Renishaw OSI インストールガイド

OSI (OSI-D)/OMM-2C オプチカルマルチ

プローブインターフェースシステム

インストレーションガイド

H-5991-8507-03-A

レニショーの書面による許可を事前に受けずに、本

文書の全部または一部をコピー、複製、その他のい

かなるメディアへの変換、その他の言語への翻訳を

することを禁止します。

本文書に掲載された内容は、Renishaw plc

の特許

権の使用許可を

意味するものではありません。

レニショーパーツ No.： H-5991-8504-03-A

初版発行： 2017 年 5 月

改訂： 2019 年 8 月

i

ご使用になる前に ..............................................................1.1

ご使用になる前に ...........................................................1.1

お断り ..................................................................1.1

商標について ............................................................1.1

保証について ............................................................1.1

製品の変更について .......................................................1.1

CNC 工作機械の操作について ...............................................1.1

システム構成部品の取扱いについて ...........................................1.1

特許について ............................................................1.2

OSI の EU 規格適合宣言 ......................................................1.3

OSI-D の EU 規格適合宣言 ....................................................1.3

OMM-2C の EU 規格適合宣言 ..................................................1.3

WEEE 指令 ................................................................1.3

REACH 規則 ...............................................................1.3

FCC information to user (USA only) .............................................1.4

