Renishaw RLE fibre optic laser encoder Installation & User's Guide

Renishaw
ブランド
Renishaw
モデル
RLE fibre optic laser encoder
タイプ
Installation & User's Guide
インスタレーションガイド
M-5225-0701-05-B
Product name / title
RLE光ファイバー式レーザーエンコーダ
© 2004–2017 Renishaw plc.
本書の権利は全て保護されています。
本書は、Renishaw plcの書面による許可を受けずに、全部または
一部をコピー、複製、その他のいかなるメディアへの転写、他言語
への翻訳を行うことはできません。
お 断り
レニショーでは、本書作成にあたり細心の注意を払っております
が、誤記等により発生するいかなる損害の責任を負うものではあ
りません。 また、本書作成にあたり、細心の注意を払っております
が、誤記等により発生するいかなる損害の責任を負うものではあ
りませ ん。
商標
RENISHAW® および RENISHAW ロゴに使用されているプロー
ブシンボルは、英国およびその他の国における Renishaw plc の
登録商標です。
apply innovation は、Renishaw plc の商標です。
本文書内で使用されているその他のブランド名、製品名は全て各
々のオーナーの商品名、標章、商標、または登録商標です。
Renishaw製品の変更
Renishaw plcは、既に販売・流通しているRenishawの装置には変更を行
う義務をもつことなく、製品や説明書に改良、変更、修正を加える権利を
有します。
保証
Renishaw plcは、説明書に定義されているように装置が据え付けされた
ことを条件として、その装置を保証します。
EC規定の準拠について
Renishaw plc は RLE 光ファイバ式レーザーエンコーダが指令、
基準及び規格に準拠していることを宣言いたします。 EC 規格適
合宣言書のコピーは、次のアドレスからご利用いただくことがで
きます。
www.renishaw.com/RLECE
WEEE
レニショーの製品や付随文書にこのシンボルが使用されている
場合は、一般の家庭ごみと一緒に製品を廃棄してはならないこと
を示します。 この製品を廃棄用電気・電子製品（WEEE）の指定回
収場所に持ち込み、再利用またはリサイクルができるようにする
ことは、エンドユーザーの責任に委ねられます。 この製品を正し
く廃棄することにより、貴重な資源を有効活用し、環境に対する悪
影響を防止することができます。 詳細については、各地の廃棄処
分サービスまたはレニショーの販売店にお問い合わせください。
パッケージの材質について
RoHS 準拠
EC指令2011/65/EU (RoHS) 準拠
パッケージのコ
ンポーネント
材質
ISO 11469
リサイクルの
可否
外箱 ボール紙 該当なし リサイクル可
ポリプロピ
レン
PP
リサイクル可
緩衝材 ボール紙 該当なし リサイクル可
低密度ポリ
ウレタンフォ
ーム
LDPU
再利用可
袋 低密度ポリエ
チレン
LDPE
リサイクル可
金属化ポリエ
チレン
PE
現状リサイクル
不可
FCC
この装置はFCC Part15による、Class Aデジタル素子の限界につ
いてテストされ明確化されています。これらの限界は、この装置が
商業的な環境下において操作された場合においても、有害な通信
に対する合理的な保護を供給するよう設計されます。この装置は、
無線周波数エネルギーを発生・使用・放射する可能性があるため、
もしもインストレーションマニュアルに従ってインストール・使用し
なかった場合、無線のコミュニケーションへ有害な電波を発信する
可能性があります。
装置のケア
RenishawのRLE光ファイバー式レーザーエンコーダとその関連
製品は精密部品ですので、十分に注意して丁寧に取り扱う様にし
て下さい。 詳細については、付録 B を参照してください。
US 5,274,436
EP 0668483
JP 3,502,178
US 5,638,177
EP 0753804
US 5,975,744
GB 2337339B
DE 19980326 T1
US 6,473,250 B1
WO 00/57228
EP 1082630
JP 2002-540,408
US 6,597,505 B1
EP 1103790
JP 2001-194184A
US 2004-0107068
CN CN1383597A
EP 1287593
JP 2003-536,263
US 6,865,211 B2
EP 1193402
JP 2002-195,220
US 6,776,551 B2
WO 2004/031816
WO 2004/032294
WO 2004/031686
EP 1480448
JP 2005-37,371
特許
レーザーエンコーダシステムには、下記の特許および特許出願
が関係します。
本文書に掲載された内容は、Renishaw plc の特許権の使用許可を意味
するものではありません。
安全性
RLE光ファイバー式レーザーエンコーダを安全に使用する為には、装
置の仕様上、あるいはデータの受け手側によって起こる信号に問題が
発生した場合等、いかなる場合においても、装置の安全性を確保する
ことを保証することは、装置メーカーやエンコーダの取り付け業者の
責任です。また、ユーザーが、Renishawの製品説明書に記載されてい
る危険性を含めて、操作に伴うあらゆる危険性をよく認識しているこ
と、適切なガードとインターロックを必ず準備することも、装置メー
カーまたは取り付け業者の責任です。
Renishawレーザーエンコーダ製品の取り付け・使用する際には、機器
の取り付け方法と取り付け場所を考慮して、圧迫や損傷の危険性がな
いように気をつけてください。こ の こ と は 、特 に RLE光ファイバー式レー
ザーエンコーダの光学パーツの取り付け時に注意を払ってください。
Renishaw RLE光ファイバー式レーザーエンコーダには、精密ガラス
部品と光ファイバーが使用されています。万が一フレキシブルスチー
ルチューブが切れたり、損傷を受けた場合は、光ファイバーの破片が
飛び散ることがあります。
光ファイバーに損傷がある場合、RLUレーザーユニットを傷めないよ
うに注意して取り外し、最寄りのレニショー事務所にお送りくださ
い。損傷または露出した光ファイバーを取り扱う際には、保護眼鏡と
保護手袋を着用してください。ユニットは頑丈なダンボール箱に梱包
し、箱の外側には「注意：中に露出した光ファイバーを梱包。要注
意」という注意書きを施してください。
光ファイバーを修理しようとしたり、レーザーユニットから取り外そ
