SM－606904
取 扱 説 明 書
電動アクチュエータ
ＥＴＳシリーズ
食品製造工程向け
ＥＴＳ ＦＰシリーズ
二次電池対応
ＥＴＳ Ｐ４シリーズ
● 製品をお使いになる前に、この取扱説明書を必ず
お読みください。
● 特に安全に関する記述は、注意深くお読みください。
● この取扱説明書は必要な時にすぐ取り出して
読めるように大切に保管しておいてください。
第6版
<SM-606904>
1
本製品を安全にご使用いただくために
（ご使用になる前に必ずお読みください）
本製品の据付、運転、保守・点検の前に必ずこの取扱説明書・カタログ・技術資料および付属書類をすべて
熟読し、正しくご使用ください。
本製品は、一般産業機械用装置・部品として設計、製造されたものです。取り扱いは、機器や安全に関する
十分な知識を持った方が行ってください。知識を持たない人や誤った取扱いが原因で引き起こされた事故に関
して、当社は責任を負いかねます。お客様によって使用される用途は多岐にわたるため、当社ではそれらを把
握することができません。ご使用条件によっては、性能が発揮できない場合や事故につながる場合があります
ので、お客様が用途、用法に合わせて製品の仕様の確認および使用法をよく理解してから決定してください。
本製品には、さまざまな安全策を実施していますが、お客様の誤った取り扱いによって、事故につながる場
合があります。 そのようなことがないためにも、必ず取扱説明書を熟読し内容を十分にご理解いただ
いたうえでご使用ください。
本文中に記載してある取扱注意事項とあわせて下記項目についてもご注意ください。
以下に示す注意事項は、製品を正しく安全にお使いいただき、人体への危害や財産の損害を未然に防止する
ためのものです。
この取扱説明書では、安全注意事項を「危険」「警告」「注意」にランク分けしています。
なお、『注意』や『警告』であっても、状況によっては重大な結果を招く可能性があります。
いずれも重要な内容を記載しています。ご熟読の上、十分に注意してお取扱いください。
また本取扱説明書は、必要なときにいつでも読めるよう大切に保管するとともに、必ず最終ユーザ様まで、
お届けいただきますようお願いいたします。
装置の安全性確保のために、危険、警告、注意の各事項を必ず守ってください。
危 険
取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定さ
れ、かつ危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合
警 告
取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定さ
れる場合
注 意
取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的傷害のみが発生する危険な状
態が生じることが想定される場合
<SM-606904>
- 2 -
下記の用途に使用しないでください。
・ 人命および身体の維持、管理等に関わる医療器具
・ 人の移動や搬送を目的とする機構、機械装置
・ 機械装置の重要保安部品
<設置>
・ 発火物、引火物、爆発物等の危険物が存在する場所では使用しないでください。発火、引火、爆発の可能性
があります。
・ 製品に水滴、油滴などがかからないようにしてください。火災、故障の原因になります。
・ 製品を取付ける際には、必ず確実な保持、固定（ワークを含む）を行ってください。製品の転倒、落下、異常作
動等によって、ケガをする可能性があります。
<保守・点検・修理>
・ 配線作業や点検は専門の技術者が行ってください。
・ 製品を、据付けてから配線してください。感電の原因になります。
・ 濡れた手での作業はしないでください。感電の原因になります。
・ 仕様範囲内で使用してください。
<設計・選定・設置>
・ 人体に危険を及ぼす恐れのある場合には、保護カバーを取り付けてください。製品が作動できる状態で、製
品の作動範囲に立ち入らないでください。製品が不意に動くなどして、ケガをする可能性があります。
可動部分により人体に危険を及ぼすことないように対策を施してください。
・ 非常停止、停電などシステムの異常時に、機械が停止する場合、装置の破損・人身事故などが発生しないよ
う、安全回路あるいは装置の設計をしてください。
・ 非常停止、異常停止後に再起動する場合の作動の状態を考慮してください。再起動により、人体または装置
に損害を与えないように対策をしてください。
・ 室内で湿気の少ない場所に据付けてください。雨水がかかる場所や、湿気の多い場所(湿度 85%以上、結露
のある場所)では、漏電や火災事故を起こす危険があります。
・ 使用・保存温度を守り、結露のない状態で使用・保存をしてください。
（保存温度：-10℃～50℃、保存湿度：35%～80%、使用温度：0℃～40℃、使用湿度：35%～80%）
製品の異常や寿命低下の原因になります。熱がこもる場合は換気してください。
・ 直射日光・粉塵・発熱体の近くおよび腐食性ガス・爆発性ガス・引火性ガス・可燃物のない場所に設置してく
ださい。また、本製品は耐薬品性に関して考慮されておりません。
このような環境での使用は本製品の故障・作動不良あるいは、爆発・発火の原因になります。
・ 製品は、不燃物に取付けてください。可燃物への直接取付け、または可燃物近くへの取付けは、火災の原因
になります。
・ 本製品は、D種接地工事（接地抵抗 100Ω以下）をしてください。漏電した場合、感電や誤作動の可能性があ
ります。
・ 衝撃や振動のある場所では使用しないでください。
・ 取り付けたモータの故障の可能性を考慮してください。動力源に故障が発生しても、人体または装置に損害
を与えないように対策をしてください。
危 険
警 告
<SM-606904>
- 3 -
・ 本製品に関するシステムにおいて、ケーブルを傷つけたり、無理なストレスをかけたり、重いものを載せたり、