安全について ...............................................................1.5

OSI (OSI-D)/OMM-2C システムの基本事項 ......................................2.1

はじめに ..................................................................2.1

OSI-D インターフェース ....................................................2.1

OSI およ

び OSI-D の入力 .....................................................2.2

OSI およ

び OSI-D の出力 .....................................................2.2

OSI 各部名称

............................................................... 2.3

OSI-D 各部名称 .............................................................2.4

｢OMM-2C (A)」

用コ

ネクタ（ 7 極/15 極） ......................................... 2.5

｢OMM-2C (B)」用コ

ネクタ（ 7 極） .............................................2.5

コントローラ接続用コネクタブロック（ 15 極） ....................................2.5

スイッ

チ SW1 出力設定 ....................................................2.6

スイッ

チ SW2 出力設定 ....................................................2.7

OSI およ

び OSI-D 入力

モード設定 ..............................................2.8

シングルプローブモード ....................................................2.8

マルチプローブモード ......................................................2.8

目

ii

電源 ON/電源 OFF 方式 ....................................................2.9

起動時間 ................................................................2.9

同期回復 ................................................................2.9

マルチプローブモードタイミング図 ........................................... 2.10

OSI および OSI-D 出力波形図 ................................................. 2.11

OSI

および OSI-D 各部寸法 ..................................................2.12

OSI およ

び OSI-D 製品仕様 ..................................................2.12

OMM-2C 状態診断用

システムステータス LED ....................................2.13

スタート信号送信中（青、黄、紫） .............................................2.14

アクティブシステム（青、黄、紫） ..............................................2.14

エラーまたはスタンバイ（赤） ...............................................2.14

過電流（赤点滅） .........................................................2.14

不正信号（白） ...........................................................2.14

OMM-2C 各部寸法 .........................................................2.15

OMM-2C 製品仕様 .........................................................2.15

シングルプローブモードの OSI (OSI-D)/OMM-2C シ

ステム構

成 .......................2.16

マルチプローブモードの OSI(OSI-D)/OMM-2C システム構

成 .........................2.17

システムの取付け ..............................................................3.1

一般的な OMM-2C システ

ムの取付け ............................................3.1

はじめに ................................................................3.1

1 台仕様の構成 ........................................................... 3.1

2 台仕様の構成 ........................................................... 3.2

OMM-2C のアプリケーション ................................................3.3

OMM-2C のケーブル ......................................................3.3

DIN レールへの OSI または OSI-D

の取付け ......................................3.4

OMP600 または OMP60 を使用

した場合の信号伝達範囲 ............................3.5

OMP400、OMP40-2 または OLP40 を使用

した場合の信号伝達範囲 ....................3.6

OTS と OMM-2C の信号伝達範囲 ..............................................3.7

電気結線図

（出力グループ図付き） ...............................................3.8

一体型エアブローの取付け（オプション） ..........................................3.9

一体型エアブローの使用 ...................................................3.9

エアチューブの接続およびエアパージ .........................................3.9

メンテナンス ...................................................................4.1

メンテナンス ...............................................................4.1

インターフェースのクリーニング ..............................................4.1

OMM-2C の取外し ........................................................4.2

メンテナンス：エアレギュレータユニット ........................................4.2

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

iii

トラブルシューティング ..........................................................5.1

パーツリスト ...................................................................6.1

目

iv

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

本ページは意図的に空白にしています。

1.1

お断り

レニショーでは、本書作成にあたり、細心の注意を払

っておりますが、誤記等により発生するいかなる損

害の責任を負うものではありません。

商標について

RENISHAW および RENISHAW ロゴに使用され

ているプローブシンボルは、英国およびその他の

国における Renishaw plc の登録商標です。apply

innovation およびレニショー製品およびテクノロ

ジーの商品名および名称は、Renishaw plc および

その子会社の商標です。

本文書内で使用されているその他のブランド名、製

品名はすべて各々のオーナーの商品名、標章、商標、

または登録商標です。

保証について

保証期間内の製品の修理に関するお問い合わせ

は、製品の購入元へお願い致します。

特にお客様とレニショーの間で書面による合意がな

い場合、お客様が直接レニショーとそのグループ会

社から製品を購入された場合は、お客様にはレニシ

ョーの販売条件に準じた製品保証が適用されます。

お客様には保証内容を確認いただくため、この販売

条件を熟読して頂く必要があります。なお、保証適用

範囲外となる主な条件は、製品が下記の状態にある

場合です。

• 放置されるか、誤った方法で扱われるか、不適切

に使用されていた場合

• 事前にレニショーが書面で合意した場合を除い

て、製品を改造したり本来の仕様と違う方法で使

用された場合

お客様が製品をその他の業者から購入された場合

は、その業者の保証条件によりどのような修理が受

けられるのかご確認ください。

ご使用になる前に

製品の変更について

製品の仕様は予告無く変更される場合があります。

CNC 工作機械の操作について

CNC 工作機械の操作は必ず機械メーカーの教育を

受けた有資格者が行なってください。

システム構成部品の取扱いについて

システム構成部品を常に清潔に保ち、取扱いには

十分注意してください。OMM-2C の正面にラベル

類を貼り付けたり、ウィンドウを遮ったりしないでく

ださい。

1.2

EP 0974208

EP 1503524

JP 4294101

US 6839563

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

ご使用になる前に

特許について

OMM-2C、OSI および OSI-D（および同様の製品）

の機能は、次の特許や特許出願の対象となってい

ます。

1.3

WEEE 指令

製品や付随文書にこのシンボルが使用されている

場合は、一般の家庭ごみと一緒にレニショー製品を

廃棄してはならないことを示します。本製品を電気・

電子機器廃棄物 (WEEE) の指定回収場所に持ち込

み、再利用またはリサイクルができるようにすること

は、エンドユーザーの責任に委ねられます。本製品

を正しく廃棄することにより、貴重な資源を有効活用

し、環境に対する悪影響を防止ができます。詳細に

ついては、ご使用の地域の産業廃棄物処理業者ま

たはレニショー販売店にお問い合わせください。

REACH 規則

高懸念物質 (Substances of Very High Concern

- SVHC) を含む製品に関する規則 (EC) No.

1907/2006 (REACH) の第 33(1) 項で要求される情

報については、www.renishaw.jp/REACH を参照

してください。

C

ご使用になる前に

OSI の EU 規格適合宣言

Renishaw plc は、その単独の責任において、OSI が

EU のすべての適用法に準拠していることを宣言し

ます。

EU 規格適合宣言の全文は、

www.renishaw.jp/mtpdoc をご覧ください。

OSI-D の EU 規格適合宣言

Renishaw plc は、その単独の責任において、OSI-D

が EU のすべての適用法に準拠していることを宣言

します。

EU 規格適合宣言の全文は、

www.renishaw.jp/mtpdoc をご覧ください。

OMM-2C の EU 規格適合宣言

Renishaw plc は、その単独の責任におい

て、OMM-2C が EU のすべての適用法に準拠して

いることを宣言します。

EU 規格適合宣言の全文は、

www.renishaw.jp/mtpdoc をご覧ください。

1.4

FCC information to user (USA

only)

47 CFR Section 15.19

This device complies with part 15 of the FCC

Rules. Operation is subject to the following two

conditions:

1. This device may not cause harmful

interference, and

2. This device must accept any interference

received, including interference that may

cause undesired operation.