うとしたりしないでください。
このような場合は、非常に細かく、鋭い破片となることがあります。皮膚に光フ
ァイバーの破片が入った場合には、直ちに医師の手当てを受けてください。
注 意： レントゲンには、光ファイバーの破片は映りません。
レーザー光の安全性について
レーザービームを直接見つめないでください
EN60825-1、EN60825-2および米国規格21CFR 1040とANSI Z136.1に
基づき、Renishaw RLEレーザーは、クラスIIレーザーに分類され、まばた
きにより目を保護することができるため、保護メガネの着用は必須ではあ
りません。ただし、レーザービームを直接見つめたり、ビームが人の目に
入らないようにしてください。散乱・反射したビームを見ても、安全上問題
はありません。クラスIIの限界を超えるレーザー光を浴びる可能性がある
ため、いかなる場合においても、レーザーユニットを分解しないでくださ
い。 製品およびモーションシステムの安全性に関する詳細な情報につい
ては、付録 E を参照してください。
電気的安全性
高圧電流を受ける危険性があるため、ハウジングからいかなるパーツ
も取り外さないでください。不具合のある製品は、修理を行いますの
で、Renishawに 返 送してくだ さ い 。
Contents
1 システム概要 ...................................................................................1
1.1 システム構成 ................................................................................ 1
1.1.1 RLUレーザーユニット ............................................................1
1.1.2 RLD検 出 ヘ ッド ......................................................................2
1.2 RLUの出力形式 ........................................................................... 4
1.3 RLUの速度と分解能 ..................................................................... 5
1.4 パーツ一覧 ................................................................................... 7
1.5 保管と取扱い ............................................................................. 11
2 取り付 けとセットアップ ................................................................... 12
2.1 取り付け図 ................................................................................. 12
2.1.1 RLUレーザーユニット － 水平固定 .....................................12
2.1.2 RLUレーザーユニット － 垂直固定 .....................................13
2.1.3 RLD 90° 検 出 ヘ ッド ............................................................14
2.1.4 RLD 0° 検 出 ヘ ッド ..............................................................15
2.1.5 RLD反 射 鏡のアライメント寸 法 ............................................16
2.1.6 RLD DI検 出 ヘ ッド ...............................................................17
2.2 準備 ........................................................................................... 19
2.2.1 ケーブル類 ..........................................................................19
2.2.2 リファレンスマークスイッチ ..................................................22
2.2.3 エラー出力信号 ...................................................................23
2.2.4 リ セ ット 入 力 ........................................................................24
2.2.5 レーザービームシャッター....................................................24
2.2.6 RLDの接続 ..........................................................................25
2.2.7 RLDのシャッター 操 作 ..........................................................27
2.3 RLU設 定スイッチ ....................................................................... 28
2.4 フロントパネルのスイッチについて ............................................. 29
2.5 RLUレーザーユニットを固定時の検討事項 ................................. 34
2.5.1 フロントパネル ....................................................................35
2.5.2 RLUのLEDについて ............................................................36
