CKD AX6000MUシリーズ ユーザーマニュアル

タイプ
ユーザーマニュアル
SMB-75
取扱説明書
アブソデックス
AX シリーズ
MU タイプ
製品をお使いになる前に、この取扱説明書を必ず
お読みください。
特に安全に関する記述は、注意深くお読みください。
この取扱説明書は必要な時にすぐ取り出して読め
ように大切に保管しておいてください。
3
本製品を安全にご使用いただくために
ご使用になる前に必ずお読みください
アブソデックスを使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構とこれらをコントロールする電気制
御によって運転されるシステムの安全性が確保できることをチェックして、安全な装置を製作する義務がありま
す。
当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定および使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が
重要です。
装置の安全性確保のために、危険、警告、注意の各事項を必ず守ってください。
また、関連する国際規格(ISO/IEC)、日本工業規格(JIS)、およびその他の安全法規(労働安全衛生法など)
の記載事項を十分理解した上で、適合するように設計してください。
記載事項を守らないと死亡または重傷など身体に重大な損傷を招く
恐れがあるもの。
記載事項を守らないとけが、火傷など身体に損傷を招く恐れがあるもの。
記載事項を守らないとアブソデックスおよび周辺装置に損傷を招く恐れが
あるもの。
本書に書かれている警告表示は身体や装置に与えるケガ、損傷のレベルにより 3 段階に分類されています。
危険度の高い警告表示には特に気をつけて取扱ってください。
なお、 注意 に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く恐れがあります。
いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください
特別仕様の場合には、製品仕様が本取扱説明書の内容と異なる場合があります。
製品毎の仕様図等でご確認ください。
警告:
(WARNING)
注意:
(CAUTION)
危険:
(DANGER)
z 電源を投入したままで、コネクタ類の取付け取外しをしないでください。
誤動作、故障、感電の危険があります。
z 爆発・火災の恐れのある雰囲気中では、使用しないでください。
z 電源遮断時に、アクチュエータ出力軸を 30rpm 以上で回さないでください。
アクチュエータの発電作用によってドライバの故障や感電の危険が
あります。
z 重力などにより回転力が加わった状態で、電源 OFF、サーボオフ(非常
停止、アラームを含む)を行うと、回転力によってアクチュエータが回転
します。また、旋回中に電源 OFF、およびサーボオフを行うと惰性で
アクチュエータが回転します。
これらの操作は、必ず回転力の加わらない平衡状態で行うか、安全を
確認した上で行ってください。
z ゲイン調整段階や試運転時には、思わぬ動作をする場合があります
ので、可動部(回転部)に手を出さないよう十分注意してください。
また、アクチュエータが一回転しても安全であることを確認してか
電源を投入し、調整を行ってください。
z アクチュエータが見えない位置から操作を行う場合には、操作前に必ず
アクチュエータが回転しても安全であることを確認してください。
z アクチュエータおよびドライバは通電中及び電源遮断後しばらくの間は
高温になります。やけどの恐れがありますので、触れないでください。
z アクチュエータおよび、アクチュエータに取付けた回転テーブルなど
可動部にのぼり、保守作業を行わないでください。
z 安全性を確認するまでは、機器の取外しを絶対に行わないでください
z 位置偏差が発生した状態で主電源を投入すると、たまった位置偏差に
従いアクチュエータが旋回します。
主電源と制御電源を別々に投入される場合には、必ずサーボオフの
状態を確認して、電源を投入してください。
z 主電源遮断後しばらくの間は、ドライバ内部のコンデンサに蓄えられた
電荷により、アクチュエータへの動力が供給され、アクチュエータが旋回
することがあります。安全を確認した上で作業を行ってください。
z 誤作動防止のためドライバのFG端子を必ず接地してください。
危険 :
警告 :
z 本製品は、電気設計や機械設計の専門知識を持った人が使用することを
前提としています。
これらの知識のない人や、十分な訓練を受けていない人の選定、使用に
よって引き起こされた事故に関しましては、当社では責任を負いかね
ます。
z アクチュエータ本体を分解すると、本来の性能や精度に復元できない場合
があります。
特にレゾルバ部は少しでも分解すると、致命的なダメージを受けます。
z 出力軸をハンマなどでたたいたり、無理に組付けたりすると本来の精度や
性能を発揮できなくなることがあります。
z アクチュエータおよびドライバは、防水処理を施しておりません。
水や油のかかる環境でご使用になる場合には、防水対策を施して
ください。
z アクチュエータ、ドライバ間のケーブルは必ず付属のものを使用し、
無理な力が加わったり、傷などがつかないように設置してください。
また、付属のケーブルの長さや材質を変更することは、機能劣化や
動作不良の原因となります。
z 出荷時のままでは本来の性能を発揮できません。
必ずゲイン調整を実施してください。
z 電源投入時、アクチュエータ位置座標の認識を行うため、
電源投入より数秒間、出力軸が移動しないよう、ご注意ください。
外部の機械的な保持機構(ブレーキ等)がある場合、電源投入と保持機
の解除のタイミングをずらして設定してください。
電源投入時に、出力軸を移動された場合、アラーム F が発生する場合が
あります。
z 微小角度を指定して動作させる場合には、フレッチング等によるベアリング
部の破損を防ぐ為、定期的に1回転以上の旋回動作を実施してください。
z アブソデックスを組込んだ機械装置の絶縁耐圧試験を行う場合には、
アブソデックスドライバへの電源ケーブルを外し、ドライバ自体には電圧が
印加されないようにしてください。故障の原因となります。
z アクチュエータを持ち運ぶ際は、引出しケーブルを持たないでください。
z サーボオン状態(保持状態)から、電源 OFF、サーボオフ(非常停止、
アラームを含む)、およびトルク制限設定値を下げた場合は、外力が
加わらなくても出力軸が保持位置から動くことがあります。
z 電源の ON/OFF を頻繁に行うと、突入電流によりドライバ内部の素子が
劣化します。過度の ON/OFF はドライバの寿命を早めることになります。
z 電源を遮断してから再投入する場合は、アクチュエータの出力軸が停止し
ている事を確認した上で、電源遮断後 10 秒以上時間をおいてください。
注意 :
保証条項
保証期間と保証範囲に関しては次のとおりです。
1) 保証期間
製品の保証期間は、納入後 1 年間といたします。
(ただし、1 日の稼働時間を 8 時間以内といたします。
