全外形と寸法
寸法単位mm（インチ）
全体の寸法 - 平面鏡：
長 さ： L + 20 (L + 0.79)
断 面： 25 (0.98)
この場合、 L = オプティカルアパーチャ
L-9904-2455-03-B
デ ータシ ート
平 面 鏡とミラ ー マウント
固 定ミラー マウント
調整式ミラーマウント
レニショーの平面鏡
ミラーは、次のパーツ番号で注文できます。
RPM10-YX-XX
オプティカルアパーチャ（cm 単位）：
06 ～ 30、増分単位は 1cm のみ
Y = レニショーのマウント用
に改造したもの
N = レニショーのマウント用
に改造されていないもの
L + 20 (L + 0.79)
25 (0.98)
25
(0.98)
レ ニ ショー RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは干渉計を使
用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。
RLE システムは、RLU レーザーユニットと 1 台か 2 台の RLD10
ディテクターヘッド、および平面鏡か反射鏡の追加ターゲット光
学部品により干渉計システムを構成しています。
レニショーではミラーを製造していませんが、各種長さのミラー
とそれに対応するミラーマウントを提供しています。 このデータ
シートでは、これらのミラーとミラーマウントの仕様と詳細につい
て解説します。
干渉計システムの計測上の性能･利点を損なわないようにするた
めには、ミラーの選択と設置を慎重に行う必要があります。 X-Y ス
テージシステムの場合、ミラーに関する次の原因からシステム誤
差が発生する可能性があります。
• 表面が均一（平面）でない場合には、光学的に平らなミラー
を適切に固定することでこれを低減できます。
• 熱膨張に関しては、適切な材質と適切な固定方法によりでこ
れを低減できます。
• ミスアライメントについては、慎重に取り付けることでこれ
を回避できます。
平面鏡の仕様
反射ビームの特徴
反射ビームの強度 入射ビームの 97% 以上
クロス偏光 <0.5%
ミラーの口径領域
局部平面度 12mm x 7mm の領域で < λ/10 （ λ = 633nm）
合計平面度 <λ/10 / 100 mm (λ = 633 nm); <0.5 µm / 500 mm
基板
材質 低熱膨張ガラス
平面鏡の仕様（続き）
外観
傷/穴 US-MIL-0-13830A 60/40
12mm x 3mm の領域内に異なる形状が 3 つ以上存在しないようにしてください
12mm x 3mm の領域内で 2 つの傷/穴は認められません
動作環境
温度 0 °C ~ 40 °C
気圧 ミラーは、真空対応しています。（10
-8
mbarまで） ミラーマウントは、真空対応していません。
相対湿度 0 ~ 95% （結露なし）
レニショーミラーマウントキット
レニショーは、長さ 350mm まで、断面 25mm x 25mm のミラー
に対して、ピッチとヨーの微調整が可能な3点支持式キネマティッ
クマウントを提供しています。 マウントは、膨張の差による誤差を
最低限に抑えられるように作られており、加速、減速、および衝撃
の力を克服できるように固定するための位置ロックが提供されて
います。
調整感度：
• ヨ ー： 回転 0.5 秒/度（350mm のミラー）
• ピッチ： 回転 1 秒/度未満
ミラーの形状条件：
• 長さ合計 80mm ~ 350mm、断面 25mm 平方
ヨ ー 調 整：
• 長さ 80mm のミラーで ±2.5º
• 長さ 350 mm のミラーで ±0.5º
ピッチ調 整：
• ±1º
全体の寸法 - ミラーマウント：
高 さ： 44 (1.73)
占有面積： 39 x 36 (1.53 x 1.42) (調整式ミラーマウント)
32 x 36 (1.26 x 1.42) (固定式ミラーマウント)
調整式ミラーマウント
ヨー調整ネジ
ピッチ調整ネジ
32 (1.26)
36 (1.42)
3.5
(0.14)
9
(0.35)
18 (0.71)
3.5
(0.14)
固定式ミラーマウント
25 (0.98)
18 (0.71)
3.5
(0.14)
ミラーマウントは、次のパーツ番号で直接レニショーに注文でき
ます。
RAM10-SX-XX
レニショーのミラーマウントは、真空環境では使用できません。
