CKD AX9000TS/TH-U5シリーズ OMRON社製 NJ/NXシリーズ EtherCAT ユーザーマニュアル

マシンオートメーションコントローラＮＪ/ＮＸシリーズ

ＥｔｈｅｒＣＡＴ®接続ガイド

ＣＫＤ株式会社

アブソデックスドライバ編

（ＡＸ９０００ＴＳ/ＴＨ－Ｕ５）

SBCX-128A

著作権・商標について

スクリーンショットはマイクロソフトの許可を得て使用しています。

Windows は米国 Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標です。

EtherCAT®は、ドイツ Beckhoff Automation GmbH によりライセンスされた特許取得済み技術で

あり登録商標です。

Sysmac はオムロン株式会社製 FA 機器製品の日本およびその他の国における商標または登録商

標です。

本資料に記載されている会社名・製品名は、それぞれ各社の商標または登録商標です。

1.

関連マニュアル

システムを安全にご使用いただくため、システムを構成する機器・装置のマニュアルや取扱

説明書などを必ず入手し、「安全上のご注意」「安全上の要点」など安全に関する注意事項を

含め、内容を確認のうえ使用してください。

CKD 株式会社（以下、CKD）およびオムロン株式会社（以下、オムロン）のマニュアルは以

下のとおりです。

メーカ Man.No. 形式マニュアル名称

オムロン SBCA-358 形

NJ501-

□

5

□□

形NJ501-□4□□

形NJ501-□3□□

形NJ301-12□□

形NJ301-11□□

形NJ101-10□□

形

NJ101-90

□□

NJ

シリーズ

CPU

ユニット

ユーザーズマニュアルハードウェア編

オムロン SBCA-418 形

NX701-17

□□

形NX701-16□□

NX

シリーズ

CPU ユニット

ユーザーズマニュアルハードウェア編

オムロン SBCA-448 形

NX1P2-11

□□□□

形NX1P2-10□□□□

形NX1P2-90□□□□

NX

シリーズ

形NX1P2 CPU ユニット

ユーザーズマニュアルハードウェア編

オムロン SBCA-359 形

NX701-17

□□

形NX701-16□□

形NX1P2-11□□□□

形NX1P2-10□□□□

形NX1P2-90□□□□

形NJ501-□5□□

形NJ501-□4□□

形NJ501-□3□□

形NJ301-12□□

形NJ301-11□□

形NJ101-10□□

形

NJ101-90

□□

NJ/NX

シリーズ

CPU ユニット

ユーザーズマニュアルソフトウェア編

オムロン SBCD-358

NJ/NX

シリーズ

CPU ユニット内蔵 EtherCAT®ポート

ユーザーズマニュアル

オムロン SBCA-362 形SYSMAC-SE2□□□ Sysmac Studio Version 1

オペレーションマニュアル

CKD SMF-2006 AX9000TS/TH/XS 取扱説明書アブソデックス AX シリーズ

TS タイプ TH タイプ XS タイプ

CKD SMF-2012 AX9000TS/TH-U5 取扱説明書アブソデックス AX シリーズ

TS

タイプ

TH

タイプ

EtherCAT

仕様

CKD SMF-2005 －取扱説明書アブソデックス

AXTools Windows®版

TS、TH、MU、XS タイプドライバ共用

2

．用語と定義

2

2.