また 1 年以内に耐久性に達した場合は、その期間とします。)
2) 保証範囲
上記保証期間中に当社側の責による故障を生じた場合、その製品の修理を無償で速やかに
行わせていただきます。
ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。
製品仕様に記載されている条件・環境の範囲を逸脱して使用された場合。
取扱い不注意などの誤った使用および誤った管理に起因する場合。
故障の原因が納入品以外の事由による場合。
製品本来の使い方以外の使用による場合。
納入後に行われた当社が係わっていない構造、性能、仕様などの改変および当社指定
以外の修理が原因の場合
本製品を貴社の機械・機器に組込んで使用される際、貴社の機械・機器が業界の通念上
備えられている機能、構造などを持っていれば回避できた損害の場合。
納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合。
火災、地震、水害、落雷、その他の天災、地変、公害、塩害、ガス害、異常電圧、その他
の外部要因による場合。
なお、ここでいう保証は、納入品単体の保証を意味するもので、納入品の故障により誘発される
損害は除外させていただきます。
3) 国外へ輸出した場合の保証
当社工場または、当社が指定した会社・工場へ返却されたものについて修理を行います。
返却に伴う工事および費用については、補償外といたします。
修理品は、国内梱包仕様にて日本国内指定場所へ納入いたします。
4) 適合性の確認
お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任で
ご確認ください。
5) その他
本保証条項は基本事項を定めたものです。
個別の仕様図または仕様書に記載された保証内容が本保証条項と異なる場合には、
仕様図または仕様書を優先します。
アブソデックス
AX シリーズ[MU タイプ]
取扱説明書 No.SMB-75
はじめに ················································································ 1
1. 開梱
1.1 製品形番 ········································································1- 1
1.2 製品構成 ········································································1- 1
2. 設置
2.1 アクチュエータの設置 ·························································2- 1
2.1.1 設置環境 ································································· 2- 6
2.1.2 使用条件 ································································· 2 - 6
2.2 ドライバの設置 ·································································2- 7
2.3 ケーブルについて······························································2- 9
2.4 ブレーキについて ······························································2-10
3. システム構成と配線
3.1 システム構成 ···································································3- 1
3.1.1 システム構成例 ··························································3- 1
3.1.2 周辺機器一覧 ····························································3- 3
3.2 配線 ··············································································3- 4
3.2.1 ドライバパネル説明 ·····················································3- 4
3.2.2 電源・アクチュエータへの接続·········································3- 5
3.2.3 その他の端子台への接続 ·············································3- 8
3.2.4 CN3I/O 信号)の接続·················································3- 9
3.2.5 CN3I/O 信号)インターフェイス仕様································3-12
3.2.6 配線例 ·································································3-14
4. 試運転
4.1 MU タイプドライバの試運転(オートチューニング)·······················4- 2
Step1 取付け・接続のチェック ···············································4- 3
Step2 ゲイン調整(オートチューニング) ···································4- 5
Step3 原点合わせ ·····························································4-10
Step4 試運転用プログラムの作成と試運転 ······························4-10
5. I/Oの使い方
5.1 ピン配置と信号名称···························································5- 1
5.2 一般 I/O の使い方 ····························································5- 5
5.2.1 プログラム番号の選択方法············································5- 6
5.2.2 NC プログラムの実行方法 ············································5-12
5.2.3 原点復帰指令入力 ······················································5-13