47 CFR Section 15.21

The user is cautioned that any changes or

modifications not expressly approved by

Renishaw plc or authorised representative could

void the user’s authority to operate the equipment.

47 CFR Section 15.105

This equipment has been tested and found to

comply with the limits for a Class A digital device,

pursuant to part 15 of the FCC Rules. These limits

are designed to provide reasonable protection

against harmful interference when the equipment

is operated in a commercial environment. This

equipment generates, uses, and can radiate

radio frequency energy and, if not installed

and used in accordance with the instruction

manual, may cause harmful interference to radio

communications. Operation of this equipment

in a residential area is likely to cause harmful

interference in which case the user will be

required to correct the interference at his own

expense.

OSI (OSI-D)/OMM-2C

1.5

ご使用になる前に

安全について

ユーザーへの情報

工作機械や三次元測定機を使用する場合は、保護

眼鏡の着用を推奨します。

OMM-2C にはガラスウィンドウがあります。万が一

割れた場合には、怪我をしないよう注意して取り扱

ってください。

機械メーカーへの情報

操作に伴うあらゆる危険性（レニショー製品の説明

書に記載されている内容を含む）をユーザーに明示

すること、それらを防止する十分なカバーおよび安

全用インターロックを取り付けることは工作機械メ

ーカーの責任にて行ってください。

特定の状況下では、プローブ信号が正しく出力され

ない場合があります。プローブ信号のみに頼って機

械を停止させないようにしてください。

エンジニアリング会社への情報

すべてのレニショー製品は EU および FCC の関連

規制要件に準拠して設計されています。これらの規

制に準拠して製品を機能させるために、エンジニア

リング会社の責任において次のガイドラインを遵守

してください。

• 変圧器やサーボアンプなど電気ノイズの発生源

からインターフェースを離して配置してくださ

い。

• すべての 0V/アース接続は、機械の集中アース

部分に接続してください（集中アースとはすべて

の機器のアースとシールドケーブルを接続する

一点アースのことです）

。

この接続は非常に重要

で、怠るとアース間で電位差を生じることがあり

ます。

• ユーザーガイドに示されたとおりにすべてのシ

ールドを接続してください。

• モータの電源ケーブルなどの大電流のケーブル

や、高速のデータケーブルからケーブルを離して

ください。

• ケーブル長は常にできるだけ短くしてください。

• 本装置への DC 供給は必ず、IEC/BS/EN 60950-

1 で認定された電源から得る必要があります。

製品の使用について

本製品をメーカーが指定する方法以外で使用した

場合、本製品の保護性能・機能が低下することがあ

ります。

光学的安全性

本製品は、可視光線を放射する LED と不可視光線

を放射する LED のいずれも使用しています。

OMM-2C は次のリスクグループに分類されます。免

除（設計により安全）

本製品は下記の規格を使用して評価および分類さ

れています。

レニショーは、リスクグループに関わらず、いかなる

LED 装置も凝視したり直視したりしないことを推奨

します。

BS EN 62471:2008

(IEC 62471:2006)