用語と定義

用語説明・定義

PDO 通信

（Process Data Objects

通信）

常時、マスタとスレーブがデータ交換する方式です。

EtherCAT

のプロセスデータ通信周期（プライマリ定周期タスク

の周期）ごとに、あらかじめ割り付けられた PDO データ（ PDO

マッピングされた I/O データ）が入出力されます。

マシンオートメーションコントローラ NJ/NX シリーズでは、

スレーブの入出力、サーボモータの位置制御など、一定の制御

周期で入出力データ更新を行う指令に対しては PDO 通信を使

用します。

マシンオートメーションコントローラ NJ/NX シリーズ

からは、

以下の方法でアクセスします。

・スレーブの I/O に対しては、「デバイス変数」による

・軸に割り付けたサーボ／エンコーダ入力スレーブ内の各種デ

ータに対しては、「軸変数」による

SDO 通信

（Service Data Objects 通信）

必要時、マスタから、スレーブの指定データの読み書きをする

方式です。

マシンオートメーションコントローラ NJ/NX シリーズでは、

パラメータ転送など指定されたタイミングでデータの読み出し

／書き込みを行う指令には、SDO 通信を使用します。

マシンオートメーションコントローラ NJ/NX シリーズ

からは、

スレーブの指定データ（パラメータ、異常情報など）を、

EC_CoESDORead 命令（CoE SDO 読出）または

EC_CoESDOWrite

命令（

CoE SDO 書込）で、読み書きします。

スレーブスレーブには、位置情報などのデータを扱うサーボドライバな

どから、ビット信号を扱う I/Oターミナルなど様々なものがあ

ります。

スレーブは、マスタから送信される出力データを受信し、マス

タに入力データを送信します。

ノードアドレス EtherCAT に接続されたユニットを区別するためのアドレスで

す。

ESI ファイル

（EtherCAT Slave

Information ファイル）

EtherCAT スレーブ固有の情報を XML 形式で記述しているファ

イルです。このファイルを Sysmac Studio に読み込ませること

により、EtherCAT スレーブのプロセスデータの割付など、各種

設定を行うことができます。

3

．注意事項

3

3.

注意事項

(1) 実際のシステム構築に際しては、システムを構成する各機器・装置の仕様をご確認のう

え、定格・性能に対し余裕を持った使い方をし、万一故障があっても危険を最小にする

安全回路などの安全対策を講じてください。

(2) システムを安全にご使用いただくため、システムを構成する各機器・装置のマニュアル

や取扱説明書などを入手し、「安全上のご注意」「安全上の要点」など安全に関する注意

事項を含め、内容を確認のうえ使用してください。

(3) システムが適合すべき規格・法規または規制に関しては、お客様自身でご確認ください。

(4) 本資料の一部または全部を、オムロン株式会社の許可なしに複写、複製、再配布するこ

とを禁じます。

(5) 本資料の記載内容は、2017年5月時点のものです。

本資料の記載内容は、改良のため予告なく変更されることがあります。

本資料で使われているマークには、次のような意味があります。

正しい取り扱いをしなければ、この危険のために、軽傷・中程度

の傷害を負ったり万一の場合には重傷や死亡に至ったりする恐れ

があります。また、同様に重大な物的損害をもたらす恐れがあり

ます。

正しい取り扱いをしなければ、この危険のために、時に軽傷・中

程度の傷害を負ったり、あるいは物的損害を受けたりする恐れが

あります。

使用上の注意

製品の動作不能、誤動作、または性能・機能への悪影響を予防するために実施または回避す

べきことを示します。

参考

必要に応じて読んでいただきたい項目です。

知っておくと便利な情報や、使用するうえで参考となる内容について説明しています。

図記号の説明

●記号は、強制を意味しています。

具体的な内容は、●の中と文章で示します。

左図の場合は、「一般的な指示」を表します。

4

．概要

4

4.

概要

本資料は、CKD 製アブソデックスドライバ AX9000TS/TH-U5（以下、アブソデックスドラ

イバ）を、オムロン製マシンオートメーションコントローラ NJ/NX シリーズ（以下、コント

ローラ）と、EtherCAT で接続する手順とその確認方法をまとめたものです。本資料では、NJ

シリーズのコントローラを使用し説明を行います。

「6. EtherCAT の設定内容」と「7. EtherCAT の接続手順」で記載している設定内容および設

定手順のポイントを理解することにより、EtherCAT のPDO 通信を動作させることができま

す。

5

．対象機器とデバイス構成

5

5.

対象機器とデバイス構成

5.1.