5.2.4 非常停止入力 ····························································5-14
5.2.5 ブレーキ解除入力 ·······················································5-15
5.2.6 サーボ状態出力 ·························································5-16
5.2.7 サーボオン入力 ··························································5-17
5.2.8 位置決め動作完了の確認方法 ·······································5-19
5.2.9 Mコード出力のタイミング ··············································5-20
5.2.10 分割位置出力のタイミング ·············································5-21
5.2.11 その他の I/O 信号 ······················································5-22
5.3 パルス列入力信号 ····························································5-25
5.3.1 パルス列入力信号の使い方···········································5-25
5.3.2 パルス列入力の種類 ···················································5-26
5.3.3 指令パルス仕様 ·························································5-27
5.3.4 パルスレートと回転速度················································5-28
5.4 エンコーダ出力機能···························································5-29
5.5 I/O 信号の使用例 ···························································5-30
5.5.1 基本的な I/O の流れ ···················································5-30
5.5.2 プログラム番号選択のキーポイント ··································5-31
5.5.3 非常停止時の復旧動作手順 ··········································5-33
5.5.4 主電源投入のシーケンス···············································5-37
6. プログラム
6.1 概要 ··············································································6- 1
6.2 運転モード ······································································6- 2
6.3 NC プログラム書式 ···························································6- 3
6.3.1 書式 ·································································6- 3
6.3.2 注意点 ·································································6- 3
6.4 コード一覧·······································································6- 5
6.5 電源投入時のアブソデックスの状態 ·······································6-13
6.6 NC プログラム例 ······························································6-15
7. パラメータの設定
7.1 パラメータとその内容 ·························································7- 1
7.2 パラメータの設定と参照 ······················································7-11
7.3 カム曲線の種類と特性 ·······················································7-13
7.4 原点オフセット量と原点復帰動作···········································7-15
7.5 ソフトリミットに関する注意····················································7-16
7.6 インポジションの判定について ··············································7-18
7.7 位置決め完了の判定について ··············································7-19
7.8 PRM16(インポジション範囲)の適正値について·························7-20
7.9 G101(等分割指定)とパラメータ············································7-22
7.9.1 G91A0F□□(インクレメンタル指令で A0 の場合)の動作 ········7-22
7.9.2 G91A-1F□□および G91A1F□□の動作 ·····························7-23
7.9.3 M70 の動作 ······························································7-24
7.10 フィルタの使用方法 ···························································7-25
7.10.1 フィルタの特性 ···························································7-25
7.10.2 フィルタスイッチ ··························································7-26
