L-9904-2367-06-A
デ ータシート
レ ニ ショー RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは干渉計を使
用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。
RLEシステムは、RLUレーザーユニットと1台か2台のRLDディテ
クターヘッドで構成されます。RLUレーザーユニットには、レーザ
ー光源と信号処理用の電子回路が組み込まれています。そのレ
ーザーユニットには、1本、あるいは2本のレーザー出力を行う為
の光ファイバーが組込まれており、これによりRLDディテクター ヘ
ッドに直接レーザーを送出することができます。ディテクターヘッ
ドは光学計測システムの核を成すもので、干渉計光学部品、レニ
ショーの革新的な干渉縞検出機構とビームステアリング機構が
組み込まれています。
RLEシリーズには、多様なアプリケーションの要件を満たせるよ
う、様々なレーザーユニットとディテクターヘッドをご用意してい
ます。すべてのシステム構成部品は互換性があり併用が可能で
す。
このデータシートでは、1 つの固定された参照用ミラーを含む 2
つの平面鏡の相対位置を測する RLD10-X3-DI ディファレンシャ
ル干渉計ディテクターヘッドについて説明します。 これにより、主
要プロセス構成部品間の正確な位置決めを行い、2つのビーム間
に共通するエラーを排除することができます。
RLD10 DI （ディファレンシャル干渉計）
ディテクター ヘッド
真空チャンバーを使用するアプリケーションでは、ディテクターヘ
ッドを真空チャンバーの外に取り付けて、最適な位置のビューポ
ートからレーザービームを照射します。 真空チャンバーの外から
レーザーのアライメント調整を実行できるよう、この RLD ヘッド
には参照および計測ビーム用に個別のピッチとヨー調整機構が
組み込まれています。
光ファイバと信号ケーブルをディテクターヘッドから取り外すこと
ができるた め、セットアップをより簡単 に行うことができます。ディ
テクターヘッドには安全にご使用頂く為のインターロックが組み
込まれており、ファイバまたは電気ケーブルが外れているときに
は、レーザー光線が照射されないようになっています。
全外形と寸法
寸法単位mm（インチ）
全体の寸法：
高 さ： 51.5 (2.03)
長 さ： 110 (4.33)
幅： 50 (1.97)
固定方法：
次ページを参照
30 (1.18) min
50 (1.97)
110 (4.33)
157 (6.19)
51.5 (2.03)
参照アーム
計測アーム
76 (2.99)
7 (0.28)
40 (1.57)
18.5 (0.73)
14 (0.55)
20 (0.79)
79.6 (3.13)
レーザー光線
Ø3 (0.12)
レーザー光の安全性の規格について：
IEC/EN60825-1、IEC/EN60825-2
および米国規格
21CFR1040
と
ANSI
Z136.1に基づき、
Renishaw RLEレーザーは、クラスIIレーザーに分類されます。まばたきにより目を保護することが
できるため、保護メガネの着用は必須ではありません。
ただし、レーザービームを直接見つめた
り、ビームが人の目に入らないようにしてください。
散乱・反射したビームを見ても、安全上問題
ありません。 また、クラスIIの限界を超えるレーザー光を浴びる可能性があるため、いかなる方法
でも、装置を分解しないでください。
レニショー株式会社
〒160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
T (03) 5366 5317
F (03) 3358 5329
E japan@renishaw.com
www.renishaw.co.jp
© 2001-2017 Renishaw plc. All rights reserved. 0617 Part No. L-9904-2367-06-A
RLD10-X3-DIディテクター ヘッド の 性 能
有 効 ストロ ーク 0 - 1 m 計測レーザー
0 - 0.5 m 参照レーザー（固定経路長）
光学システムの信号周期 l/4 (158 nm)
非リニアリティエラー (SDE)* < ±1 nm 信号強度> 70%、50 mm/sec以下の速度
*インターフェース発生分を除く < ±6 nm 信号強度> 50%、1 m/secの速度
熱によるドリフト係 数 < 50 nm/°C
ビーム径 3 mm
ビーム間距離 7 mm x 14 mm 前ページの図を参照
ビームのアライメント調整 ±1° ピッチ 内蔵のビームステアラでビームの位置調整を簡素化
±1° ヨー
平面鏡の位置調整公差（1 mの軸） ±25 arc秒
ケーブル長（標準） 3 m レ ー ザ ー ユ ニットとディテクター ヘッド から取り外し可
ケーブル径 6.5 mm 15ピンDサブコネクタ、もう一端を高密度15ピンDサブコネクタで終端
光ファイバ径（外皮） 5 mm ディテクター ヘッドから取り外し可（コネクタ直 径 は 12mm）
コンポーネント重量 400 g ケーブルなしの状態のRLD10-X3-DIヘッド
290 g 3 mケーブル
動作環境
気圧 650-1150 ミリバール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露なし
温度 15 °C - 30 °C
参照ビームのヨー調整
参照ビームの
ピッチ調整
計測ビームの
ピッチ調整
計測ビームのヨー調整
レーザ ー光アライメント調 整
RLD10-X3-DI検出ヘッドには4つの内蔵ビームステアラが組み込
まれており、計測および参照ビームに対してピッチとヨーの調整
を行うことができます。
取付方法
ディテクターヘッドは、取り付け面に配置された3つ の ピ ン（ デ ィ テ
クターヘッドに付属）に直接取り付けるように設計されています。
この取り付け方法により、取り付け面とヘッド間の膨張の差に対
応することができます。 ユーザーには、装置にピン用の3つのM4
のネジ穴を開け、レーザー光線用に反射防止性の光学グレードウ
ィンドウを取り付けていただく必要があります。 他の取り付け方
法については、レニショーにお問い合わせください。
固定ピン
(レニショーで提供)
M3ネジ
(レニショーで提供)
取り付け面
(チャンバー壁)
RLD10-X3-DIヘ ッド
RLDのパーツNoと発注方法
RLD10-X3-DIディテクターヘッドは通常、適切なRLUレーザーユ
ニ ットととも に 、RLE光ファイバ式レーザーエンコーダシステムと
してマッチングを行った状態でお届けします。 RLEシステムの構
成の詳細については、www.renishaw.com をご覧いただくか、レ
ニショーまでお問い合わせください。 RLD10-X3-DIは、特殊なア
プリケーションや予備品が必要な場合には、個別に別途ご利用い
ただけます。下記にパーツNoを示します。
パーツ
No.
タイプ
RLD 10 - X 3 - D I
シリーズ
光学部品
ビーム径
ケーブル*
* ケーブルは、システムの一部としてのみ付属されま
す。 ケーブルをご用命の場合は、A-5225-0260 を注文
してください。
内容は予告無く変更される場合があります。
各国レニショーの連絡先は、メインサイト
www.renishaw.comをご覧ください。
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関連論文
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Renishaw RLD10 Data Sheets
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