対象機器

接続の対象となる機器は以下のとおりです。

メーカ名称形式

オムロン NJ/NX シリーズ CPU ユニット形

NX701-17

□□

形NX701-16□□

形NX1P2-11□□□□

形NX1P2-10□□□□

形NX1P2-90□□□□

形NJ501-□5□□

形NJ501-□4□□

形NJ501-□3□□

形NJ301-12□□

形NJ301-11□□

形NJ101-10□□

形

NJ101-90

□□

CKD アブソデックスドライバ AX9000TS/TH-U5

CKD アクチュエータ AX T シリーズ

使用上の注意

本資料の接続手順および接続確認では、上記対象機器の中から 5.2.項に記載された形式およ

びバージョンの機器を使用しています。

5.2.項に記載されたバージョンより古いバージョンの機器は使用できません。

上記対象機器の中から 5.2.項に記載されていない形式、あるいは 5.2.項に記載されているバ

ージョンより新しいバージョンの機器を使用する場合は、マニュアルや取扱説明書などによ

り仕様上の差異を確認のうえ、作業を行ってください。

参考

本資料は通信確立までの接続手順について記載したものであり、接続手順以外の操作、設置

、

配線方法、および機器の機能や動作に関しては記載しておりません。マニュアルや取扱説明

書などを参照するか、機器メーカまでお問い合わせください。

参考

アブソデックスドライバに接続可能なアクチュエータに関しては、

CKD

株式会社にお問い合

わせください。

5

．対象機器とデバイス構成

6

5.2.

デバイス構成

本資料では、NJ シリーズのコントローラを使用して接続手順を示します。

接続手順を再現するための構成機器は以下のとおりです。

メーカ

名称

形式

バージョン

オムロン

NJ

シリーズ

CPU

ユニット

（内蔵

EtherCAT

ポート）

形

NJ501-1500

Ver.1.13

オムロン

電源ユニット

形

NJ-PA3001

オムロン

Sysmac Studio

形

SYSMAC-SE2

□□□

Ver.1.17

－

パソコン

(OS

：

Windows 7)

－

USB

ケーブル

（

USB2.0

準拠

B

コネクタ）

－

オムロン

Ethernet

ケーブル（産業用イーサ

ネットコネクタ付きケーブル）

形

XS5W-T421-

□

M

□

-K

CKD

RS-232C

ケーブル

AX-RS232C-9P

CKD

アブソデックスドライバ

AX9000TS-U5

Rev.

0x00000001

CKD

アクチュエータ

AX4009T

CKD

AXTools

－

V2.13

CKD

ESI

ファイル

CKD_ABSODEX_ECAT_161

206.xml

－

外部電源（

DC24V

）

－

使用上の注意

本項記載の ESI ファイルを事前に準備してください。ESI ファイルの入手方法は、CKD 株式

会社までお問い合わせください。

使用上の注意

EtherCAT 通信を、他の Ethernet 通信の回線と共有しないでください。

また、スイッチングハブなどの Ethernet 用機器を使用しないでください。

Ethernet ケーブルには、カテゴリ 5 以上でアルミテープと編組で二重遮へいされたケーブル

と、カテゴリ 5 以上でシールド対応のコネクタを使用してください。

ケーブルのシールドは両端ともコネクタフードに接続してください。

USB ケーブル

形

NJ501-1500

（内蔵 EtherCAT ポート）

Ethernet ケーブル

AX9000TS-U5

AX4009T

パソコン（

Sysmac Studio

、

AXTools

インストール済み、

OS：Windows 7）

AX-RS232C-9P

外部電源

5

．対象機器とデバイス構成

7

使用上の注意

Sysmac Studio を本項記載のバージョン以降に、アップデートしてください。

本項記載のバージョンより新しいバージョンでは、7章以降の手順や画面に差異があること

があります。その場合は、「Sysmac Studio Version 1 オペレーションマニュアル」(SBCA-362)