2.6 アライメント調 整 ........................................................................ 37
2.6.1 アライメント調 整 方 法 ..........................................................37
2.6.2 信号強度 .............................................................................39
2.6.3 アライメントエイド ...............................................................40
2.6.4 反射鏡のアライメント調整手順 ............................................41
2.6.5 平面鏡のアライメント調整手順 ............................................43
2.6.6 ディファレンシャル干渉計のアライメント調整手順 ................44
3 コネクタのピン配列 .......................................................................47
付録A－干渉方式 ..............................................................................53
A.1 干渉方式ガイド .......................................................................... 53
A.2 反射鏡干渉計 ............................................................................. 55
A.3 平面鏡干渉計 ............................................................................. 56
A.4 ディファレンシャル 干 渉 計 ........................................................... 57
付録B－メンテナンス .........................................................................58
B.1 調整とその手順 .......................................................................... 58
B.2 メンテナンス全 般 ....................................................................... 58
B.3 トラブ ルシューティング ............................................................... 60
B.4 RLDとRLUの正しい組み合わせ .................................................. 61
付録C－計測エラー ...........................................................................63
C.1 概要 ........................................................................................... 63
C.2 コサイン誤差 .............................................................................. 65
付録D－仕様一覧 ..............................................................................66
D.1 システム仕様 .............................................................................. 66
安全性に関する情報 ............................................................................70
付録E－安全性に関する情報 .............................................................70
E.1 レーザービームの概要と安全警告ラベル .................................... 70
E.2 モーションシステムの安全性 ....................................................... 72
付録F－用語集 ..................................................................................75
図と表の索引.......................................................................................77
1
1 システム概要
RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは、1軸と2軸仕様の
システムを用意しておりおり、1軸仕様のシステムは1本、2軸
仕様のシステムは2本の光ファイバー出力が利用できるように
なっています。
1.1 システム構成
1.1.1 RLUレーザーユニット
図1 － RLUレーザーユニット
RLE光ファイバー式レーザーエンコーダには、2種類のレーザ
ーユニットを使用することができます。
• RLU10
• RLU20
システム概要
RLU20には、優れたレーザー周波数安定性が備わっています。い
ずれのレーザーユニットもシングル、あるいはデュアルシステムと
して使用することが可能です。その場合、(RLDディテクタ ヘ ッドと
接続する)光ファイバーの長さが3mであればRLU10/RLU20の両
タイプを、6mであればRLU10をシステムに組合わせて使用するこ
とができます。
レーザーユニットには、周波数安定化レーザーチューブ、光ファイ
バー送出光学部品と信号処理回路が組み込まれています。
