L-9904-2366-04-B
デ ータシート
レ ニ ショー RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは干渉計を使
用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。
RLEシステムは、RLUレーザーユニットと1台か2台のRLDディテ
クターヘッドで構成されます。 RLUレーザーユニットには、レー
ザー光源と信号処理用の電子回路が組み込まれています。 その
レーザーユニットには、1本、あるいは2本のレーザー出力を行う
為の光ファイバーが組込まれており、これによりRLDディテクター
ヘッドに直接レーザーを送出することができます。 ディテクター
ヘッドは光学計測システムの核を成すもので、干渉計光学部品、
レニショーの革新的な干渉縞検出機構とビームステアリング機
構*が組み込まれています。
RLEシリーズには、多様なアプリケーションの要件を満たせるよ
う、様々なレーザーユニットとディテクターヘッドをご用意してい
ます。すべてのシステム構成部品は互換性があり併用が可能です。
このデータシートでは、周波数安定度を改善したRLU20レーザー
ユニットについて解説します。性能の詳細については次ページを
ご覧ください。 デジタル矩形波フォーマット、アナログ矩形波フォ
ーマットとも、各軸に個別の位置決めフィードバック信号を出力し
ています。
*
ディファレンシャル干渉計検出ヘッドには、各組のビームに個別のビーム
ステアラが提供されています。
RLU20 レーザーユニット
信号の分解能とフォーマットは、フロントパネルのスイッチの設
定とディテクター ヘッド のタイプ により決まりま す。 レ ーザ ー ユニ
ットからはシステムステータスの出力や、信号帯域幅、検出方向
の認識やエラーモニタリングも設定することができます。
RLUからの位置決めフィードバック信号は出力された信号を直
接使用したり、RCU10 環境補正システム（空気の屈折率や、物体
の熱膨張の影響を自動補正する装置）かシリーズのインターポレ
ーターユニット（超高分解能出力を得るため）経由で接続して使
用することができます。
RLU20には、レーザーの安定性を損なうことなくレーザービーム
を遮断する為の信号入力ポートが提供されています。
レーザー装置のリアパネ
ルには、レーザーの安全
警告についての表示ラベ
ルが貼付されています。
全外形と寸法
寸法単位mm（インチ）
全体の寸法：
高 さ： 74 (2.91)
長 さ： 350 (13.78)
幅： 166.5 (6.55)
表面が適度に平坦で、
振動がない限り、
RLUはどんな姿勢でも固定す
ることができます。
ケーブルとファイバーの最低曲
げ半径は25 mmです。
固定方法：
M6x1.0x15 mmまたは
1/4-20-UNCx5/8 六角頭ネジ4本
166.5 (6.55)
74 (2.91)
145 (5.71)
125 (4.93)
325 (12.81)
350 (13.78)
ファイバの引
出口
固定穴
12 (0.47)
7 (0.28)
294 (11.57)
20 (0.79)
25 (0.98)
166.5 (6.55)
33.2 (1.31)
7.8
(0.31)
120 (4.72)
必要なクリ
アランス
>100 (3.94)
レニショー株式会社
〒160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
T (03) 5366 5317
F (03) 3358 5329
E japan@renishaw.com
www.renishaw.co.jp
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RLU20レーザーユニットの性能
レーザータイプ HeNe クラスII レーザーチューブからの最大レーザー出力 <1 mW
出力ビーム強度 < 300 µW (cw) / 軸 プリヒート中、これが600 µW
まで増加することがあります
レーザービーム径 3 mm
NTP波長 632.818270 nm (Axis 1)
温度= 20 °C、気 圧 =1013.25 mB、相対湿度=50% 632.819719 nm (Axis 2)
真空波長精度 3年間で±0.1 ppm
レーザー周波数安定度 < ±1 ppb 1分
< ±2 ppb 1時間
< ±20 ppb 8時間
光ファイバ径（外皮） 5 mm
アナログ出力信号周期 158 nm 平面鏡用干渉計
316 nm 反射鏡用干渉計
デジタル矩形波公称出力分解能 10、20、39.5、79、158、316 nm 平面鏡用干渉計
20、39.5、79、158、316、633 nm 反射鏡用干渉計
出力更新速度 0.3125、0.625、1.25、2.5、5、10、 これらの更新速度からユーザーが選択可能
20 MHz
最大追従速度 1 m/sec 平面鏡用干渉計
(分解能に依存) 2 m/sec 反射鏡用干渉計
出 力 フォ ー マ ット デュアル RS422ディファレンシャルデジタル矩形波
1V pp sin/cos信号
電源容量 24 V ±2 V @ 2.5 A 流入時（最初の10 ms）
24 V ±2 V @ 1.6 A ウ ォ ー ム ア ッ プ 時（ ～ 10分間）
24 V ±2 V @ 0.6 A 室 温（ 20 °C）での作動時
RLUの重量 2.8 kg
動作環境
気圧 650-1150 ミリバール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露なし
温度 10 °C - 40 °C
RLU出力信号
アナログインクリメンタル - 1 Vppディファレンシャ
ルsinとcos信号
1 Vpp
2.5 V DCオ フ セ ット
リファレンスマーク信号
Cos
90°
135°
0°
-45°
Sin
3.5 V
2.5 V
内容は予告無く変更される場合があります。
各国レニショーの連絡先は、メインサイト
www.renishaw.comをご覧ください。
デジタルインクリメンタル - RS422
デジタル矩形波
RLUのパーツNoと発注方法
RLUは通常、RLDディテクター ヘッドとともに RLE光 ファイバ ー
式レーザーエンコーダシステムとしてマッチングを行った状態
でお届けします。 特殊なアプリケーションやスペア用とし
て、RLU20 レーザーユニットを別途販売しています。
RLEシステムの構成とパーツ番号の詳細については、
www.renishaw.com をご覧いただくか、レニショーまでお問い合
わせください。
EU 指令 2011/65/EU (RoHS) 準拠
Ref. mark signal
RS 422
digital
quadrature
B quad
A quad
Signal period
Resolution
A
B
Z
信号周期
分解能
RS422デジタル
矩形波
A相
B相
リファレ ンス マ ー
ク信号
A
B
Z
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関連論文
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Renishaw RLE system performance Data Sheets
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