7.10.3 ノッチフィルタの Q···················································7-26
7.10.4 通信コードによるフィルタの設定例 ···································7-27
7.10.5 ご使用に際して···························································7-27
7.11 積分リミッタ ·····································································7-28
7.12 積分ゲイン倍率 ································································7-28
7.13 位置決め完了信号の出力時·············································7-28
7.14 アラーム減速停止機能の有効/無効 ·····································7-29
7.15 インポジション信号の出力モード············································7-30
7.16 I/O 信号の機能選択··························································7-30
8. 応用例
8.1 品種切替え ·····································································8- 2
8.2 近回りインデックス·····························································8- 4
8.3 カシメ·············································································8- 7
8.4 ピックアンドプレース(揺動)··················································8- 9
8.5 インデックステーブル··························································8-12
8.6 連続回転 ········································································8-15
9. ゲイン調整
9.1 ゲイン調整とは·································································9- 1
9.2 ゲイン調整の方法 ·····························································9- 3
9.2.1 オートチューニング機能 ················································9- 3
9.2.2 手動調整(マニュアルチューニング)··································9- 8
10. アラーム
10.1 アラーム表示とその内容 ··················································· 10- 1
10.2 アラーム発生時のサーボ状態 ············································ 10- 6
11. 保守点検とトラブルシュー
11.1 保守点検 ······································································ 11- 1
11.2 トラブルと対策································································ 11- 2
11.3 システムのイニシャライズ ·················································· 11- 6
12. 通信機能
12.1 通信コード····································································· 12- 1
12.1.1 コードの種類···························································· 12- 1
12.1.2 通信コードとデータ ···················································· 12- 1
12.1.3 NC プログラムの入力(L11)とその戻り値························· 12- 2
12.2 通信コード一覧······························································· 12- 3
12.2.1 運転モードの切替え··················································· 12- 3
12.2.2 動作指令 ······························································· 12- 4
12.2.3 データの入出力 ························································ 12- 5
12.3 ボーレート····································································· 12- 8
12.4 通信方法 ······································································ 12- 8
12.4.1 通信例 ······························································· 12- 8
12.4.2 RS-232C インターフェースケーブルの結線···················· 12- 9
13. アクチュエータ仕様
13.1 AX6000M シリーズ ························································· 13- 1
14. ドライバ仕様
14.1 一般仕様 ······································································ 14- 1
14.2 性能仕様 ······································································ 14- 2
