吸気流量が減少すると、チューブの内壁に粒子が堆積するようになり、

粒子がカウントされなくなります。堆積された粒子はランダムに遊離

し、カウントレベルのスパイクが生じる原因になります。

用意するもの:

• 吸気チューブ - Hytrel

®

Bevaline、Tygon

®

または同等品

• 真空チューブ - Hytrel Bevaline、Tygon または同等品

• チューブフックまたはケーブルタイ

日本語

99

1. 装置とサンプルプローブを接続することができる長さに吸気チュー

ブを切断します。チューブはできるだけ短くしてください。長さが

3 m 以下であることを確認してください。

2. カウンターを真空源と接続するための真空チューブを切断します。

チューブはできるだけ短くしてください。

3. 取り付け時にチューブに異物が入り込まないように、

チューブの端に

カバーを取り付けます。

4. フックまたはケーブルタイを 1.2 m 以下の間隔で取り付けて、チュー

ブを固定します。チューブの曲げ半径が 10 cm 以上になっていて、

空気流量が減少しないことを確認します。

5. 吸気チューブを装置の吸気用継手に接続します。チューブのもう一

方の端を付属のサンプルプローブに接続します。

6. 真空チューブをカウンターの裏面 (または側面) にある継手に接続し

ます。真空チューブのもう一方の端は、クリーンルームのサンプリン

グ準備が整うまで接続しないでください。

配線

配線にあたっての安全

警告

感電死の危険。ローカル電源切断へのアクセスが容易であることを確

認します。

告知

電気配線を接続する前に必ず装置の電源を切断してください。

装置への接続が行われる間は、すべての安全に関する記載事項に従って

ください。

電源に接続

外部電源 (24 VDC) を 5 ピンまたは 10 ピンコネクタに接続します。配

線情報については、図 7 と表

5 または図 8 と表 6 を参照してください。

外部電源の出力電圧が 28 VDC を超えていないことを確認してくださ

い。

通信オプションに応じて、外部電源に接続できる装置の最大数は異なり

ます。詳細については、技術サポートにお問い合わせください。

5 ピンコネクタの配線については、図 9 に示す手順を参照してください。

10 ピンコネクタの配線については、図 10 に示す手順を参照してくださ

い。

図 7 5 ピンコネクタ

表

5 5 ピンコネクタ配線

ピン説明ピン説明

1 — 4

ユニット主電源 (9 ～ 28 VDC、最大

1 A)

2 — 5

コモン

3

コモン (シールド接地)

図 8 10 ピンコネクタ

100

日本語

表 6 10 ピンコネクタ配線

ピン RS485 ユニット RS232 ユニットパルスユニッ

ト

アナログユニット

1 RS485 A — Ch1+

24 VDC 外部ループ

電源

2 RS485 B — Ch1-

チャネル

1 ループ出

力

3 RS485 A RS232 TX Ch2+

チャネル 2 ループ出

力

4 RS485 B RS232 RX Ch2-

チャネル

3 ループ出

力

5 — — —

チャネル 4 ループ出

力

6 — —

ステータス +

—

7 — —

ステータス -

—

8 台コモン (シールド接地)

9

ユニット主電源 (9 ～ 28 VDC、最大 1 A)