挟み込んだりしないでください。導通不良や感電の原因になります。
・ 仮置きをする場合は、水平状態としてください。
・ 梱包の上に載ったり、物を上に載せたりしないでください。
<運転>
・ 取り付けたモータに電気を供給する前には、必ず機器の作動範囲の安全確認を行ってください。不用意に電
気を供給すると、感電やケガの原因となります。
・ 運転中・停止直後は、本体に手や体を触れないでください。やけどの恐れがあります。
・ 本製品の上に乗ったり、上に物を置いたりしないでください。転倒事故、製品の転倒、落下によるケガ、製品
の破損、損傷による誤作動、暴走等の原因となります。
・ 電源が故障した場合でも、人体、装置に損害を引き起こさないように対策を施してください。
・ 取り付けたモータの位置設定などを行う場合は、操作前にアクチュエータが動作しても安全であることを確認
してください。
<保守・点検・修理>
・ 本製品に異常な発熱や発煙、異臭、異音、振動などが生じた場合は、ただちに電源を遮断してください。製品
の破損や、電流が流れ続けることによる火災の原因につながる可能性があります。
<設計・選定・設置>
・ 本製品に取り付けられるモータ・制御の取扱説明書をご確認頂き、安全に注意して配線・設計をしてください。
・ 本製品に取り付けられるモータ・制御の配線時、誘導ノイズが印加されないよう、大電流や強磁界が発生して
いる場所や本機以外の大型モータ動力線と同一配管、配線（多芯ケーブルによる）とならないようにしてくださ
い。また、ロボットなどに使用されますインバータ電源及び、配線部（同一配線・配管不可）にもご注意ください。
同電源のフレームグランドを施し、出力部にはフィルターを必ず挿入してください。
・ モータ用電源は製品の設置台数に対し、容量に余裕のあるものを選定してください。容量に余裕がないと、誤
作動する恐れがあります。（お客様にて取り付けられるモータ・制御の取扱説明書をご確認ください。）
・ 本製品に取り付けられるモータ・制御への電源投入時、原点位置の認識を行う場合があります。外部ストッパ
や保持機構（ブレーキ等）がある場合、意図しない位置を原点位置と認識する可能性があります。電源投入
後、原点が確実に検出できるように外部ストッパなどの配置にご注意ください。
・ 紫外線の当る場所や腐食性ガス、塩分等のある雰囲気中で使用しないでください。性能低下、異常作動、錆
の発生による強度の劣化の可能性があります。
・ 周囲温度の急激な変化により結露が発生する場所では使用しないでください。
・ 大きな振動や衝撃が伝わる場所に設置しないでください。誤作動を起こす可能性があります。
・ 本製品を設置する設置面の平面度は、0.05mm／200mm 以下とし、本製品にねじれ、曲げ力が作用しないよ
うにしてください。
・ 本製品を設置面へ取り付ける際、適正なねじ締め付けトルクで行ってください。
M4：1.5N・m 、M5：3.0N・m 、M6：5.2 N・m 、M8：12.5 N・m 、M10：24.5 N・m
・ 本製品をクリーン度が必要な環境に設置される場合は、ダウンフローや清掃を十分に行ないクリーン環境を
確保するようにしてください。
・ 極度の低露点環境下で使用しないでください。極度の低露点環境下では樹脂やグリースなど劣化が促進さ
れ潤滑性能や耐久性が低下する可能性があります。
注 意
<SM-606904>
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・ モータ取付方向折返し[R/D/L]タイプは、タイミングベルトの摩耗粉が発生します。
設置場所やワーク上部でのご使用の際はご注意ください。
・ 本製品は、諸規格に合致の基に製造されています。分解・改造は絶対にしないでください。
・ お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。
<運転>
・ スライダがストロークエンドで衝突しない範囲でご使用ください。原点復帰時、押付動作以外は、メカストッパ
などに衝突させないでください。ボールねじが破損し作動不良の原因となります。
・ 原点復帰動作時は製品に外力を作用させないでください。原点を誤認識する可能性があります。
・ 推奨サーボモータには、振動を抑えるゲイン調整機能があります。ゲイン調整を行い、振動を抑えた制御で
の運転を行ってください。振動・共振が発生する状態で運転をすると、製品寿命が低下する恐れがあります。
・ 重力、慣性力が加わった状態で、サーボＯＦＦを行うと、動き続ける、または、落下する場合があります。これ
らの操作は、重力、慣性力がかからない平衡状態で行うか、必ず安全を確認した上で行ってください。
・ 外力により製品の可動部を作動したり、急減速を伴う動作をさせないでください。回生電流により誤作動や破
損する可能性があります。
・ 耐久性は、搬送荷重や環境などによって変動します。許容荷重・許容モーメントに対し十分余裕をもった設定
としてください。許容値を超える荷重をかけないでください。
<保守・点検・修理>
・ 日常点検を行い、正常に作動することを確認してください。
・ ＦＰシリーズでは食品用グレード（NSF H1）のグリースを使用しています。
他のグリースと混合しないで下さい。
・ P4 シリーズでは低露点環境用の特殊グリースを使用しています
他のグリースと混合しないで下さい。
・ グリースの給脂間隔は 3ヶ月に１度または、100km を目安に行ってください。
但し、使用条件により異なりますので、騒音・振動など必要に応じて行ってください。
1ヵ月以上未使用の場合は、始業前に試運転を行って下さい。
・ 製品を廃棄するときは、廃棄物の処理及び清掃に関する法律に準拠し、必ず専門廃棄物処理業者に委託す
るなどして処理してください。
・ 保守・点検、修理を行うときは、必ず本製品への電源供給を停止してから実施してください。第三者が不用意
に電源を入れる、あるいは操作しないよう周囲に注意を促してください。