を参照し、同等の処理を行ってください。

参考

Ethernet ケーブルの仕様やネットワークの配線については、「NJ/NX シリーズ CPU ユニッ

ト内蔵 EtherCAT®ポートユーザーズマニュアル」(SBCD-358)の「第4章EtherCAT ネット

ワークの配線」を参照してください。

参考

外部電源に使用可能な電源仕様は、「取扱説明書アブソデックス AX シリーズ TS タイプ

TH タイプ EtherCAT 仕様」(SMF-2012)を参照してください。

参考

本資料ではコントローラとの接続に USB を使用します。USB ドライバのインストールにつ

いては、「Sysmac Studio Version 1 オペレーションマニュアル」(SBCA-362)の「付録 A-1

USB ケーブルで直接接続する場合のドライバのインストール方法」を参照してください。

なお、形 NX1P2 のコントローラを使用する場合には、USB が使用できませんので、USB ド

ライバのインストールは必要ありません。

参考

形NX1P2 のコントローラを使用する場合、パソコンとコントローラ間は、Ethernet ケーブ

ルで接続します。接続方法については、「Sysmac Studio Version 1 オペレーションマニュア

ル」(SBCA-362)の「6-2 コントローラとのオンライン接続」を参照してください。

6

．EtherCAT の設定内容

8

6. EtherCAT

の設定内容

本資料で設定するパラメータおよびデバイス変数の設定内容を示します。

以降の章では説明内容により、アブソデックスドライバを、「スレーブ」と称します。

6.1.

パラメータ

コントローラとアブソデックスドライバを EtherCAT で接続するためのパラメータの設定内

容を以下に示します。

名称

設定項目

設定値

アブソデック

スドライバ

ノードアドレス（

AXTools

による設定）

1

Station Alias

レジスタへのデバイス

ID

設定

設定する（初期値）

コントローラ

プライマリ定周期タスクの周期／実行条件

1ms

（初期値）

使用上の注意

アブソデックスドライバの最小タスク周期が「1ms」のため、コントローラの［プライマリ

定周期タスク］の［周期／実行条件］に1ms 以上を設定して使用してください。

6

．EtherCAT の設定内容

9

6.2.