レーザーユニットでは、検出ヘッドから返される電気的な干渉縞
信号が処理され、標準デジタルA–B相形式か、またはアナログサ
イン＆コサイン形式の位置決めフィードバック信号に変換されま
す。コントローラでは、これらの信号を直接使用することができま
す。別のオプションとして、環境補正が必要な場合は、RLUのフィ
ードバック信号を環境補正ユニット（RCU）を介してコントローラ
に送信することができます。RCUは、環境の変化によって発生す
る、レーザー波長と物体の熱膨張に対する影響の補正を行う為の
装置です。
RLUレーザーユニットのフロントパネルにはステータスインジケ
ータが搭載されており、作業者は、これを使用して取り付け状態を
確認したり、システムの性能を最適に保つ為の情報を得ることが
できます。
RLUレーザーユニットは検出ヘッドから離して取り付けることが
できるため、計測エリアから熱源と不必要な設置面積を取り除く
ことができます。このことによって、様々な方法で取り付けを行う
ことができます。
2
システム概要
1.1.2 RLD検 出 ヘ ッド
RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは、6種類の検出ヘッ
ドの中から選択していただけます。
• RLD 0° RRI （反射鏡）
• RLD 90° RRI （反射鏡）
• RLD 0° PMI （平面鏡）
• RLD 90° PMI （平面鏡）
• RLD XX （光学部品なし）
• RLD DI （平面鏡：差動計測）
アプリケーションに適した構成を、出力方向が0°か90°の 平
面鏡(PMI)、反射鏡(RRI)構成、あるいは差動計測用ディファレ
ンシャル干渉計(DI)から選ぶことができます。
RLD検出ヘッドは、計測システムの光学部品の中で中心的な役
割を果たすものです。検出ヘッドには干渉計、参照ビーム用光学
部品（必要に応じて）に加え、取り付けの手間を省き、アライメント
調整を簡素化するためのビームステアリング装置が組み込まれ
ています。
さらに、同じくヘッドに組み込まれた干渉縞検出機構が検出
した干渉縞を電子信号に変換し、これがレーザーユニットに
戻されて更なる処理が行われます。
RLDは検出ヘッドに光ファイバーの接続部分を差し込み、レーザ
ーユニットには、RLDからの電気ケーブルで接続されます（RLD
DI用の電気ケーブルは、ディテクターとレーザーユニットの両端
から取り外すことができます）。この構造によりRLD*の交換が可
能になると同時に、ケーブルの設置については、最小の面積でフ
ァイバーとケーブルを通せるようになっています。検出ヘッドに
は安全にご使用頂く為のインターロックが組み込まれており、ファ
イバーまたは電気ケーブルが外れているときには、レーザー光線
が照射されないようになっています。
RLD 0° 検出ヘッドは、上下どちらの面でも取り付けが可能で
す。
図2 － RLD 0° とRLD XX検出ヘッド
* RLDは交換が可能ですが、RLUレーザーユニットに対して、付録B.4に解説し
た手順でマッチング調整を行う必要があります。
レーザー光線
レーザーアパーチャ
3
RLD DIヘッドは真空室の外に取り付けるように設計されてお
り、工具とステージ間の差動計測を行うことができます。た
だし、参照ビーム（図4参照）の固定経路長は0.5 m以下とす
る必要があることにご注意ください。
図4 － RLD DI検出ヘッド
RLD 90° 検出ヘッドは、上下どちらの面でも取り付けが可能
なため、一つのヘッドで90°か270°のレーザー出力方向に向け
ることができます。
図3 － RLD 90°検出ヘッド
レーザー光線
参照ビーム
システム概要
計測ビーム
レーザーアパーチャ
レーザーアパーチャ
4
システム概要
1.2 RLUの出力形式
RLUはファイン/コースデジタル矩形波を同時に出力するか、
もしくはファインデジタル矩形波とアナログサイン/コサイン
波を同時に出力することが可能です。
デジタル矩形波：
2チャネルでA–B相形式のデジタル矩形波信号。A相とB相信号
は90°の位相差があります。
図5 － RS422差動ラインドライバ出力（わかりやすくするた
め、ディファレンシャル信号の片側のみを図示）
アナログ矩形波：
サインとコサイン波の信号出力。光学部品を正確にアライメ
ント調整し、出力を120 Ωで正しく終端を行った状態では、
各信号は公称1 Vppの正弦波となります。光学部品のアライメ
ント調整が不十分であったり、光学パス長が仕様の最大値を
超えると、振幅が狭まります。
図6 － アナログ差動ラインドライバ出力（わかりやすくする
ため、ディファレンシャル信号の片側のみを図示）
90°
Cos
1 Vpp
DC2.5V オフ セット
リファレンスマーク信号
Sin
-45°
0°
135°
2.5 V
3.5 V
5
システム概要
1.3 RLUの速度と分解能
分解能の正確な値
使用できる出力分解能は、レーザーの基本波長を割ったものとな
ります。取り付けガイドなどでは、これらの分解能を四捨五入して
わかりやすく示しています。これらの正確な値を表3（真空値）と表4
（常温常圧値）に示します。
RLEシステムの最高軸速度と、選択した分解能とは相関関係を持
っています。使用できる分解能は、使用する干渉方式
(平面鏡か反射鏡）によっても異なります。表1に、各分解能に
対するシステムの最高速度を示します。
アナログ矩形波は、158nm（PMI/DI の場合）または 316nm（RRI
の場合）の信号周期でのみ供給されます。 他の分解能が必要な
場合は、RLEシステムの外部で処理しなければなりません。
警 告： RLE光ファイバー式レーザーエンコーダの出力分
解能は、コントローラの入力分解能に合わせて設定する
ことが重要です。矩形波の分解能設定が正しくない場合、
軸が予想外の速度と距離で動く場合があります。
例えば、RLEシステムからの出力分解能をコントロー
ラの入力分解能の半分の値に設定した場合、軸は予想
した2倍の速度で2倍の距離に移動することがありま
す。
注 意： 分解能とは、デジタル矩形波信号のエッジからエッジまで
の距離です（セクション1.2参 照 ）。
警 告：デジタル矩形波を使用する場合、コントローラのサ
ンプリング周波数は、RLUの設定更新速度よりも最低で
も25%以上大きなものを選択してください。
表1 － システムの最高速度
公称分
解能
（nm）
PMI/DIの最高速度（m/s） RRIの最高速度（m/s）
矩形波 矩形波
ファイン
デジタル
コース
デジタル
アナログ
ファイン
デジタル
コース
デジタル
アナログ
633 2.0
316 1.0 2.0 2.0
158 1.0 1.0 0.8 2.0
79 0.4 1.0 0.8 1.6
39.5 0.4 0.8 0.8
20 0.4 0.4
10 0.2
!