・ メンテナンス条件を装置の取扱説明書に明記してください。装置の使用状況、使用環境、メンテナンスにより
本製品の機能が低下し、安全性が確保できない場合が発生します。
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保証条項
保証期間と保証範囲に関しては次のとおりです。
１）保証期間
製品の保証期間は、納入後１年間といたします。（但し、1日の稼働時間を 8時間以内といたします。
また 1年以内に寿命に達した場合は、その期間とします。）
２）保証範囲
上記保証期間中に当社側の責による故障を生じた場合、その製品の修理を無償で速やかに行わ
せていただきます。
ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。
①製品仕様に記載されている条件・環境の範囲を逸脱して使用された場合。
②取扱不注意などの誤った使用および誤った管理に起因する場合。
③故障の原因が納入品以外の事由による場合。
④製品本来の使い方以外の使用による場合。
⑤納入後に行われた当社が係わっていない構造、性能、仕様などの改変および当社指定以外
の修理が原因の場合。
⑥本製品を貴社の機械・機器に組込んで使用される際、貴社の機械・機器が業界の通念上備え
られている機能、構造などを持っていれば回避できた損害の場合。
⑦納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合。
⑧火災、地震、水害、落雷、その他の天災、地変、公害、塩害、ガス害、異常電圧、その他の外
部要因による場合。
なお、ここでいう保証は、納入品単体の保証を意味するもので、納入品の故障により誘発される損
害は除外させていただきます。
３）国外へ輸出した場合の保証
①当社工場または、当社が指定した会社・工場へ返却されたものについて修理を行います。
返却に伴う工事および費用については、補償外といたします。
②修理品は、国内梱包仕様にてお客様の国内指定場所へ納入いたします。
４）その他
本保証条項は基本事項を定めたものです。
個別の仕様図または仕様書に記載された保証内容が本保証条項と異なる場合には、仕様図または
仕様書を優先します。
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- 6 -
目次
１．はじめに .................................................................................................................................... - 7 -
２．製品の仕様 ............................................................................................................................... - 8 -
２．１ システム構成 ............................................................................................................. - 8 -
２．２ 仕様 .......................................................................................................................... - 9 -
２．３ 形番体系 ................................................................................................................. - 13 -
３．モータ・センサの取付方法 ....................................................................................................... - 18 -
３．１ 付属品 ..................................................................................................................... - 18 -
３．２ モータ取付方法 ....................................................................................................... - 20 -
３．３ モータ取付部寸法 .................................................................................................... - 26 -
３．４ センサの取付方法 .................................................................................................... - 49 -
４．据付 ........................................................................................................................................ - 50 -
４．１ 現品の確認 ............................................................................................................. - 50 -