10

コモン

図 9 5 ピンコネクタ配線

日本語

101

図 10 10 ピンコネクタ配線

シリアル通信のインストール

シリアル通信機能 (RS485、RS232 またはパルス) のある装置を接続する

方法については、図 8 ページの 100 および表 6 ページの 101 を参照して

ください。

ネットワーク配線

最大 32 台の装置 (それぞれ 12 K の負荷) を、RS485 Modbus または

FXB 通信の RS485 (EIA-485) ネットワークに含めることができます。

Belden 9841 などのシリアル通信用の高品質ケーブルを使用してくださ

い。ネットワークの全長を 1200 m 以下にすることを推奨します。

図 11 に、一般的なネットワーク配線図を示します。

図 11 ネットワーク配線

1 パーティクルカウンター 5 ケーブル

2 パーティクルカウンター 6 RS232 から RS485 へのコンバータ

3 追加のパーティクルカウンターへ 7 ネットワークケーブル

4 PC

イーサネットへの接続

イーサネット通信機能のある装置装置を、イーサネット規格 10Base-T

または 100Base-T ネットワークに接続します。データ伝送が断続的に

102

日本語

ならないようにするためにも、ケーブルがネットワークの速度に対応し

ていることを確認してください。この装置では、イーサネット規格

10Base-T がデータを伝送するのに十分であり、

取り付け誤差に対しても

より寛容です。

• 長さ - 1 本のケーブルの最大長さ 100 m (リピーターを使用して距離

を延長可能)。

• リピーター - 最大 4 台

• コネクタタイプ - RJ45 (標準的なイーサネット配線規格 T-568B)

アナログ出力の接続

アナログ出力機能のある装置をデータ収集システムに接続します。配線

情報については、図 8 ページの 100 と表 6 ページの 101 を参照してくだ

さい。

+24 VDC 電源を使用しているときは、この電源を 4–20 mA ループ電源

として使用することもできます(ループ用の出力が十分にある場合)。

図 12 を参照してください。図 13 に、許容される合計ループ抵抗の上限

を示します (負荷と配線の組み合わせ)。

アナログ出力機能のある装置は、指定されたサンプリング時間のカウン

ト数に比例した 4–20 mA 信号を送信します。アナログ出力は、各サンプ

ル期間の最後に更新されます。データ収集システムは信号を受信しま

す。アナログ出力機能のある装置では、2 つまたは 4 つのチャネルサイ

ズを指定できます。アナログユニットは、ネットワーク構成では使用で

きません。

セットアップユーティリティソフトウェアを使用して、20 mA 信号に対

応する最大カウント数を設定します。装置を設定するページの 105 を

参照してください。

電源が投入されると、チャネルのアナログ出力は 4 mA になります。電

源が遮断された場合、またはセンサエラーや流量エラーがある場合、チ

ャネルのアナログ出力は 2 mA 未満になります。ユーザーがチャネルを

無効にした場合、チャネル出力は 2mA 未満になります。信号が 4 mA

(ゼロカウント値) より低くなるとデータ収集システムの数値は負にな

り、これにより装置からの信号に問題があることがわかります。

4 mA (ゼロカウント値) より低くなった信号についてアラームを発する

ようセントラルモニタリングソフトウェアを構成して、センサ、フロー、

または電力損失のアラームを必要に応じて鳴らすことができます。

図 12 ループ電源用の構成

1 コモンループ電源用の構成 5 コモン

2 独立ループ電源用の構成 6 4–20 mA 収集システム

3 24 VDC ループ電源 7 24 VDC 電源

4 + ループ電源 8 + 電源

日本語

103

図 13 電流ループ動作の上限

1 ループ供給電圧 3 動作範囲外 (線の下の部分)