!
6
システム概要
RLD DI ヘッドを使用する場合、上の表に示した AX1 と AX2 の
実値を 0.1ppm 増やしてください。
分解能は、波長から直接得ています。20℃、1013.25 mbar、50%
RH（常温常圧値）でのシステムの分解能を表4に示します。
* 平面鏡システム構成では使用できません
** 反射鏡システム構成では使用できません
RLD DI ヘッドを使用する場合、上の表に示した AX1 と AX2 の
実値を 0.1ppm 増やしてください。
常温常圧値からの大気変化がレーザー波長に及ぼす影響を下表
に示します。
ppm = 100万分の1（1 µm/m）
注 意： これらの値は、常温常圧値に近い値にのみ有効です。
常温常圧値からかなり離れた範囲の影響を算出する場合は、
エドリンなどの補正式を利用することをお勧めします。
表3 － RLEの出力分解能 － 真空
公称分解能（nm） AX1の実値（nm） AX2 の 実 値（ nm）
633* 632.990000 632.991450
316 316.495000 316.495725
158 158.247500 158.247863
79 79.123750 79.123931
39.5 39.561875 39.561966
20 19.780938 19.780983
10** 9.890469 9.890491
表2 － 真空波長
AX1 AX2
632.990000 nm 632.991450 nm
表4 － RLEの出力分解能 － 常温常圧
公称分解能（nm） AX1 の 実 値（ nm） AX2 の 実 値（ nm）
633* 632.818270 632.819719
316 316.409135 316.409860
158 158.204567 158.204930
79 79.1022837 79.1024649
39.5 39.5511418 39.5512324
20 19.7755709 19.7756162
10** 9.88778546 9.88780811
表5 － 波長に対する大気変化の影響
パラメーター 変化量 波長に対する影響
温度 +1 ℃
+0.96 ppm
圧力
–1 mbar +0.27 ppm
湿度
+1% RH +0.0085 ppm
7
1.4 パーツ一覧
RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは、複数異なる部品で構成
されます。レーザーエンコーダの中核を成すRLUレーザーユニット
とRLD検出ヘッドには、様々な構成のものをご用意しています（そ
れぞれパーツ番号が異なります）。
RLUレーザーユニット
RLUシリーズ
10 = RLU10シリーズ
20 = RLU20シリーズ
Axis1のファイバー長*
A = 3 m
B = 6 m
Axis1のレーザービーム径
3 = 3 mm
Axis2のファイバー長
A = 3 m
B = 6 m
Axis2のレーザービーム径
3 = 3 mm
RLU10 - A3 - A3（2軸、RLU10）
1軸RLUの場合は、パーツ番号の最後の2桁 に「 xx」を 指 定 し て く だ
さい。
*RLUにおいて各軸のファイバー長を違うものにすることはできま
せん。
システム概要
RLD検 出 ヘッド
RLDシリーズ
電気ケーブルの長さ（注意参照）
A = 3 m
B = 6 m
X = ケーブルなし
(ディファレンシャル検出ヘッドのみ）
レーザービーム径
3 = 3 mm
光学部品構成
P = 平面鏡
R = 反射鏡
X = 光学部品なし
D = 差動計測干渉計
角度
0 = 0° 検出ヘッド
9 = 90° 検出ヘッド
X = 光学部品なし
I = 差動計測干渉計
RLD10 - A3 - P9
注 意： RLD10-X3-DI検出ヘッドを発注する場合、RLEシステ
ムの一部として購入する場合を除いて、電気ケーブル（3 mケ
ーブルはA-9904-0260）は別売となります。
RLD10は、干渉計の光学部品を取り付けていないものをご注
文いただけます。真直度/角度計測に他の光学部品を使用する
場合に、このオプションをご利用ください（RLD10-A3-XXな
どを指定）。
8
システム概要
RLEシステム一式のご注文
RLUとRLDの構成とパーツ番号の確認が終われば、表6と
表7からRLE10システムのパーツ番号を、また表8と表9から
RLE20システムのパーツ番号を検索することができます。
例
「RLE10-DX-XG」は次のような構成を示します。
• RLU10-A3-A3（2軸のRLU10レーザーユニット）×1
• A-9904-1342（RLUマウントキット）×1
• RLD10-A3-P9（平面鏡、出力方向90°）×2
• A-9904-1268（RLD取り付けキットとアライメントエイ
ド）×2
• インスタレ ー ションガ イド ×1
• セーフティーブックレット×1
検出ヘッドは、レーザーユニットに合わせて調整済みのもの
を出荷します。
校正証明書
システムの校正証書を有償にて発行いたします。レーザーと
一緒にご発注ください。後からの発注はできませんので、ご