４．２ 現品取扱い上の注意 ............................................................................................... - 50 -
４．３ 据付場所.................................................................................................................. - 50 -
４．４ 本体の据付 .............................................................................................................. - 50 -
４．５ 搬送物の取付 .......................................................................................................... - 50 -
５．運転 ........................................................................................................................................ - 51 -
６．保守・点検 ............................................................................................................................... - 51 -
<SM-606904>
- 7 -
１．はじめに
このたび、電動アクチュエータ「ETＳシリ－ズ」「ETＳ-FP シリ－ズ」「ETＳ-P4 シリ－ズ」をお買い求
めいただき、誠にありがとうございます。
この取扱説明書は、電動アクチュエータ「ETＳシリ－ズ」「ETＳ-FP シリ－ズ」「ETＳ-P4 シリ－ズ」の
性能を、十分に発揮させるために、基本的な事項を記したものです。
ご使用される前に、この取扱説明書を、よく読んでいただき、正しくお使いください。
なお、この取扱説明書は紛失されませんように、大切に保管してください。
注意：
本製品はモータが取り付けられておりません。
モータ及びドライバは、お客様にて準備・取付・調整を行ってください。
モータの取付方法は、本取扱説明書を参照し、適切に取り付けてください。
モータの調整は、お客様にて準備されたモータの取扱説明書などをご確認ください。
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２．製品の仕様
２．１ システム構成
ＰＬＣ
サーボアンプ
モータ取付方法
形番で5種類から選択できます
ＥＴＳシリーズ
原点・リミットセンサ
形番で有無を設定できます
（動力・制御）
電源
（制御）電源
（上記の機器・ケーブルは、
お客様にて準備をお願いします）
サーボモータ
（お客様にて準備・取付・調整を
お願いします）
推奨サーボモータのネットワークの例
汎用 SSCNET CC-Link
MECHATRO
LINK-Ⅱ
MECHATRO
LINK-Ⅲ
Device
NET
Ether
CAT EtherNet/IP
三菱電機 株式会社 ○ ○ ○
デルタ電子 株式会社 ○ ○
山洋電気 株式会社 ○ ○
株式会社 安川電機 ○ ○ ○ ○
株式会社 キーエンス ○ ○
パナソニック株式会社 ○
オムロン 株式会社 ○ ○ ○
ファナック株式会社 ○ ○
Bosch Rexroth AG. ○ 〇
Rockwell Automation, Inc ○ ○
SIEMENS AG ○ ○
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２．２ 仕様
【適用モータサイズ：50W】
項目 機種
ETS-06※
ボールねじ径 (mm) 12
ボールねじ精度等級 C7
ねじリード (mm) 2 5 10
繰返し精度 (mm) ±0.02
水平 (kg) 12 12 6
垂直 (kg) 6 4 2
最高速度 ※2 (mm/s) 100 250 500
ストローク ※3 (mm) 50～800
推力 (N) 427 171 85
使用周囲温度 (℃)
使用周囲湿度 (％)
保存周囲温度 (℃)
保存周囲湿度 (％)
最大可搬
質量※1
0～40 （結露、凍結なきこと）
35～85 （結露、凍結なきこと）
-10～50 （結露、凍結なきこと）
35～85 （結露、凍結なきこと）
※メタルストッパ仕様の場合のみ選択頂けます。
【適用モータサイズ：100W】
項目 機種
ETS-05 ETS-06 ETS-10 ETS-12 ETS-13※4
ボールねじ径 (mm) 12 12 16 16 16
ボールねじ精度等級 C7
ねじリード (mm) 2 5 10 2 5 10 510 16 20 510 16 20 510 16 20
繰返し精度 (mm) ±0.02
水平 (kg) 10 10 530 30 15 50 30 22 18 50 30 22 18 50 30 22 18
垂直 (kg) 7 3 1.5 15 10 512 85312 85312 853
最高速度 ※2 (mm/s) 100 250 500 100 250 500 250 500 800 1000 250 500 800 1000 250 500 800 1000
ストローク ※3 (mm) 50～800 50～800 50～1050 50～1050 50～1050
推力 (N) 854 341 170 854 341 170 341 170 106 85 341 170 106 85 341 170 106 85