ランプおよびランプシス

テムの光生物学的安全性

1.6

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

ご使用になる前に

本ページは意図的に空白にしています。

2.1

はじめに

CNC 工作機械において、オプチカル信号伝達方式

レニショー主軸プローブを使用してワーク計測を実

行したり、オプチカル信号伝達方式ツールセッター

を使用したりする際は、プローブからの信号を電圧

フリーのソリッドステートリレー (SSR) 出力に変換

して、CNC コントローラへ送信するインターフェー

スが必要となります。

インターフェースのひとつである OSI は、

一般に

CNC 工作機械の制御盤の内部など、変圧器やモー

タ制御ユニット等の干渉を与えそうな装置から離れ

た場所に設置し、その電源は工作機械の公称電圧

DC12V～DC30V の電源から取ります。

OSI の入力電圧範囲は DC12V～30V です。電源

入

力ラインは 1.1A の復帰型ヒューズで保護されて

います（定格電流は、OMM-2C の 1 台仕様の場合

12V 供給時で最大 400mA、OMM-2C 2 台仕様の場

合 24V 供給時で最大 200mA です）。ヒューズをリ

セットするには、電源を切り、障害を解消してから、

再度電源を投入してください。

OSI は、工作機械の加工エリア内に取り付けられた

1 台、あるいは 2 台の

OMM-2C と組み合わせて使

用できます。OMM-2C は、オプチカル信号受信機で、

工作機械の主軸に装着して使用します。

OMM-2C が、制御信号を主軸プローブまたはツール

セッターに送信し、プローブから受信したデータ信号

を OSI および CNC コントローラに送信します。電

源は OSI から供給されます。OMM-2C の LED によ

り、システムの状態が目視で確認できます。

OSI/OMM-2C システムは

モジュレーテッドモード

のオプチカル信号伝達方式で動作し、同じくモジュ

レーテッドモードで動作する各種プローブと組み合

わせて使用できます。

動作時には、正面ウィンドウの内側に配置された

3 個の多色 LED にて現在の状態を確認できます

（2.13 ページの

「OMM-2C 状態診断用システムス

テータス LED」を参照してください）。

OSI (OSI-D)/OMM-2C システムの基本事項

OSI-D インターフェース

OSI-D インターフェースは OSI インターフェース

（標準型）の一種です。プローブへの入力にミニ D

サブ 15 ピンコネクタを使用する CNC 機械コント

ローラに、容易に取り付けられる設計が施されてい

ます。

OSI-D は機能および電気結線が標準型の OSI と同

様です。OMM-2C コネクタ (A)