14.3 I/O 信号仕様································································· 14- 3
14.4 RS-232C 信号仕様·························································· 14- 3
15. 欧州規格対応
················································································· 15- 1
作成 2013.08.19
改訂 2014.05.02
--- MEMO ---
はじめに
はじめに
このたびは当社のアブソデックスをご選定いただき、有難く厚くお礼申しあげます。
アブソデックスは、一般産業用組立機械、検査機械の間欠作動ターンテーブルなどをフレキシブルに精度良く
駆動するために開発された、ダイレクトドライブインデックスユニットです。
本取扱説明書はアブソデックス AX シリーズ MU タイプドライバ専用です。
他のタイプには適用しません。
プログラムなどの設定には、立上げ調整支援ツール「AX Tools」を使用してください。
性能をいつまでも維持し、故障なくご使用いただくため、本機の運転の前にこの取扱説明書を一読されることを
お願いいたします。
z 本取扱説明書に記載の仕様および外観は、将来予告なく変更することがあります。
[SMB-75]
1
はじめに
--- MEMO ---
[SMB-75]
2
1
1. 開梱
1.1 製品形番
ご注文どおりの製品かどうか、ご確認ください。
製品形番は、アクチュエータ本体とドライバ側面パネルに銘板にて表記されています。
1.2 製品構成
本製品は下表の品物から構成されています。
梱包を開けた時に品物が揃っているかどうか、ご確認ください。
1.1
1. アクチュエータ本体 1
2. ドライバ本体 1
3. レゾルバケーブル*1,*2 1
4. モータケーブル*1,*2 1
5. 取扱説明書 CD-ROM SMB-46 1
6. 取扱注意書 SMB-47 1
7. ドライバ付属品
電源コネクタ 04JFAT-SBXGF-I [日本圧着端子製造㈱] 1
電源コネクタ用オープンツール J-FAT-OT [日本圧着端子製造㈱] 1
I/O 信号用コネクタ(プラグ) 10150-3000PE [住友スリーエム㈱] 1
I/O 信号用コネクタ(シェル) 10350-52A0-008 [住友スリーエム㈱] 1
*1 : 付属のケーブルは、本ドライバ専用ケーブルです。
*2 : ケーブル種類(標準/可動)及びケーブル長さは、オプションにて選択されたものになります。
z ケーブル単体を購入いただくと、長さ(210m)を変更することができます。
z ケーブル及びコネクタ部に張力を加えないでください。
z 標準ケーブルは繰返し屈曲する用途に使用できません。
オプションの可動ケーブルをご使用ください。
z 可動ケーブルをご使用の場合、アクチュエータ本体コネクタ付近の
ケーブルシース部を固定してご使用ください。
z AX6000M シリーズの引出し線は、可動ケーブルではありません。
必ずコネクタ部で固定し、可動しないようにしてください。
また、引出し線をつかんで本体を持上げる等、無理な力を加えると、
断線の恐れがありますのでおやめください。
注意 :
[SMB-75]
1-1
1
--- MEMO ---
[SMB-75]
1-2
[SMB-75]
2-1
2
2. 設置
2.1 アクチュエータの設置
1) アブソデックスを設置する機械装置には、アブソデックスの能力を十分発揮するためにできるだけ高い
剛性が望まれます。
これは、負荷装置や架台の機械的な固有振動数が比較的低い(一概には言えませんが、おおよ
200300Hz 以下)場合に、アブソデックスと負荷装置や架台が共振を起こしてしまうためです。
回転テーブルや本体の取付ボルトはしっかりと固定し、緩み等がなく十分な剛性を確保してください
2.1 アクチュエータの設置
z 2.1 に示す A部には、位置検出を行う精密部品(レゾルバ)が
組込まれています。
A部のボルト類は絶対に緩めないでください。
また、A部に何かの部品を取付けたり無理な力を加えたりすると、
本来の精度や機能を発揮できなくなることがありますので、
おやめください。
z アブソデックスは精密機器です。
本体や出力軸をハンマなどでたたいたり、無理に組付けたりすると
本来の精度や機能を発揮できなくなることがありますので、
おやめください。
z 機械・装置を再起動する場合、搭載物が外れないような処置
なされているか確認し、注意して行ってください。
警告 :
[SMB-75]
2-2
2
2) アブソデックスを機械に直接取付けできない時などは、できるだけ高い剛性の得られる架台に取付けて
ください。
×
例:丸棒等を使用した設置
2.2 アクチュエータの取付け
[SMB-75]
2-3
2
3) ダミーイナーシャによる制振
機械装置の剛性が十分に得られない場合には、アクチュエータに最も近い所にダミーイナーシャを
取付けることによって、機械装置の共振をある程度押さえることができます。
以下にダミーイナーシャの付加例を示します。
ダミーイナーシャの大きさは、負荷イナーシャ×(0.21)程度が目安です。
ダミーイナーシャ付加前
ダミーイナーシャ
ダミーイナーシャ付加後
2.3 ダミーイナーシャ取付け 1
出力軸を延長する場合の延長軸径、長さは、表 2.1 を目安にしてください
2.1 出力軸延長時の軸径の目安
軸延長 [mm] 最大トルク
[Nm] 50 100
1.2 Φ35 Φ40
3 Φ35 Φ40
[SMB-75]
2-4
2
ベルトやギア、スプラインによる結合、キーによる締結なども剛性低下の要因となります。
この場合には、ダミーイナーシャを負荷イナーシャ×0.52)程度としてください。
ベルトやギアなどによって変速する場合には、負荷イナーシャをアクチュエータ出力軸換算の値とし、
アクチュエータ側にダミーイナーシャを取付けます。
ダミーイナーシャ付加前 ダミーイナーシャ付加後
ダミーイナーシャ
ギア
2.4 ダミーイナーシャ取付け 2
ダミーイナーシャ付加前 ダミーイナーシャ付加後
ダミーイナーシャ
スプライン
2.5 ダミーイナーシャ取付け 3
z ダミーイナーシャは、アクチュエータの能力範囲内でなるべく大きなものを取付けてください。
[SMB-75]
2-5
2
4) アクチュエータは水平方向(上下逆取付けを含む)、垂直方向のいずれの取付けも可能です。
2.6 アクチュエータ設置方向
z 重力などにより回転力が加わった状態で、サーボオフ(非常停止、
アラームを含む)およびブレーキ解除を行うと、
回転力によってアクチュエータが回転します。
これらの操作は、必ず回転力の加わらない平衡状態で行うか、
安全を確認した上で行ってください。
警告 :
  • Page 1 1
  • Page 2 2
  • Page 3 3
  • Page 4 4
  • Page 5 5
  • Page 6 6