使用周囲温度 (℃) 0～40 （結露、凍結なきこと）
使用周囲湿度 (％) 35～85 （結露、凍結なきこと）
保存周囲温度 (℃) -10～50 （結露、凍結なきこと）
保存周囲湿度 (％) 35～85 （結露、凍結なきこと）
最大可搬
質量※1
※1：最大可搬質量は、加速時間、減速時間を推奨値（0.2sec）とした時の値です。
推力、最大可搬質量は、取り付けられたモータが、定格のトルクを出力するものと想定した目安値です。
天吊りでのご使用の場合は、水平可搬質量の 3分の 1で選定してください。
※2：最大速度は、取り付けられたモータが 3000ｒｐｍ出力すると想定した速度です。
ストロークにより、最高速度は変わります。
※3：ストロークは、50 ピッチです。
※4：メタルストッパ仕様の場合のみ選択頂けます。
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【適用モータサイズ：200W】
項目
ETS-10 ETS-12 ETS-13 ETS-14
ボールねじ径 (mm) 16 16 16 16
ボールねじ精度等級
ねじリード (mm) 5 10 16 20 510 16 20 510 16 20 510 16 20
繰返し精度 (mm)
水平 (kg) 50 30 22 18 50 30 22 18 70 47 30 24 95 75 44 35
垂直 (kg) 12 8 5 3 12 85317 12 6 4 27 18 7 6
最高速度 ※2 (mm/s) 250 500 800 1000 250 500 800 1000 250 500 800 1000 250 500 800 1000
ストローク ※3 (mm) 50～1050 50～1050 50～1050 50～1050
推力 (N) 683 341 213 174 683 341 213 174 683 341 213 174 683 341 213 174
使用周囲温度 (℃)
使用周囲湿度 (％)
保存周囲温度 (℃)
保存周囲湿度 (％)
-10～50 （結露、凍結なきこと）
35～85 （結露、凍結なきこと）
最大可搬
質量 ※1
機種
C7
±0.02
0～40 （結露、凍結なきこと）
35～85 （結露、凍結なきこと）
※1：最大可搬質量は、加速時間、減速時間を推奨値（0.2sec）とした時の値です。
推力、最大可搬質量は、取り付けられたモータが、定格のトルクを出力するものと想定した目安値です。
天吊りでのご使用の場合は、水平可搬質量の 3分の 1で選定してください。
※2：最大速度は、取り付けられたモータが 3000ｒｐｍ出力すると想定した速度です。
ストロークにより、最高速度は変わります。
※3：ストロークは、50 ピッチです。
<SM-606904>
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【適用モータサイズ：400Ｗ】
項目
ETS-13 ETS-14 ETS-17
ボールねじ径 (mm) 16 16 20
ボールねじ精度等級
ねじリード (mm) 5 10 16 20 510 16 20 510 20 40
繰返し精度 (mm) ±0.02 ±0.02
水平 (kg) 70 47 30 24 110 88 48 40 120 110 75 35
垂直 (kg) 17 12 6 4 33 22 10 840 30 14 7
最高速度 ※2 (mm/s) 250 500 800 1000 250 500 800 1000 250 500 1000 2000
ストローク ※3 (mm) 50～1050 50～1050 50～1250
推力 (N) 1388 694 433 347 1388 694 433 347 1388 694 347 174
使用周囲温度 (℃)
使用周囲湿度 (％)
保存周囲温度 (℃)
保存周囲湿度 (％)
35～85 （結露、凍結なきこと）
最大可搬
質量 ※1
機種
C7
0～40 （結露、凍結なきこと）
35～85 （結露、凍結なきこと）
-10～50 （結露、凍結なきこと）
【適用モータサイズ：750Ｗ】
項目 機種
ETS-17 ETS-22
ボールねじ径 (mm) 20 25 20
ボールねじ精度等級 C7
ねじリード (mm) 5 10 20 40 510 25 40
繰返し精度 (mm) ±0.02
水平 (kg) 120 120 83 50 150 150 120 60
垂直 (kg) 50 40 25 10 55 45 20 10
最高速度 ※2 (mm/s) 250 500 1000 2000 250 500 1250 2000
ストローク ※3 (mm) 50～1250 50～1500
推力 (N) 2100 1050 525 260 2100 1050 420 260
使用周囲温度 (℃) 0～40 （結露、凍結なきこと）
使用周囲湿度 (％) 35～85 （結露、凍結なきこと）
保存周囲温度 (℃) -10～50 （結露、凍結なきこと）
保存周囲湿度 (％) 35～85 （結露、凍結なきこと）
最大可搬
質量 ※1
※1：最大可搬質量は、加速時間、減速時間を推奨値（0.2sec）とした時の値です。
推力、最大可搬質量は、取り付けられたモータが、定格のトルクを出力するものと想定した目安値です。
天吊りでのご使用の場合は、水平可搬質量の 3分の 1で選定してください。
※2：最大速度は、取り付けられたモータが 3000ｒｐｍ出力すると想定した速度です。
※3：ストロークは、50 ピッチです。
<SM-606904>
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ストロークと最高速度について
ETS-05
100W※1
700
ストローク（mm)と最高速度（mm/s)
650
1300
1350
1400
1450
750
800
850
900
950
1000
1050
1100
1150
1200