のみ異なります。

注：本インストレーションガイドの説明および図で

OSI と記載されている場合、特に OSI-D と指定

され

ていない限り OSI と OSI-D の両方を指します。

2.2

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

OMM-2C 基本事項

OSI および OSI-D の入力

入力は 3 種類あります。

• プローブ 1 スタート

• プローブ 2 スタート

• プローブ 3 スタート

スイッチ SW2 により

、機械コントローラからのパル

ス出力またはレベル出力のどちらを使用するかを

設定できます。

プローブ 1 スタート

レベル 8V～30V（15V 時 4mA、24V 時 7mA）入

力が有効になっている間、プローブの電源

が ON になります。

パルス 8V～30V（15V 時 4mA、24V 時 7mA）パ

ルスが入力されるたびにプローブの電源

が ON から OFF、OFF から ON に切り替

わります。最小パルス幅は 10ms です。

プローブ 2 およびプローブ 3 ス

タート

レベル 10～30V（24V 時 10mA）

入力が有効になっている間、プローブの電

源が ON になります。

パルス 10～30V（24V 時 10mA）

パルスが入力されるたびにプローブの電

源が ON から OFF、OFF から ON に切り

替わります。最小パルス幅は 10ms です。

レベルタイプやパルスタイプの機械入力に従っ

て、OSI により有効になるプローブを指定します。ス

タ

ート入力が有効になると、対応するプローブの電

源が ON になります。

すべてのスタート入力が同時に有効な場合は、エラ

ーになります。

OSI および OSI-D の出力

出力は 4 種類あります。

すべての出力はスイッチ SW1 を使用し

て反転でき

ます（2.6 ページの「スイッチ SW1 出力設定」を参

照してください）。

プローブステータス 1、エラー、ローバッテリー

（SSR 出力）：

スイッチングタイム（負荷電流 10mA 時）

プローブステータス出力は両方とも、選択されたプ

ローブのステータスを示します（一度に選択できる

プローブは 1 個のみです

）。これらの出力は、個別に

設定可能です。

出力回路に過負荷が生じると、OMM-2C のステー

タ

ス LED は赤色に点滅します。プローブステータス

出力はトリガー状態となります（SSR オープン状態）

。過負荷が生じた場合は、供給電源を切り、問題の原

因を取り除いてください。電源を再投入すると、OSI

はリセットされます。

注意：

供給電源電圧について

次の間で電圧が 30V を超え

ないようにしてくださ

い。

• 0V ケーブルとスクリーンケーブル間

• 12V～30V 電源ケーブルとスクリーンケーブル

間

• 12V～30V 電源ケーブルと 0V ケーブル間

OSI、OMM-2C や供給電源等に重大な損傷

を与え

るおそれがあります。

OSI、OMM-2C およ

びケーブル保護のため、機械制

御盤内でインラインヒューズを使用することを推奨

します。

スクリーンの接続について

機械本体のアース（スターポイント）部分に確実に

接続してください。

出力について

OSI からの出力が定格電流を超えないようにしてく

ださい。

• プローブステータス 1（SSR 出力）

• プローブステータス 2（SSR 出力）

• エラー（SSR 出力）

• ローバッテリー（SSR 出力）

• ON 抵抗 = 最大 50W

• 負荷電圧 = 最大 40V

• 負荷電流 = 最大 100mA

• オープン→クローズ = 最大 100µs

• クローズ→オープン = 最大 25µs

2.3

OMM-2C

SW2

15

OMM-2C

(B)

7

OMM-2C

(A)

7

SSR

SW1

OSI

• OMM-2C (A) 7

• OMM-2C (B) 7

• 15

• SSR SW1

OSI

• SW2

SW1

SW2

2.4

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

OMM-2C 基本事項

OSI-D 各部名称

OSI-D 前面には下記の部品があります（下図参照）。

• ｢OMM-2C (A)」用コネクタ

（ミニ D サブ 15 ピン）

• ｢OMM-2C (B)」用コネクタ（ 7 極）

• コントローラ接続用コネクタブロック（ 15 極）

下記の部品は OSI-D 本体内部にあります。

• SSR 設定スイッチ SW1

• モード設定スイッチ SW2

取付け時以外では、SW1 および SW2 にア

クセスす

る必要はありません。

モード設定スイッチ SW1

および SW2

取外し可能カバー

（SW1 および SW2 を

扱う際に

取り外します）

カバータブ

（このタブを押してカ

バーを外します）

コントローラ接続用コネクタ

ブロック（ 15 極）

「OMM-2C

(B)」用コネクタ

（7 極）

「OMM-2C (A)」用コネ

クタ

（ミニ D サブ 15 ピン）

2.5

OMM-2C 基本事項

「OMM-2C (A)」用コネクタ（ 7 極/15 極）

OSI

7 極仕様で、レニショー OMM-2C を接続します。

OSI-D

ミニ D サブ 15 ピン仕

様で、レニショー OMM-2C

を接続します。

「OMM-2C (B)」用コネクタ（ 7 極）

7 極仕様で、レニショー OMM-2C を接続します。

コントローラ接続用コネクタブロック（ 15 極）

15 極仕様のコネクタブロックで、CNC 工作機械と

の接続や電源供給に使用します。ピンの配置は次の

とおりです。

ピン 1 および 2 は

「プローブステータス 1（SSR 出

力）」の接続に使用します。

ピン 3 および 4 は

「プローブステータス 2（SSR 出

力）」の接続に使用します。

ピン 5 および 6 は

「ローバッテリー（SSR 出力）」の

接続に使用します。

ピン 7 および 8 は

「エラー（SSR 出力）」の接続に使

用します。

ピン 9～12

はプローブへのスタート信号送信に使

用します。

• ピン 9 は「マシンスタート入力 1」信号の入力に

使用します。

• ピン 10 は「マシンスタート入力 2」信号の入力

に使用します。

• ピン 11 は「マシンスタート入力 3」信号の入力

に使用します。

• ピン 12 は「スタート入力コモン」として使用します。

ピン 13～15 は、

インターフェースへの電源供給とス

クリーン接続に使用します。

2.6

OSI-D

OSI

Pin SW1 ON OFF

1

プローブステータス 1

（SSR 出力）

パルスレベル

2 ノーマルオープンノーマルクローズ

3 ローバッテリー

（SSR 出力）

ノー

マルオープンノーマルクローズ

4 エラー（SSR 出力）ノーマルオープンノーマルクローズ

5

プローブステータス 2

（SSR 出力）

パ

ルスレベル

6 ノーマルオープンノーマルクローズ

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

OMM-2C 基本事項

スイッチ SW1 出力設定

スイッチ SW1 を使用してプローブシステムの SSR

出力を設定できます。

A-5492-2000 の出荷時設定を

図示しています

（マルチプローブモード）

A-5492-3000 の出荷時設定を

図示しています

（マルチプローブモード）

注意：プリント基板を取り扱う際は、静電気 (ESD) 対策を講じてください。

2.7

OSI

OSI-D

OMM-2C

SW2

SW2 OSI

A-5492-2000

A-5492-3000

1 2 3 4

OFF

M

A-5492-2010 A-5492-3010

ON OFF OFF OFF

OFF

M

ON OFF OFF ON

ON ON ON OFF OFF

2 M

(10ms)