2 許容動作範囲 (線の上の部分) 4 合計ループ抵抗の上限

スタートアップ

外表面の洗浄

告知

装置に液体または過酸化水素ガス (VHP) を直接吹き付けないでください。溶液

がカウンターの流路や電子部品に浸入すると、センサが損傷します。

告知

殺菌薬ガスが装置の筐体に入り込んだり、装置の電子部品に接触しないようにし

てください。

外表面は、イソプロピルアルコール (IPA) で湿らせた糸くずの出ないテ

ィッシュで拭いてください。サンプル (等速吸引) プローブは、加圧蒸気

滅菌器で洗浄することができます。

内表面の洗浄

ゼロカウントフィルターを使用して、装置の内表面および吸気チューブ

から粒、糸くず、埃などの異物を取り除きます。カウントがゼロになれ

ば、内表面と吸気チューブは清浄な状態になっています。

用意するもの: ゼロカウントフィルター

1. ゼロカウントフィルターを吸気チューブに接続します。

ゼロカウントフィルターにより、

外部粒子が装置に吸入されないよう

になります。

2. サンプルの採取を開始し、装置を 30 分以上作動させます。手動操作

ページの 111 を参照してください。

3. クリーンルームの空気を、粒子カウントが 0 ～ 1 になるまで 5 分間

隔で監視し続けます。

オプション: データを記録するには、[Sample Timing: Sample (サンプ

ルタイミング: サンプル)] 設定を 5 分に設定します。装置を設定する

ページの 105 を参照してください。

4. 5 分間のサンプル期間を 9 回または 10 回繰り返した後にサンプル粒

子カウントが 0 ～ 1 にならない場合は、装置を一晩中パージしてく

ださい。装置のパージページの 104 を参照してください。

装置のパージ

パージを実行して、粒子カウントが 0～1 になるようにします。通常、パ

ージは、装置のベースライン基準が存在することを確認するためのテス

ト前に行います。

1. 吸気チューブをサンプルプローブ端から約 2.5 cm 切断して、伸びや

キズのある部分を取り除きます。

2. ゼロカウントフィルターを吸気チューブに取り付けます。

3. 装置を 24 時間作動させます。

4. 24 時間後に粒子カウントが 0 ～ 1 であることが表示されない場合

は、吸気チューブから粒子を取り込んでいることを確認します。

a. ゼロカウントフィルターを直接吸気継手に取り付けます。

b. さらに装置を 15 分間作動させます。

104

日本語

c. クリーンルームの空気を 5 分間監視し、結果を記録します。5 分

間のサンプリングで粒子カウントが 0 ～ 1 になるまでこの手順

を最大 4 回繰り返します。

d. 粒子カウントが 0 ～ 1 であることが表示された場合、

吸気チュー

ブから粒子を取り込んでいます。吸気チューブを交換します。

e. 粒子カウントが 0～1 にならなかった場合は、技術サポートにお

問い合わせください。

操作

設定

初期設定時には、装置を PC に接続します。

初期設定完了後には、PC に直接接続するか、ModbusTCP 接続経由で設

定を変更することができます。ネットワーク経由での設定では、LAN 設

定のみを変更できます。ネットワーク経由での LAN 設定の指定

ページの 108 を参照してください。

PC への接続

用意するもの:

• セットアップユーティリティ CD

• サービスポートケーブル

• Windows

®

2000 Professional、Windows XP Professional、Windows

Vista (32 ビット)、Windows 7 (32 ビットまたは 64 ビット、XP エミ

ュレーションモード) がインストールされている PC

• PC に RS232 ポートがない場合は、USB/RS232 変換アダプタ

1. PC に Microsoft .Net Framework がインストールされていることを確

認します。インストールされていない場合は、セットアップユーティ

リティ CD の dotnetfx.exe ファイルを実行してアプリケーションを

インストールします。

注

:

ユーザーは

PC

に

Administrator

としてログオンする必要があります。

2. セットアップユーティリティ CD の SetupUtility.exe を PC にコピー

します。

3. サービスポートケーブルを装置のサービスポートと PC の COM ポ

ートに接続します。

装置を設定する

セットアップユーティリティソフトウェアを使用して、各装置に保存す

る設定を行います。装置に電源が供給されると、新しい設定が検索され

ます。新しい設定が見つからなかった場合は、以前に保存した設定が使

用されます。

1. PC にインストールされている SetupUtility.exe ファイルを開いて、

セ

ットアップユーティリティプログラムを起動します。

2. [Basic Setup (基本セットアップ)] タブを選択します。

3. ウィンドウの右側で [Port (ポート)] フィールドを探します。装置が

接続されている PC の COM ポートを選択します。

4. [Read Instrument (装置の読み取り)] をクリックします。ユーティ

リティにより、装置に保存されているデータが読み取られます。

5. [Instrument Information (装置情報)] セクションに表示されているデ

ータ (モデル番号、通信オプション、ファームウェアバージョン、通

信アドレス (該当する場合)) が正しいことを確認します。

6. [General (全般)] セクションで、設定を選択します。

オプション説明

カウントモードカウントモードを設定します。アナログユニット

のアナログ出力には影響しません。

差分

- 各チャネルの表示されている粒子カウント

は、各チャネルサイズのカウントです。

積算 (デフォルト) - 各チャネルの表示されている

粒子カウントは、各チャネルサイズとそれよりも

大きいチャネルサイズのカウントです。たとえ

ば、チャネルが 0.3 µm の場合、0.3 µm 以上のサ

イズの粒子がカウントに含まれます。

Sample Timing:

Sample (サンプルタイ

ミング: サンプル)

各サンプルの時間を設定します (デフォルト =

00:01:00 = 1 分)。

Sample Timing: Hold

(サンプルタイミング: 待

機)

サンプル採取後にデータ収集が停止するまでの時

間を設定します (デフォルト = 00:00:00)。

カウント周期データ収集が停止して待機時間が開始する前に取

得されるサンプル数を設定します。

日本語

105

オプション説明

Slave

Address/Location ID

(スレーブアドレス/場所

ID)

変更しないでください (デフォルト = 1)。

Comm Timeout (通信タ

イムアウト)

通信エラーが発生してから通信 (Comm) アラーム

が発生するまでの、秒数を設定します。通信アラ

ームを無効にするには、0 に設定します。アナロ

グ出力機能のある装置の場合は、0 に設定します。

場所の名前装置固有の ID を設定します。

System Date/Time (シ

ステム日時)

日付 (YYYY/MM/DD) と時刻 (HH:MM:SS、24 時間

形式) を設定します。

Moving Cumulative

Counts (可動積算カウン

ト)

加算してチャネル 3 (およびチャネル 4) に表示す

るチャネル 1 (またはチャネル 2) のサンプルカウ

ント数を設定します。チャネル 3 にはチャネル

1 の積算カウントが表示され、チャネル 4 にはチ

ャネル 2 の積算カウントが表示されます。

Store Partial Records

(部分的なレコードの保

存)

部分的なサンプルデータがバッファーに保存され

るようになります。サンプリングを完了する前に

停止した場合に、部分的なサンプルデータになり

ます。

Temp Units °C (温度単

位)

温度単位が [Fahrenheit (華氏)] (デフォルト) から

[Celsius (摂氏)] に変わります。

Remote LCD (リモート

LCD)

使用不可 (無効)

カウントアラームカウントアラームをトリガーする、各チャネルの

最小粒子数を設定します。

チャネルサイズを確認するには、[Data Display (デ

ータ表示)] タブを選択します。図 15

ページの 111 を参照してください。

オプション説明

サンプルモードサンプルモードを設定します。

Auto (自動) - 装置に電源が投入されるとサンプル

データの収集が自動的に開始されます。

Manual (手動) - 装置に電源が投入されてもサンプ

ルデータの収集は自動的に開始されません。サン

プルデータの収集を手動で開始する必要がありま

す。手動操作ページの 111 を参照してくださ

い。

注

:

アナログ出力のあるイーサネットユニットは、

セントラルモニタリングソフトウェアと双方向通

信を行うことができないため、

[Manual (

手動

)]

に

設定することはできません。これらのユニット

は、常に

[Auto (

自動

)]

モードで開始します。

流量単位空気流量の単位を設定します。オプション: CFM

(立法フィート/分) または LPM (リットル/分)。

7. オプションの外部ライトスタックを装置に接続した場合は、

[Diagnostics (診断)] セクションを使用して、

いずれかの色でステータ

スインジケーターライトが点滅する (または点滅しない) ように設定

して、配線が正しいことがわかるようにします。

注

:

診断設定を保存することはできず、それらは装置の作動に影響を与えませ

ん。

8. アナログ出力のあるユニットの場合は、[Analog (アナログ)] セクショ

ンで 4–20 mA アナログ出力の設定を変更します。

オプション説明

Full Scale

(フルスケー

ル)

20 mA 出力信号に対応する各チャネルの粒子カウントを設定

します (デフォルト = 1000)。粒子カウント 0 は、4 mA 出力

信号に対応します。

注

:

カウントアラームは、セントラルモニタリングソフトウェ

アに報告されません。必要に応じて、カウントアラームをトリ

ガーするようにセントラルモニタリングソフトウェアを設定

してください。

Output

State (出力

状態)

出力状態を設定します。通常の操作の場合は、[Normal (標準)]