デバイス変数

アブソデックスドライバとの PDO 通信のデータは、コントローラのデバイス変数に割り当て

られます。

デバイス変数名とデータ型を以下に示します。

■出力エリア（コントローラ→アブソデックスドライバ）

デバイス変数名

データ型

ビット

意味

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_signal_1_2001_01

UDINT

0～3 プログラム番号選択入力（ビット

0

～

3

）

4 プログラム番号設定入力二桁目

/

プログラム番号選択入力（ビット

4）

5 プログラム番号設定入力一桁目

/

プログラム番号選択入力（ビット

5）

6

リセット入力

7

原点復帰指令入力

8

起動入力

9 サーボオン入力

/

プログラム停止入力

10 レディ復帰入力

/

連続回転停止入力

11 アンサ入力

/

位置偏差カウンタリセット入力

12

非常停止入力

13

ブレーキ解除入力

14

ジョグ動作入力（

CW

方向）

15

ジョグ動作入力（

CCW

方向）

16～17 使用不可

/

移動単位選択入力（ビット

0

～

1

）

18 使用不可

/

移動速度単位選択入力

19 テーブル運転、

データ入力運転切替入力

20

～

31

使用不可

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_signal_2_2001_02

UDINT

0

モニタ出力実行要求

1

命令コード実行要求

2

～

31

使用不可

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_data_1_2003_01

DINT

―

モニタコード

1

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_data_2_2003_02

DINT

―

モニタコード

2

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_data_3_2003_03

DINT

―

モニタコード

3

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_data_4_2003_04

DINT

―

モニタコード

4

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_data_5_2003_05

DINT

―

モニタコード

5

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_command_1_2003_06

DINT

―

命令コード

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_command_2_2003_07

DINT

―

書き込みデータ

/A

コードまたは

P

コード

E001_1st_Receive_PDO_Mapping

_Input_command_3_2003_08

DINT

―

書き込みデータ

/F

コード

6

．EtherCAT の設定内容

10

■入力エリア（コントローラ←アブソデックスドライバ）

デバイス変数名

データ型

ビット

意味

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_signal_1_2005_01

UDINT

0

～

7

M

コード出力（ビット

0

～

7

）

8

インポジション出力

9

位置決め完了出力

10

起動入力待ち出力

11

、

12

アラーム出力

1

、

2

13 インデックス途中出力

1

/

原点位置出力

14 インデックス途中出力

2

/

サーボ状態出力

15

レディ出力

16

分割位置ストローブ出力

17

M

コードストローブ出力

18 使用不可

/

移動速度単位選択入力

19

～

31

使用不可

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_signal_2_2005_02

UDINT

0

モニタ中

1

命令コード実行完了

2

～

31

使用不可

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_data_1_2007_01

DINT

―

モニタデータ

1

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_data_2_2007_02

DINT

―

モニタデータ

2

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_data_3_2007_03

DINT

―

モニタデータ

3

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_data_4_2007_04

DINT

―

モニタデータ

4

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_data_5_2007_05

DINT

―

モニタデータ

5

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_command_1_2007_06

DINT

―

返答コード

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_command_2_2007_07

DINT

―

読み出しデータ

E001_1st_Transmit_PDO_Mapping

_Output_command_3_2007_08

DINT

―

使用不可

参考

入力エリアおよび出力エリアの割り付けの詳細については、「取扱説明書アブソデックス

AX シリーズ TS タイプ TH タイプ EtherCAT 仕様」(SMF-2012)の「3.2. 入出力」を参照し

てください。

参考

デバイス変数名は、「デバイス名」と「ポート名」の組み合わせで自動生成されます。

［デバイス名］の初期値は、スレーブの場合、「

E

」＋「

001

からの連番」です。

7

．EtherCAT の接続手順

11

7. EtherCAT

の接続手順

本章では、コントローラとアブソデックスドライバをEtherCAT で接続するための手順につ

いて記載します。本資料では、コントローラおよびアブソデックスドライバが工場出荷時の

初期設定状態であることを前提として説明します。機器の初期化については「8.初期化方法」

を参照してください。

7.1.

作業の流れ

コントローラとアブソデックスドライバを EtherCAT で接続し、EtherCAT のPDO 通信を動

作させるための手順は以下のとおりです。

7.2. CKD

製アブソデックスドライバ

の設定

CKD 製アブソデックスドライバの設定を行います。

▼

7.2.1.

ケーブル接続

アブソデックスドライバのケーブル接続を行います。

▼

7.2.2. パラメータ設定アブソデックスドライバのパラメータを設定します。

▽

7.3. コントローラの設定

コントローラの設定を行います。

▼

7.3.1. Sysmac Studio の起動と

ESI

ファイルのインストール

Sysmac Studio に、アブソデックスドライバ用の ESI

ファイルをインストールします。

▼

7.3.2. EtherCAT ネットワーク構成

の設定 EtherCAT ネットワーク構成を設定します。

▼

7.3.3. デバイス変数の設定スレーブで使用するデバイス変数を設定します。

▼

7.3.4. プロジェクトデータの転送 Sysmac Studio のプロジェクトデータをコントローラ

に転送します。

▽

7.4. EtherCAT

通信の確認

EtherCATのPDO通信が正しく実行されていることを

確認します。

▼

7.4.1.

接続状態の確認

EtherCAT

の接続状態を確認します。

▼

7.4.2. データ送受信の確認正しいデータが送受信されていることを確認します。

7

．EtherCAT の接続手順

12

7.2. CKD

製アブソデックスドライバの設定

CKD 製アブソデックスドライバの設定を行います。

7.2.1.

ケーブル接続

アブソデックスドライバのケーブル接続を行います。

使用上の注意

電源が OFF の状態で設定してください。

電源が

ON

の状態の場合、以降の操作を手順どおりに進められないことがあります。

1

アブソデックスドライバの電源

および外部電源が OFFの状態で

あることを確認します。

2

アブソデックスドライバのハー

ドスイッチおよびコネクタの位

置を、右図をもとに確認します。

3

［レゾルバケーブル用コネク

タ］にアクチュエータのレゾル

バケーブルを接続します。

［アクチュエータ出力端子］に

アクチュエータのモータケーブ

ルを接続します。

アクチュエータ

主電源

制御電源

アクチュエータ

出力端子

RS-232C

用

コネクタ

レゾルバケーブル用

コネクタ

セーフティ

機能用端子

EtherCAT

用

コネクタ

非常停止用端子

ブレーキ用端子

レゾルバケーブル

モータケーブル

7

．EtherCAT の接続手順

13

4

［EtherCAT 用コネクタ］の[IN]