OFF ON OFF OFF

2 M

(50ms)

OFF ON ON OFF

2 M

(100ms)

OFF ON OFF ON

3 M

A-5492-2000 A-5492-3000

OFF OFF ON ON

3 M

OFF OFF OFF OFF

3 M

OFF OFF OFF ON

2.8

OSI (OSI-D)/OMM-2C インストレーションガイド

OMM-2C 基本事項

OSI および OSI-D 入力モード設定

シングルプローブモード

シングルプローブモードでは、プローブを 1 個使用

します。プローブはプローブ 1 に設定します。

シングルプローブモードでは、「オートスタート」を

有効にできます。「オートスタート」を有効にしておく

と、プローブの電源が OFF の場合にシステムが 1

秒ごとにスタート信号を送信するようになり、CNC

工作機械からの出力は不要になります。

「オートスタート」は、工作機械のコントローラの制

御出力信号が全く使用できない場合にのみ使用し

ます。「オートスタート」を有効にしている場合は、プ

ローブシステムからの信号が、他の工作機械のシス

テムで受信されていないことを確認してください。

「オートスタート」を有効にしていない場合、OSI

は、工作機械のコントローラからの出力信号に応じ

て動作します。パルスタイプの出力信号に対応する

か、レベルタイプの出力信号に対応するかは、スイッ

チ SW2 で設定

しま

す。

パルスモードの場合、OSI は、

立ち上がりエッジから

最小パルス幅 10ms のパルスに反応します。

レベルモードの場合は、レベル信号のロー状態でプ

ローブは OFF にな

り、ハイ状態で ON になります。

マルチプローブモード

マルチプローブモードでは、プローブを 2 個または

3 個使用できます。プローブを 2 個または 3 個使用

するには、工作機械のコントローラからの出力を 2

組もしくは 3 組使用します。

（プローブ 3 個に対

して）機械出力を 2 組使用する

場合、選択したプローブの電源 ON/OFF にはコード

化入力方式が使用されます。この方式を使用する場

合、2 組の機械出力を続けてコントローラから入力

する必要があります。この 2 組の機械出力の入力間

隔として下記の 3 種類のディレイを使用できます。

• ショートタイムディレイ 10ms

• ミディアムタイムディレイ 50ms

• ロングタイムディレイ 100ms

機械出力を 3 組使用する

と、以下のようなスタート

信号の設定が可能になるため、フレキシブルにイン

ターフェースを取り付けできます。

個別スタート（レベルモード）

個別スタートでは、オプチカル ON に設

定されたプ

ローブごとに、マシンスタート入力が必要です。

マシンスタート

入力

選択したプローブ

P1 P2 P3

なし

¬

プローブ 1 ON

¬

プローブ 2 ON

¬

プローブ 3 ON

¬ マシンスタート入力が有効。プローブを同時に 2 個以上電源

ON させようとすると、エラー状態となります。

コモンスタート（レベルモード）

コモンスタート（レベルモード）では、マシンスタート

入力 P2 および P3 を使用し

てプローブを選択し、

マシンスタート入力 P1 を使用して、選択したプロー

ブの電源を ON にします。すべて、レベル入力です。

マシンスタート入力

P1、P2、P3

選択したプロ

ーブ

プローブ

電源 ON

P1

プローブ選択用入力

P2 P3

¬

プローブ 1

¬ ¬

プローブ 2

¬ ¬

プローブ 3

¬ マシンスタート入力が有効。

P1 が OFF のときは、すべてのプローブの電源が OFF とな

ります。

P1 が有効のときは、選択したプローブの電源が ON となり

ます。

注：プローブの動作中に、プローブ選択用入力 P2

または P3 が変化すると、エラー状態となります。

ページが読み込まれています...

Renishaw OSI インストールガイド

Renishaw OSI インストールガイド

関連論文

その他のドキュメント