1250
ETS-12
100W
200W
ETS-10
100W
200W
50
550
600
・・・
750W
ETS-14
200W
ETS-13
適用
モータ
容量
形番
ETS-06
100W
50W※1
ETS-22
750W
400W
1500
本体サイズ 大 小 本体サイズ
100W
ETS-17
400W
200W
400W
100
250
500
250
500
1000
2000
250
500
1250
2000
250
500
800
1000
250
500
800
1000
250
500
800
1000
250
500
800
1000
90
225
450
80
200
400
70
175
350
60
150
300
90
225
450
80
200
400
70
175
350
60
150
300
225
450
720
200
400
640
175
350
560
150
300
480
900
800
700
600
125
250
400
500
225
450
720
200
400
640
175
350
560
150
300
480
900
800
700
600
125
250
400
500
225
450
720
200
400
640
175
350
560
150
300
480
900
800
700
600
125
250
400
500
225
450
720
200
400
640
175
350
560
150
300
480
900
800
700
600
125
250
400
500
250
500
800
1000
225
450
720
200
400
640
175
350
560
150
300
480
900
800
700
600
125
250
400
500
250
500
1000
2000
225
200
175
150
450
400
350
300
900
800
700
600
1800
1600
1400
1200
225
200
175
150
450
400
350
300
900
800
700
600
1800
1600
1400
1200
225
200
175
150
450
400
350
300
1125
1000
875
750
1800
1600
1400
1200
125
100
250
200
625
500
1000
800
600
100
250
500
100
250
500
225
450
200
400
175
350
150
300
90
80
70
60
250
500
800
1000
225
450
720
200
400
640
175
350
560
150
300
480
900
800
700
600
125
250
400
500
※１ETS-06 50W/ETS-13 100W はメタルストッパ仕様でのみ対応可能です。
<SM-606904>
- 13 -
２．３ 形番体系
記号 内容
イ： ボディサイズ（mm)
05
幅 51× 高さ 54
06
幅 65× 高さ 56
10
幅 102 × 高さ 66
12
幅 102 × 高さ 70
13
幅 135 × 高さ 78
14
幅 135 × 高さ 78
17
幅 170 × 高さ 97
22
幅 220 × 高さ 122
ロ：
ねじリード （次項表１をご参照ください）
02 2ｍｍ
05 5ｍｍ
10
10ｍｍ
16
16ｍｍ
20
20ｍｍ
25
25ｍｍ
40
40ｍｍ
ハ：
ストローク （次項表１をご参照ください）
005 50ｍｍ～1500ｍｍ
～150 （50mmピッチ） 表示は1/10にする。
ニ：
モータ取付方法 （次項表２をご参照ください）
E
外部直取付
D下方折返し取付
L左方折返し取付
R右方折返し取付
Bビルトインタイプ ※1
ホ：
取付モータ仕様 （次項表3をご参照ください）
M
Y
P
F
ヘ：
モータサイズ （次項表２をご参照ください）
0 50W
1 100W
2 200W
4 400W
8 750W
ト： ブレーキ
N
無し
Bブレーキ付 ※1
チ：
原点センサ （1個付 次項表４をご参照ください）
N無し
A内側 モータ側
B内側 モータ反対側
C外側 モータ側 （添付出荷）
D外側 モータ反対側 （添付出荷）
リ：
リミットセンサ （2個付 次項表４をご参照ください）
N無し
A内側 （添付出荷)
B外側 （添付出荷）
ヌ：
グリスニップル （次項表５をご参照ください）
N
D
R右方付
Ｌ 左方付
ル：
位置決めピン穴 （次項表６をご参照ください）
N
P
ヲ： マグネットスライダ方式 ※2
M
ワ：
メタルストッパ方式（次項表２をご参照ください）
X
採用
標準
採用
標準
取付モータ仕様については、
下表をご参照ください
無し（本体取付方向 標準）
無し（本体取付方向 下側）
無し
有り
機種形番
06
-
ETS
10
060
N
N
0
N
M
R
イ ロ ハ ニ ホ ヘ ト チ リ
--
N
ヌ
P
ル
M
X
- -
ヲ ワ
※１モータ取付方法が『Ｂ（ビルトインタイプ）』の時
以外は、アクチュエータはブレーキの無しと、
同じです。『ト （ブレーキ）』は、全て『Ｎ』を選択
してください。
＜形番表示例＞
ETS-06-10060－RM0NNNNＰ-M-X
イ ： ボディサイズ ：幅65×高さ56mm
ロ ： ねじリード ：10mm
ハ ： ストローク ：600mm
ニ ： モータ取付方法 ：右側折り返し取付
ホ ： お客様取付モータメーカ：三菱電機株式会社製
ヘ ： モータサイズ ：50W
ト ： ブレーキ ：無し
チ ： 原点センサ ：無し
リ ： リミットセンサ ：無し
ヌ ： グリスニップル ：無し
ル ： 位置決めピン穴 ：有り
ヲ ： マグネットスライダ方式 ：採用
ワ ： メタルストッパ ：採用
メーカ 50W 100W 200W 400W 750W
三菱電機 株式会社 M M M M M
デルタ電子 株式会社 M M M M M