に、Ethernet ケーブルを接続し

ます。

Ethernet ケーブル

5

アブソデックスドライバの

［RS-232C 用コネクタ］とパソ

コンの［シリアルコネクタ］を

RS-232C ケーブルで接続しま

す。

6

セーフティ機能が無効の状態で

あることを確認します。

※本資料では、接続確認を目的

としているため、セーフティ

機能は無効状態としていま

す。

※セーフティ機能用端子の配線

は、「取扱説明書アブソデッ

クス AX シリーズ TS タイプ

TH タイプ XS タイプ」

(SMF-2006)の「3.2.6. セーフ

ティ機能の配線」を参照して

ください。

※工場出荷時は、［セーフティ機能用端子］にジャンパが

接続されており、セーフティ機能は無効です。

7

［非常停止用端子］に外部電源

を配線します。

※非常停止用端子の配線は、「取

扱説明書アブソデックス AX

シリーズ TS タイプ TH タイ

プ EtherCAT 仕様」

(SMF-2012)の「2.3.1. 非常停

止入力(TB3)の配線」を参照し

てください。

＋S1

＋S2

－S1

－S2

外部電源

パソコン

RS-232C ケーブル

7

．EtherCAT の接続手順

14

8

［主電源］および［制御電源］

コネクタに、アブソデックスド

ライバの AC

電源を配線します。

※主電源および制御電源の電源

容量は、「取扱説明書アブソ

デックス AX シリーズ TS タ

イプ TH タイプ XS タイプ」

(SMF-2006)－「3.2.2. 電源・

アクチュエータへの接続

(CN4,CN5)」－「表3.3 電源

容量・ブレーカ容量」および

「14.ドライバ仕様」を参照し

てください。

※主電源および制御電源の配線

は、「取扱説明書アブソデッ

クス AX シリーズ TS タイプ

TH タイプ XS タイプ」

(SMF-2006)－「3.2.2. 電源・

アクチュエータへの接続

(CN4,CN5)」を参照してくだ

さい。

AC 電源

主電源

制御電源

7

．EtherCAT の接続手順

15

7.2.2.

パラメータ設定

アブソデックスドライバのパラメータを設定します。

使用上の注意

アブソデックスドライバの主電源と制御電源の投入シーケンスは、「取扱説明書アブソデッ

クス AX シリーズ TS タイプ TH タイプ XS タイプ」(SMF-2006)の「5.5.4.主電源投入シー

ケンス」に従ってください。

1

アブソデックスドライバの電源

をON します。

2

AXTools を起動します。

3

［新規］ダイアログが表示され

ます

ので、［オンラインで実行す

る］を選択します。

［通信ポートの選択］に使用す

るCOM ポート番号を選択し、

[OK]をクリックします。

※「パソコンのシリアルポート」

が複数存在する場合は、

Windows のデバイスマネージ

ャーを表示し、「ポート（COM

とLPT）」の下の「ドライバが

接続されている COM ポート

番号（右図の例：COM1）」と

同じポートを選択します。

7

．EtherCAT の接続手順

16

4

確認用ダイアログが表示されま

すので、内容を確認し、[OK]を

クリックします。

5

AXTools が起動します。

6

［設定］タブを選択します。

［設定］タブのビューが表示さ

れますので、リボンメニューか

ら［フィールドバス設定］－

［EtherCAT 設定］を選択しま

す。

7

［EtherCAT 設定レジスタ］ダイ

アログが表示されますので、以

下のとおりに設定し、［設定

(ABSODEX)］をクリックしま

す。

デバイス ID：1

Station Alias レジスタへのデ

バイス ID 設定：設定する

タブ

リボンメニュー

ビュー

7

．EtherCAT の接続手順

17

8

確認用ダイアログが表示されま

すので、内容を確認し、[OK]を

クリックします。

9

［閉じる］をクリックし、

［EtherCAT 設定レジスタ］ダイ

アログを閉じます。

10

［ホーム］タブを選択します。

［ホーム］タブのビューが表示

されますので、リボンメニュー

から［終了］を選択し、AXTools

を終了します。

11

アブソデックスドライバの電源

をOFF します。

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CKD AX9000TS/TH-U5シリーズ OMRON社製 NJ/NXシリーズ EtherCAT ユーザーマニュアル

CKD AX9000TS/TH-U5シリーズ OMRON社製 NJ/NXシリーズ EtherCAT ユーザーマニュアル

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