注 意くだ さい 。
システム一式のパーツ番号
レーザーシリーズ
1 = RLU10レーザーユニット
2 = RLU20レーザーユニット
1軸/2軸仕様
S = 1軸システム
D = 2軸システム
校正
X = 校正証明書なし
C = 校正証明書発注
2桁のオプションコード（RLU10については
表6と7を、RLU20については表8と9を参照）
RLEx0 - xx - xx
9
システム概要
表6 － 1軸RLE10システムのパーツ番号
6mのRLEシステムは、パーツナンバー中の最後から2番目の’X’
を’V’に変更します。例えば、’RLE10-DC-XF’ は’RLE10-DC-VF’で6m
バ ージョンとなります。
表7 － 2軸RLE10システムのパーツ番号
注 意：システム構成とパーツナンバーは典型的なシステムものの
み記載しています。記載されていない構成はお問合せください。
注 意： 丸付きの番号は、検出ヘッドがAxis1用に構成されているこ
とを示します。
RLE10-SX-XD
RLE10-SC-XD
RLE10-SX-XC
RLE10-SC-XC
RLE10-SX-XB
RLE10-SC-XB
RLE10-SX-XA
RLE10-SC-XA
RLE10-SC-XE
RLE10-SX-XE
RLU LASER UNIT
RLU10-A3-A3
RLU LASER UNIT
RLU10-A3-XX
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R0
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-XX
RETROREFLECTOR
RLR10-A3-XF
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P0
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
RLE10-SX-XR
1
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-X3-DI
1
CALIBRATION
CERTIFICA
TE
RLE10-SC-XR
11
✓
✓
✓
✓
✓
✓
RLE10-DX-XI
RLE10-DC-XI
RLE10-DX-XH
RLE10-DC-XH
RLE10-DX-XG
RLE10-DC-XG
RLE10-DX-XF
RLE10-DC-XF
RLE10-DC-XJ
RLE10-DX-XJ
RLU LASER UNIT
RLU10-A3-A3
RLU LASER UNIT
RLU10-A3-XX
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R0
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-XX
RETROREFLECTOR
RLR10-A3-XF
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P0
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
2
2
2
2
1
1
2
2
1
1
RLE10-DX-XK
RLE10-DC-XL
RLE10-DX-XL
RLE10-DC-XM
RLE10-DX-XM
RLE10-DX-XN
RLE10-DC-XN
22
2
2
1
1
1
1
1
1
1
1
2
2
1
1
1
1
1
1
2
2
2
2
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
RLE10-DC-XK
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-X3-DI
RLE10-DX-XP
1
2
✓
CALIBRATION
CERTIFICAT
E
RLE10-DC-XP
1
2
✓
✓
✓
✓
✓
✓
✓
✓
✓
10
表8 － 1軸RLE20システムのパーツ番号 表9 － 2軸RLE20システムのパーツ番号
注 意： 丸付きの番号は、検出ヘッドがAxis1用に構成されてい
ることを示します。
RLE20-SX-XD
RLE20-SC-XD
RLE20-SX-XC
RLE20-SC-XC
RLE20-SX-XB
RLE20-SC-XB
RLE20-SX-XA
RLE20-SC-XA
RLE20-SC-XE
RLE20-SX-XE
RLU LASER UNIT
RLU20-A3-A3
RLU LASER UNIT
RLU20-A3-XX
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R0
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-XX
RETROREFLECTOR
RLR10-A3-XF
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P0