に設定します。

Zero (ゼロ) - 出力を 4 mA で保持します。

Span (スパン) - 出力を 20 mA で保持します。

106

日本語

9. シリアル通信の場合は (RS485 ユニットのみ)、[Serial (シリアル)] セ

クションで通信設定を変更します。オプション: FXB、Modbus、

R48XX Compatibility (R48XX 互換)、FXB1。[Modbus] を選択した場

合は、

スレーブアドレスを入力します。アドレスが 31 以下の場合は、

装置の裏側にある DIP スイッチを使用してアドレスを設定します。

Modbus RTU プロトコルを使用する RS485 シリアル出力

ページの 109 を参照してください。

注

: 32

以上のアドレスを入力した場合、

DIP

スイッチの設定は無視され、入力

した値が使用されます。

10. パルス通信の場合は (RS485 ユニットのみ)、[Pulse (パルス)] セクシ

ョンでチャネル 2 のパルス出力のチャネルサイズを選択します。チ

ャネル 1 のパルス出力は常にチャネル 1 の粒子サイズに対応しま

す。

11. イーサネット通信の場合は (イーサネットユニットのみ)、イーサネッ

ト設定の指定ページの 107 を参照してください。

12. [Save Settings (設定の保存)] をクリックして変更内容を保存しま

す。

イーサネット設定の指定

1. アナログ出力機能のないイーサネットユニットのイーサネット設定

は、[Ethernet (イーサネット)] セクションで変更します。イーサネッ

トの設定は、必ずネットワークに精通している方が変更してくださ

い。

オプション説明

MAC 媒体アクセス制御

- 恒久的な固有のハードウェアアド

レス (読み取り専用)

オプション説明

DHCP/APIPA DHCP サーバーに接続して、静的または動的 IP アド

レスを有効または無効にします (デフォルト = 無効)。

有効にした場合、装置は電源が供給されたときに IP

アドレスとサブネットマスクを自動的に取得します。

DHCP サーバーを利用できない場合、装置は IP アド

レスとサブネットマスクに APIPA を使用します。

• APIPA IP アドレス範囲: 169.254.0.0 ～

169.254.255.255

• サブネットマスク: 255.255.0.0 (クラス B ネット

ワーク)

IP アドレス静的 IP アドレスの場合、LAN 接続の各装置は固有の

IP アドレスを持っている必要があります。範囲:

169.254.0.0 ～ 169.254.255.255 (デフォルト =

169.254.1.2)。

サブネットマスク 1 つのソフトウェアパッケージ (FMS) と通信する同

じタイプの装置は、同じサブネットマスク (デフォル

ト = 255.255.0.0) を使用します。範囲: 0 ～ 255、整数

のみ。

Server Port (サーバ

ーポート)

ModbusTCP サーバーリスンポート (デフォルト =

502)。範囲: 0 ～ 65535、整数のみ。

Client Port (クライ

アントポート)

使用不可 (無効)

ゲートウェイ別のネットワークへのルーターまたはアクセスポイ

ント (デフォルト = 169.254.1.5)

Remote Server IP

(リモートサーバー

IP)

使用不可 (無効)

イーサネットプロト

コル

イーサネットプロトコルを Modbus または FXB に設

定します。

2. アナログ出力機能のあるイーサネットユニットの場合は、ネットワー

ク経由での

LAN 設定の指定ページの 108 を参照してイーサネット

設定を行います。

3. [Save Settings (設定の保存)] をクリックして変更内容を保存しま

す。

日本語

107

ネットワーク経由での LAN 設定の指定

1. セットアップユーティリティソフトウェアで、[LAN Setup (LAN セ

ットアップ)] タブを選択します。ソフトウェアにより LAN 装置が検

索され、見つかった LAN 装置が表示されます。

2. 装置を選択して、LAN 装置の設定を表示します。

3. LAN 設定を変更します。オプションについてはイーサネット設定の

指定ページの 107 を参照してください。

4.