  • Page 7 7
  • Page 8 8
  • Page 9 9
  • Page 10 10
  • Page 11 11
  • Page 12 12
  • Page 13 13
  • Page 14 14
  • Page 15 15
  • Page 16 16
  • Page 17 17
  • Page 18 18
  • Page 19 19
  • Page 20 20
  • Page 21 21
  • Page 22 22
  • Page 23 23
  • Page 24 24
  • Page 25 25
  • Page 26 26
  • Page 27 27
  • Page 28 28
  • Page 29 29
  • Page 30 30
  • Page 31 31
  • Page 32 32
  • Page 33 33
  • Page 34 34
  • Page 35 35
  • Page 36 36
  • Page 37 37
  • Page 38 38
  • Page 39 39
  • Page 40 40
  • Page 41 41
  • Page 42 42
  • Page 43 43
  • Page 44 44
  • Page 45 45
  • Page 46 46
  • Page 47 47
  • Page 48 48
  • Page 49 49
  • Page 50 50
  • Page 51 51
  • Page 52 52
  • Page 53 53
  • Page 54 54
  • Page 55 55
  • Page 56 56
  • Page 57 57
  • Page 58 58
  • Page 59 59
  • Page 60 60
  • Page 61 61
  • Page 62 62
  • Page 63 63
  • Page 64 64
  • Page 65 65
  • Page 66 66
  • Page 67 67
  • Page 68 68
  • Page 69 69
  • Page 70 70
  • Page 71 71
  • Page 72 72
  • Page 73 73
  • Page 74 74
  • Page 75 75
  • Page 76 76
  • Page 77 77
  • Page 78 78
  • Page 79 79
  • Page 80 80
  • Page 81 81
  • Page 82 82
  • Page 83 83
  • Page 84 84
  • Page 85 85
  • Page 86 86
  • Page 87 87
  • Page 88 88
  • Page 89 89
  • Page 90 90
  • Page 91 91
  • Page 92 92
  • Page 93 93
  • Page 94 94
  • Page 95 95
  • Page 96 96
  • Page 97 97
  • Page 98 98
  • Page 99 99
  • Page 100 100
  • Page 101 101
  • Page 102 102
  • Page 103 103
  • Page 104 104
  • Page 105 105
  • Page 106 106
  • Page 107 107
  • Page 108 108
  • Page 109 109
  • Page 110 110
  • Page 111 111
  • Page 112 112
  • Page 113 113
  • Page 114 114
  • Page 115 115
  • Page 116 116
  • Page 117 117
  • Page 118 118
  • Page 119 119
  • Page 120 120
  • Page 121 121
  • Page 122 122
  • Page 123 123
  • Page 124 124
  • Page 125 125
  • Page 126 126
  • Page 127 127
  • Page 128 128
  • Page 129 129
  • Page 130 130
  • Page 131 131
  • Page 132 132
  • Page 133 133
  • Page 134 134
  • Page 135 135
  • Page 136 136
  • Page 137 137
  • Page 138 138
  • Page 139 139
  • Page 140 140
  • Page 141 141
  • Page 142 142
  • Page 143 143
  • Page 144 144
  • Page 145 145
  • Page 146 146
  • Page 147 147
  • Page 148 148
  • Page 149 149
  • Page 150 150
  • Page 151 151
  • Page 152 152
  • Page 153 153
  • Page 154 154
  • Page 155 155
  • Page 156 156
  • Page 157 157
  • Page 158 158
  • Page 159 159
  • Page 160 160
  • Page 161 161
  • Page 162 162
  • Page 163 163
  • Page 164 164
  • Page 165 165
  • Page 166 166
  • Page 167 167
  • Page 168 168
  • Page 169 169
  • Page 170 170
  • Page 171 171
  • Page 172 172
  • Page 173 173
  • Page 174 174
  • Page 175 175
  • Page 176 176
  • Page 177 177
  • Page 178 178
  • Page 179 179
  • Page 180 180
  • Page 181 181
  • Page 182 182
  • Page 183 183
  • Page 184 184
  • Page 185 185
  • Page 186 186
  • Page 187 187
  • Page 188 188
  • Page 189 189
  • Page 190 190
  • Page 191 191
  • Page 192 192
  • Page 193 193
  • Page 194 194
  • Page 195 195
  • Page 196 196
  • Page 197 197

CKD AX6000MUシリーズ ユーザーマニュアル

タイプ
ユーザーマニュアル