山洋電気 株式会社 M M M M M
株式会社 安川電機 Y Y Y Y Y
株式会社 キーエンス Y Y Y Y Y
パナソニック 株式会社 P P P P P
オムロン 株式会社 M M P P P
富士電機株式会社 M M M M M
デンソーウェーブ株式会社
- M M M -
ファナック株式会社 F F F F F
Bosch Rexroth AG P P P P P
Rockwell Automation,Inc. M M M M M
SIEMENS AG M M M M M
(ホ）取付モータ仕様
※２ ETS-05/06 はマグネットスライダ方式を
採用しています。
※50W はETS-06 メタルストッパ仕様のみの対応となります。
<SM-606904>
- 14 -
［FP シリーズ］
(イ～ヲはP13_2.3 形番体系をご参照ください)
FP1
06
-
ETS
10
060
N
N
0
N
M
R
イロ ハ ニホ ヘ ト チリ
--
N
ヌ
P
ル
P
ル
-
P
ヲ
Ｍ
-
食品製造工程用
［P4 シリーズ］
(イ～ヲはP13_2.3 形番体系をご参照ください) 記号 内容
カ： 防錆処理
N無し
U有り
P4
-
06
-
ETS
10
060
N
N
0
N
M
R
イ ロ ハ ニ ホ ヘ ト チ リ
--
N
ヌ
P
ル
P
ル
U
カ
-
-
P
ヲ
M
二次電池製造工程用
<SM-606904>
- 15 -
表１ （ロ）ねじリードと（ハ）ストロークについて
機種
（ロ）ねじリード(mm)
（ハ）ストローク(mm)
2
5
10
16
20
25
40
(50mm ピッチ）
ETS
-
05
○
○
○
-
-
-
-
50-800
ETS
-
06
○
○
○
-
-
-
-
50-800
ETS
-
10
-
○
○
○
○
-
-
50-1050
ETS
-
12
-
○
○
○
○
-
-
50-1050
ETS
-
13
-
○
○
○
○
-
-
50-1050
ETS
-
14
-
○
○
○
○
-
-
50-1050
ETS
-
17
-
○
○
-
○
-
○
50-1250
ETS
-
22
-
○
○
-
-
○
○
50-1500
表２ （ニ）モータ取付方法と（ヘ）モータサイズについて
機種
（ニ） モータ取付方法
（ヘ） モータサイズ
ビルト
直付
下方
右方
左方
50W
100W
200W
400W
750W
イン※5
取付
折返し
折返し
折返し
ETS
-
05
-
○
○
○
○
-
○
-
-
-
ETS
-
06
-
○
○
○
○
○※4
○
-
-
-
ETS
-
10
○※1
○
○
○
○
-
○
○※1
-
-
ETS
-
12
○※1※2
○
○
○
○
-
○
○※1
-
-
ETS
-
13
○
○
○
○
○
-
○※4
○
○
-
ETS
-
14
○
○
○
○
○
-
-
○
○
-
ETS
-
17
○※3
○
○
○
○
-
-
-
○
○※3
ETS
-
22
○
○
○
○
○
-
-
-
-
○
※１：200W タイプは、ビルトインタイプ対応できません。
※2：オムロン社製モータをご使用の場合はお問合せ下さい。
※3：750W タイプは、ビルトインタイプ対応できません。
※4：ETS-06 50W/ETS-13 100W はメタルストッパ仕様のみの対応となります。
※5：メタルストッパ仕様の場合“ビルトイン取付”は選択できません。
<SM-606904>
- 16 -
表３ （ホ）取付モータ仕様と推奨モータ形番、定格出力について
（ホ）メーカ
モータ
(ブレーキ無し)
モータ
(ブレーキ付)
定格
出力
（ホ）メーカ
モータ
(ブレーキ無し)
モータ
(ブレーキ付)
定格出
力
三菱電機
株式会社
HG-KR053
HG-KR053B
50W
※1
デルタ電子
株式会社
ECMA-C1040FES
ECMA-C1040FFS
50W
HG-KR13
HG-KR13B
100W
ECMA-C10401ES
ECMA-C10401FS
100W
HG-KR23
HG-KR23B
200W
ECMA-C10602ES
ECMA-C10602FS
200W
HG-KR43
HG-KR43B
400W
ECMA-C10604ES
ECMA-C10604FS
400W
HG-KR73
HG-KR73B
750W
ECMA-C10807ES
ECMA-C10807FS
750W
株式会社
安川電機
SGMJV-A5ADA21
SGMJV-A5ADA2C
50W
山洋電気
株式会社
R2AA04005FX
R2AA04005FC
50W
SGMJV-01ADA21
SGMJV-01ADA2C
100W
R2AA04010FX
R2AA04010FC
100W
SGMJV-02ADA21
SGMJV-02ADA2C
200W
R2AA06020FX
R2AA06020FC
200W
SGMJV-04ADA21
SGMJV-04ADA2C
400W
R2AA06040HX
R2AA06040HC
400W
SGMJV-08ADA21
SGMJV-08ADA2C
750W
－
－
750W
株式会社
パナソニック
MSMD52G1A
MSMD52G1B
50W
※2
ファナック
株式会社
A06B-0111-B1
A06B-0111-B4
50W
MSMD012G1A
MSMD012G1B
100W
A06B-0112-B1
A06B-0112-B4
100W
MSMD022G1A
MSMD022G1B
200W
A06B-2115-B1
A06B-2115-B4
200W
MSMD042G1A
MSMD042G1B
400W
A06B-2116-B1
A06B-2116-B4
400W
MSMD082G1A
MSMD082G1B
750W
A06B-2063-B1
A06B-2063-B4
750W
オムロン
株式会社
-
-
50W
※2
Rockwell
Automation
,Inc.