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
RLE20-SC-XR
1
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-X3-DI
1
CALIBRATION
CERTIFICA
TE
RLE20-SX-XR
1
1
✓
✓
✓
✓
✓
✓
RLE20-DX-XI
RLE20-DC-XI
RLE20-DX-XH
RLE20-DC-XH
RLE20-DX-XG
RLE20-DC-XG
RLE20-DX-XF
RLE20-DC-XF
RLE20-DC-XJ
RLE20-DX-XJ
RLU LASER UNIT
RLU20-A3-A3
RLU LASER UNIT
RLU20-A3-XX
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R9
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-R0
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-XX
RETROREFLECTOR
RLR10-A3-XF
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-A3-P0
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
2
2
2
2
1
1
2
2
1
1
RLE20-DX-XK
RLE20-DC-XL
RLE20-DX-XL
RLE20-DC-XM
RLE20-DX-XM
RLE20-DX-XN
RLE20-DC-XN
22
2
2
1
1
1
1
1
1
1
1
2
2
1
1
1
1
1
1
2
2
2
2
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
RLE20-DC-XK
RLD DETECTOR HEAD
RLD10-X3-DI
RLE20-DC-XP
1
2
CALIBRATION
CERTIFICAT
E
RLE20-DX-XP
1
✓
✓
✓
✓
✓
✓
✓
✓
✓
✓
2
システム概要
11
システム概要
1.5 保管と取扱い
RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは、温度範囲-20℃か
ら+70℃（ -4 °Fから+158 °F）での保管が可能です。
湿度の高い場所での保管はお避けください。RLE光ファイバ
ー式レーザーエンコーダの保管場所に注意し、RLDの光学部
品が結露しないようにしてください。
Renishawの光ファイバー式レーザーエンコーダと関連製品
は、正確な計測値を得るために精密光学・電子部品を内蔵し
ています。取り扱いには十分気をつけてください。
RLEを取り付けた状態で機械を移動する場合、RLEと関連光
学部品を保護した状態で移動してください。
メンテナンスとクリーニング手順については、付録Bをご参照
くだ さ い 。
12
取り付けとセットアップ
2 取り付けとセットアップ
2.1 取り付け図
2.1.1 RLUレーザーユニット－水平固定
図7 － RLUレーザーユニットの寸法（水平固定）
寸法：ミリメートル単位
74
350
12
7
294
20
25
125
145
166.5
166.5
必 要 なクリ
アランス
>100
120
33.2
7.8
325
RLDと同じ最低曲
げ半径（図9参照）
M6（お客様でご用意ください）
M5×8（付属品）
13
取り付けとセットアップ
2.1.2 RLUレーザーユニット－垂直固定
図8 － RLUレーザーユニットの寸法（垂直固定）
74
166.5
294
必 要 なクリ
アランス
>100
寸法：ミリメートル単位
32
10
325
350
RLDと同じ最低曲げ半径
(図9参照）
M6（お客様でご用意ください）
M5×8（付属品）
20
17.2
固定ネジM5の締め付けトルクは1Nmを超えないようにしてください。
14
取り付けとセットアップ
2.1.3 RLD 90° 検 出 ヘ ッド
図9 － RLD 90° 検出ヘッドの寸法
寸法：ミリメートル単位
98
38±0.2
38±0.2
19
7
31.5
13.5
MADE IN UK
- U69581
最低曲げ半径
25mm（静的）
50mm（動的）
50
13.5
固定ネジ M3×35
（付属品）
必 要 なクリアランス >70
レーザービーム
Ø3
レーザーアパーチャ
固定ネジの締め付けトルクは0.6Nmを超えないようにしてください
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Renishaw RLE fibre optic laser encoder Installation & User's Guide

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