[Save Settings (設定の保存)] をクリックして変更内容を保存しま

す。

アナログ出力のテスト

アナログ出力機能のある装置の場合は、アナログ出力テストを実施しま

す。

1. アナログ出力を、データ収集システムの負荷抵抗器に接続します。

注

:

または、アナログ出力の経路に精度

0.1 %

および容量

0.25 W

以上の一連の

負荷抵抗器を取り付けます。通常、

100

、

250

、

500 Ω

の負荷抵抗器を使用しま

す。

2. 微量の粒子を装置に流して、テストチャネルでカウントします。

注

:

カウントする方法の

1

つとして、ゼロカウントフィルターを使用し、フィ

ルターと装置の間のチューブにピンホールをあける方法があります。

3. セットアップユーティリティソフトウェアの [Basic Setup (基本セッ

トアップ)] タブで、一時的に次のように設定します。

• Count Cycles (カウント周期) — 1

• Sample Timing: Hold (サンプルタイミング: 保持) - 10 秒以上

4. [Save Settings (設定の保存)]をクリックします。

5. [Data Display (データ表示)] タブを選択し、[Monitor (監視)] が表示さ

れたらそれをクリックし、サンプルが取得されるたびに表示データが

更新されるようにします。

6. [Sample (サンプル)] が表示されたらそれをクリックして、サンプル

の採取を開始します。

7. [Status (ステータス)] の値が [Count (カウント)] から [Stop (停止)] に

変わったら、各チャネルの負荷抵抗器前後の電圧を測定します。ま

た、ディスプレイに表示される各チャネルのカウントも書きとめてく

ださい。

8. 次の式を使用して、

表示されたカウントから予想される電圧を計算し

ます。電圧の測定値と計算値が一致することを確認してください。

電圧 = (((SC ÷ FC × 16) + 4) ÷ 1000) × RL

各変数は以下のとおりです。

SC = サンプル期間終了時のサンプルカウント

FC = フルスケールチャネルカウントセットアップユーティリティソ

フトウェアのアナログ設定を参照してください。

RL = 負荷抵抗器の値 (オーム単位)

フルスケールチャネルカウントが 1000 で、100、250、および

500 オームの抵抗器を使用した場合の予想される出力電圧を表 7 に

示します。

9. 再度テストを行う場合は、手順 7 ～ 8 を実行します。

10. 流量計のあるユニットの場合は、装置から集中真空ポンプを一時的に

取り外します。

11. 流量アラームが発生しているときに、各チャネルの負荷抵抗器前後の

電圧を測定します。

12. 次の式を使用して、予想される電圧を計算します。電圧の測定値と計

算値が一致することを確認してください。

電圧 = < (0.002 × RL)

変数は次のとおりです。RL は負荷抵抗器の値 (オーム単位)

例: 100 オームの抵抗器の場合、電圧は 0.20 V 未満になります。

13. [Basic Setup (基本セットアップ)] タブで、設定を前の値に戻します。

14. [Save Settings (設定の保存)]をクリックします。

表 7 100、250、および 500 オームの抵抗器での出力電圧

サンプルカウント 100 Ω 250Ω 500Ω

0 0.40 V 1.00 V 2.00 V

100 0.56 V 1.40 V 2.80 V

200 0.72 V 1.80 V 3.60 V

300 0.88 V 2.20 V 4.40 V

400 1.04 V 2.60 V 5.20 V

500 1.20 V 3.00 V 6.00 V

108

日本語

表 7 100、250、および

500 オームの抵抗器での出力電圧（続き）

サンプルカウント 100 Ω 250Ω 500Ω

600 1.36 V 3.40 V 6.80 V

700 1.52 V 3.80 V 7.60 V

800 1.68 V 4.20 V 8.40 V

900 1.84 V 4.60 V 9.20 V

1000 2.00 V 5.00 V 10.00 V

Modbus RTU プロトコルを使用する RS485 シリアル出

力

RS485 Modbus 通信オプションを備えた装置は、業界標準の Modbus

RTU プロトコルを使用します。この通信モードでは、

一連のレジスター

が測定結果と動作パラメーターに関するデータを保持します。

ModbusTCP 接続が確立されると、Modbus レジスターマップ内のすべて

の設定オプションを使用できるようになります。Modbus レジスターマ

ップについては、当社の Web サイトを参照してください。Modbus RTU

プロトコルを使ってこれらのレジスターを通じて装置と通信するための

ドライバーを記述します。

RS485 シリアルネットワーク回路では、最大 32 台の装置および制御用

コンピューターと通信することができます。1 度に 1 台の装置のみがデ

ータを伝送することができます。各装置は固有の装置アドレスを持って

いる必要があります。

1. 装置を裏返します。DIP スイッチは装置の裏面にあります。

2. DIP スイッチの設定を変更して、装置の固有なネットワークアドレス

を選択します。表 8 を参照してください。

注

:

