L-9904-2363-05-A
デ ータシート
光ファイバー式レーザーエンコーダ用
レ ニ ショー の RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは干渉計を
使用して、高分解能、且つ高精度の位置決めフィードバックを行い
ます。
RLEシステムは、RLUレーザーユニットと1台か2台のRLDディテ
クターヘッドで構成されます。 このデータシートでは、90° RLDデ
ィテクターヘッドについて解説します。
ディテクターヘッドには光学計測システムの核を成すもので、干
渉計、参照光学部品、干渉縞検出器、レーザーシャッター、ビーム
ステアラが内蔵されています。
平面鏡、反射鏡のいずれの構成の場合も、1つの光学部品を追加
するだけで干渉計システムの構成を完成させることができます。
ヘッドを固定した後、取り付けを簡素化する内蔵の回転式ビーム
ステアラを使用して最終調整を行うことで、ビームのアライメント
調整の最適化をすることができます。
ヘッドの電力消費量（2W 未満）は極めて低く、熱安定性に優れた
設計になっています。
RLD10 90°ディテクター ヘッド
RLD 90°ディテクターヘッドは、平面鏡干渉計（PMI）と反射鏡干
渉 計（ RRI）のそれぞれを組み込んだ2種類のバージョンをご利用
い ただ けます。 光ファイバ ーケ ーブ ルを ディテクター ヘッド から、
また電気信号ケーブルをレーザーユニットからそれぞれ外すこと
ができるため、各ケーブルを小型のケーブルトラックやダクトを通
して配線できるようになっています。 ディテクターヘッドには安
全にご使用頂く為のインターロックが組み込まれており、ファイバ
または電気ケーブルが外れているときには、レーザー光線が照射
されないようになっています。
全外形と寸法
寸法単位mm（インチ）
全体の寸法：
高 さ： 31.5 (1.24)
長 さ： 98 (3.86)
幅： 50 (1.97)
固定方法：
M3x0.5x35 mmまたは5-40-UNCx13/8 六
角頭ネジ4本（ 38 mm
2
ピッチ）
RLD 90° ディテクターヘッドは、上下面関
係なく取り付けが可能なため、一つの装置
で90°か270°のどちらからもレーザー出力
を行うことができます。
50 (1.97)
27
(1.06)
13.5
(0.53)
ケーブル
ファイバ ーカ
ップリング
レーザービームインジケータ
固定ネジ4本
98 (3.86)
レ ー ザ ー ビ ー ムシャッター
38 ±0.2 (1.5± 0.008)
38 ±0.2 (1.5±0.008)
19 (0.75)
13.5
(0.53)
31.5 (1.24)
7 (0.28)
レーザー光の安全性の規格について：
IEC/EN60825-1、IEC/EN60825-2
および米国規格
21CFR1040
と
ANSI
Z136.1に基づき、
Renishaw RLEレーザーは、クラスIIレーザーに分類されます。まばたきにより目を保護することが
できるため、保護メガネの着用は必須ではありません。
ただし、レーザービームを直接見つめた
り、ビームが人の目に入らないようにしてください。
散乱・反射したビームを見ても、安全上問題
ありません。 また、クラスIIの限界を超えるレーザー光を浴びる可能性があるため、いかなる方法
でも、装置を分解しないでください。
レーザー光線
Ø3 (0.12)
レニショー株式会社
〒160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
T (03) 5366 5317
F (03) 3358 5329
E japan@renishaw.com
www.renishaw.co.jp
© 2001-2017 Renishaw plc. All rights reserved. 0617 Part No. L-9904-2363-05
パーツNo.
タイプ
RLD 10 - A 3 - P 9
シリーズ
光学部品
ケーブル長
角度
ビーム径
内容は予告無く変更される場合があります。
各国レニショーの連絡先は、メインサイト
www.renishaw.comをご覧ください。
RLD 90°ディテクター ヘッド の 性 能
有 効 ストロ ーク PMI 0- 1 m
RRI 0 - 4 m
光学システム別の信号周期 PMI l/4 (158 nm)
RRI l/2 (316 nm)
非リニアリティエラー (SDE)* PMI < ±2.5 nm 信号強度> 70%、50 mm/sec以下の速度
< ±7.5 nm 信号強度> 50%、1m/secの速度
RRI < ±5 nm 信号強度> 70%、100 mm/sec以下の速度
*インターフェース発生分を除く < ±13 nm 信号強度> 50%、2 m/secの速度
熱によるドリフト係数 < 100 nm/°C ミラーとディテクター ヘッド を Zerodur™
ベースに近づけて固定し、温度を変化させて計測
ビーム径 3 mm
ビーム間距離 7 mm 中心から中心
ビームのアライメント調整 ±0.65° ピッチ 内蔵のビームステアラでビームのアライメント調整を簡素化
±1.5° ヨー
平面鏡のビーム位置調整公差（1 mの軸) ±25 arc秒 トレランスは、動作中にピッチとヨーの両方に適用
ケーブル長（標準) 3 m ディテクターヘッドには常に接続、レーザーには15ピンDサブコネクタで固定
ケーブル径 6.5 mm 15ピンDサブコネクタで終端
ファイバ径（外皮） 5 mm ディテクター ヘッド から取り外し可（コ ネクタ直 径 は 12mm）
コンポーネント重量 0.25 kg
動作環境
気圧 650-1150 ミリバール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露なし
温度 10 °C - 40 °C
固定ネジ
ロック用 ネ ジ
図1
キー
RLDのパーツNoと発注方法
RLDは通常、RLUレーザーユニットととも
に、RLE光ファイバ式レーザーエンコーダシス
テムとしてマッチングを行った状態でお届け
します。RLEシステムの構成の詳細について
は、www.renishaw.com をご覧いただくか、レ
ニショーまでお問い合わせください。RLDは 、特
殊なアプリケーションや予備品が必要な場合に
は、個別に別途ご利用いただけます。下記に一
般的なRLD検出ヘッドのパーツNoを示します。
Zerodur
®
は Schott Glass Technologies の登録商標です。
RLE システムは上記に記載された軸長よりも長い距離で使用できますが、得られ
る信号強度は、軸長、システムの速度、および光学部品のアライメント調整により影
響を受けます。
レーザ ー光 のアライメント調 整
RLD 90°ディテクターヘッドには、位置調整を簡素化するビームステアラが内蔵され
ています。 取り付けの前に、図1の通り、アライメント用の溝が水平で、両方の固定用
ネジのロックが緩められていることを確認します。 ヨー調整を行う場合には、レーザ
ー出口に一番近い2本の固定ネジのうちの1本を固定して、4本の固定ネジにヘッド
を位置合わせし、出力信号強度が最大になるまで、ディテクターヘッドを回転します。
その後、出力信号強度を最適な状態に向上するには、図1のようにキーを使用してビ
ームステアラを回転し、ピッチを調整します。 最後に上側の固定用ネジと4本の固定
ネジを締めます。
-
1
-
2
関連論文
-
Renishaw RLD10 Data Sheets
-
-
-
-
-
-
-
-
-