TLP-A046-005-DKA□2
TLP-A046-005-DKA□4
50W
R88M-K10030H
R88M-K10030H-B
100W
TLP-A046-010-DKA□2
TLP-A046-010-DKA□4
100W
R88M-K20030□
R88M-K20030□-B
200W
TLP-A070-020-DKA□2
TLP-A070-020-DKA□4
200W
R88M-K40030□
R88M-K40030□-B
400W
TLP-A070-040-DKA□2
TLP-A070-040-DKA□4
400W
R88M-K75030H
R88M-K75030H-B
750W
TLP-A090-075-DKA□2
TLP-A090-075-DKA□4
750W
株式会社
キーエンス
SV-M005□□
SV-B005□□
50W
※2
SIEMENS
AG
1FK2102-0AG0
1FK2102-0AG1
50W
SV-M010□□
SV-B010□□
100W
1FK2102-1AG0
1FK2102-1AG1
100W
SV-M020□□
SV-B020□□
200W
1FK2203-2AG0
1FK2203-2AG1
200W
SV-M040□V
SV-B040□□
400W
1FK2203-4AG0
1FK2203-4AG1
400W
SV-M075□□
SV-B075□□
750W
1FK2204-5AK0
1FK2204-5AK1
750W
※2
Bosch
Rexroth AG
MSM019A
□□□□□
0
MSM019A
□□□□□
1
50W
MSM019B
□□□□□
0
MSM019B
□□□□□
1
100W
MSM031B
□□□□□
0
MSM031A
□□□□□
1
200W
MSM031C
□□□□□
0
MSM031A
□□□□□
1
400W
MSM041B
□□□□□
0
MSM041B
□□□□□
1
750W
※1デルタ電子株式会社製サーボモータ、ECMA シリーズ（ブレーキ付）はビルトインタイプでの対応はできません。
※2ビルトインタイプでの対応はできません。
※3 他のモータメーカ、機種については、お問い合わせください。
<SM-606904>
- 17 -
表４ （チ）原点センサと（リ）リミットセンサについて
機種
（チ） 原点センサ（1個）
（リ） リミットセンサ（2個）
無し※1
内側
外側
無し※1
内側
外側
モータ
側
モータ
反対側
モータ
側
モータ
反対側
ETS
-
05
○
-
-
○
○
○
-
○
ETS
-
06
○
-
-
○
○
○
-
○
ETS
-
10
○
○
○ ※2
○
○
○
○ ※2
○
ETS
-
12
○
○ ※3
○
○
○
○
○ ※3
○
ETS
-
13
○
○
○
○
○
○
○
○
ETS
-
14
○
○
○
○
○
○
○
○
ETS
-
17
○
○
○
○
○
○
○
○
ETS
-
22
○
○
○
○
○
○
○
○
※1 原点センサとリミットセンサはセットです。いずれかが『無し』場合、他方も『無し』を選択ください。
例： 原点センサ『無し』＋リミットセンサ『有り（内側／外側）』のセットはできません。
※2 ETS-10 は、原点センサが『Ｂ』（内側 モータ反対側）で、リミットセンサが『Ａ』（内側）の組合せは対応できません。
※3 ETS-12 は、モータ取付方向が『R』または『Ｌ』の場合、原点センサ及びリミットセンサ『A』の組み合わせは
対応できません。
※4：センサ内側取り付けの場合は、センサドグ、センサの位置は、顧客での変更不可
センサ外側取り付けの場合は、センサドグ、センサの位置は、顧客での変更可
表５ （ヌ）モータ取付方向とグリスニップルについて
機種
（ヌ）グリスニップル
ビルトイン
直付取付
下方折返し
右方折返し
左方折返し
ETS
-
5
Nのみ（本体取付方向：標準（下側のみ））
※1
ETS
-
6
N：本体取付方向：標準、D：本体取付方向：下側 底面より M5
※1,※2
ETS
-
10～22
Ｎ／Ｒ／Ｌ
Ｎ／Ｌ
Ｎ／Ｒ
※3
※1グリスニップルは取り付けられません。
※2 本体取付方向の指示です。『N』：本体取付方向 標準 または、『D』：本体取付方向 下側を選定してください。
※3 グリスニップルの取付オプション指示です。『N』：無し、『R』：右方向、『L』：左方向を選定してください。
表６ （ル）位置決めピン穴について
機種
（ル）位置決めピン穴
ETS
-
05～22
Ｎ／Ｐ
注意：
当製品はモータが取り付けられておりません。
モータ及びドライバは、お客様にて準備・取付・調整を行ってください。
<SM-606904>
- 18 -
３．モータ・センサの取付方法
３．１ 付属品
＜基本形＞
モータ取付ねじ （モータ取付方向共通）
形番 取付モータ
モータサイズ
ねじサイズ 添付数量
MM4 2
YM4 2
PM3 4
FM4 2
MM4 2
YM4 2
PM3 4
FM4 2
MM5 4
YM5 4
PM4 4
FM5 4
MM4 2
YM4 2
PM3 4
FM4 2
MM5 4
YM5 4
PM4 4
FM5 4
MM5 4
YM5 4
PM4 4
FM5 4
MM5 4
YM5 4
PM4 4
FM5 4
MM6 4
YM6 4
PM5 4
FM6 4
MM6 4
YM6 4
PM5 4
FM6 4
750W
100W※
ETS-17
400W
750W
ETS-22
ETS-05
ETS-06
50W※
100W
ETS-10
ETS-12
100W
※ メタルストッパ仕様でのみ対応可能です。
200W
ETS-14
200W
400W
200W
400W
ETS-13
<SM-606904>
- 19 -
＜モータ取付方向違い＞
添付数量
カップリング
（組付出荷）
1個
プーリ 1個
ベルト 1本
＜原点・リミットセンサ選択時 ※1＞
センサ取付方向 出荷形態 数量
内側センサ 固定位置組付け出荷
外側センサ 添付出荷 ※3
※1 原点センサとリミットセンサは内側／外側取付で出荷形態が変わります。
※2 原点センサとリミットセンサはいずれか『無し』を選択した場合、他方も『無し』となります。
センサドグ、センサレール（ETS-10、ETS-12）は『無し』で出荷されます。
※3 センサ取り付けねじも添付されます
3個 ※2
形番
添付品名
Ｅ（直外取付）
Ｂ（ビルトイン）
Ｒ（右方折り返し取付）
Ｌ（左方折り返し取付）
Ｄ（下方折り返し取付）
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