アドレス

0

は、

FXB

プロトコルでのみ使用できます。アドレス

0

は、

Modbus RTU

のブロードキャストアドレス用に予約されています。

Modbus

プ

ロトコルでアドレス

0

を設定した場合、装置はアドレス

1

を使用します。

表 8 ネットワークアドレスと DIP スイッチの設定

ネットワー

クアドレス

スイッチ 1 スイッチ 2 スイッチ 3 スイッチ 4 スイッチ 5

0 オフオフオフオフオフ

1 点灯オフオフオフオフ

2 オフオンオフオフオフ

3 オンオンオフオフオフ

4 オフオフオンオフオフ

5 オンオフオンオフオフ

6 オフオンオンオフオフ

7 オンオンオンオフオフ

8 オフオフオフオンオフ

9 オンオフオフオンオフ

10 オフオンオフオンオフ

11 オンオンオフオンオフ

12 オフオフオンオンオフ

13 オンオフオンオンオフ

14 オフオンオンオンオフ

15 オンオンオンオンオフ

16 オフオフオフオフオン

17 オンオフオフオフオン

18 オフオンオフオフオン

19 オンオンオフオフオン

20 オフオフオンオフオン

21 オンオフオンオフオン

22 オフオンオンオフオン

日本語

109

表 8 ネットワークアドレスと DIP スイッチの設定（続き）

ネットワー

クアドレス

スイッチ 1 スイッチ 2 スイッチ 3 スイッチ 4 スイッチ 5

23 オンオンオンオフオン

24 オフオフオフオンオン

25 オンオフオフオンオン

26 オフオンオフオンオン

27 オンオンオフオンオン

28 オフオフオンオンオン

29 オンオフオンオンオン

30 オフオンオンオンオン

31 オンオンオンオンオン

FXB プロトコルを使用する RS485 シリアル出力

RS485 FXB 通信オプションを備えた装置は、業界標準の FXB プロトコ

ルを使用します。FXB プロトコルの情報については、当社の Web サイ

トを参照してください。

パルス通信

パルス通信オプションを備えた装置は、

粒子検出時に 8-µs パルス信号を

送信します。図 14 を参照してください。外部パルスカウンターまたは

データ収集システムは、パルス信号を受信して、パルスを粒子としてカ

ウントします。

パルス通信を備えた装置には、2 つのパルス出力チャネル (Ch 1 と Ch 2)

があります。チャネル 1 は、チャネル 1 の粒子サイズが検出されたとき

にパルス信号を送信します。チャネル 2 は、ユーザーが選択したチャネ

ルサイズが検出されたときにパルス信号を送信します。

パルス通信には、アクティブなアラームが存在すると低から高になるス

テータス出力信号が含まれます。パルス通信は、ネットワーク構成では

使用できません。

パルス通信装置のネットワークアドレスは 1 に設定します。表 8

ページの 109 を参照してください。

パルス信号は、次のいずれかのカウントモードで送信できます。

• 差分モード (デフォルト) - 粒子が 1 番目と

2 番目のチャネルサイズし

きい値の間である場合に、チャネル 1 で信号が送信されます。粒子が、

ユーザーが選択したチャネルサイズしきい値よりも大きい場合に、チ

ャネル 2 で信号が送信されます。

• 積算モード - 粒子が 1 番目または 2 番目のチャネルサイズしきい値よ

りも大きい場合に、チャネル 1 で信号が送信されます。粒子が、ユー

ザーが選択したチャネルサイズしきい値よりも大きい場合に、チャネ

ル 2 で信号が送信されます。

図 14 差分カウントモードと積算カウントモードの例

1 カウンターから送信されたパルス

信号

4 チャネル 1

2 差分モードと積算モードでのデー

タ転送

5 差分カウント - 0.3 µm 粒子

x 1、

5.0 µm 粒子 x 2

3 チャネル 2 6 積算カウント - 0.3 µm 粒子 x 3、

5.0 µm 粒子 x 2

110

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