ミラーに関する取り付け手 順
干渉計システムの計測上の性能･利点を損なわないようにするた
めには、ミラーの選択と取り付けを慎重に行う必要があります。
このセクションでは、誤差を最低限に抑えるためのレニショーのミ
ラーとミラーマウントの標準的なアライメント手順の詳細について
解 説します。
以降の手順は、レニショーのミラーマウントを使用して X-Y ステ
ージ*に 2 つの平面鏡を位置合わせするための一つの方法を示
しています。 ここでは、次の事項を想定しています。
• この手順を実施する人は、試験装置に精通していること
• モーションステージの機械的な調整がすべて完了していること
• RLD10 ディテクターヘッドが完全に固定されていること
• 軸が完全に動作可能な状態であること
* ミラーの下に垂直移動軸がある場合には、別のピッチ調整手段
が必要になる場合があります。
装 置：
• 位置固定（3 つのボールパッド）を備えた必要な長さのスティッ
クミラ ー x 2本
• レニショーのマウントキット (RAM10-SX-XX) x 2個 － 内容：
調整式ミラーマウント x 1個、固定式ミラーマウント x 1個、ミ
ラークランプ x 2個、M2.5×8 六角ネジ x 10 本 、六 角 レ ン チ
(2.0mm A/F) x 1本、マウント調整用ツール x 1本
• アライメント調整用のターゲット（RLD10 90°および RLD10 0°
ディテクター ヘッド に 付 属 ）
1. Y 軸ミラーをミラーマウントに固定します。
• モーションステージには、ミラーマウントを固定するための取
り付け穴が必要になります。 以下の図 2 に従って、これらの穴
を 加 工してくだ さい
• 付属の 3 本の M2.5 ネジを使用してステージに調整式ミラ
ーマウント（次ページの図 6 を参照）を取り付けます。 ネジ
は、0.7Nm のトルクで締めて下さい。
• 固定ミラーマウントについてもこの手順を繰り返します。
• 2 つ のミラー マウントの 上 にス ティックミラーを 配 置し、ミラ ー
の下のボールパッドがミラーマウントの定位置にはまるように
し ま す（ 図 3 と 4 参照）。 注 意： ボールパッドのうち、2 つは調
整 式ミラーマウント側 にあり、1 つは固定式ミラーマウント側に
ありま す。
X 軸干渉計
(RLD10 ディテクター ヘッド )
Y 軸干渉計
(RLD10 ディテクター ヘッド )
ミラーを Y 軸の
X軸
移動
Y軸
移動
図 1： システム内の用語
図 2： 全長 Lt (Lt は 350mm 未満) のミラー用の取り付け穴： 単位 mm
ミラーマウントの下側から見た図。 注 意： L
t
= オプティカルアパーチャ + 20mm
光学面
固定式ミラーマウント
ミラー
調整式ミラーマウント
図 3： ボ ー ル パ ッド 付 き の ミラ ー
図 4： ミラーマウントに配置したミラー
2. Y 軸干渉計 (RLD10 ディテクターヘッド) のコサインエラーを除
去します。
• Y 軸を移動し （X軸はロックした状態で）、Y 軸の RLD10 とミラ
ーの距離が最短になるようにします。
• レニショーのターゲットステッカーをミラー面に貼り付け、レ ー
ザービームがターゲットにあたるようにします。
• 軸を移動し、Y 軸の RLD10 とミラーの距離が最長になるよう
にします。
• RLD10 からのビームのピッチとヨーを調整し、レーザーの照
射点がターゲット上で移動しないようにします。 注 意： この手
順では、最適なアライメントを得るために、近距離と遠距離で
何度も調整を繰り返すことが必要になる場合があります。
3. Y 軸ミラーを Y 軸の移動方向に対して垂直に位置合わせしま
す 。 ミラーの 前面からターゲットステッカーを外します。
• ミラーを最長距離まで移動し、RLD10 の下にレニショーのアラ
イメント調整用の金属性ターゲットを差し込みます（次ページ
の図 5）。
ミラー面
ボールパッドの
L
t
+ 17.5
L
t
+ 10.5
25
18
3.5
32
3.5
36
18
9
3.5
M2.5; 3 off
per mount
ミラーを X 軸の
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内容は予告無く変更される場合があります。
各国レニショーの連絡先は、メインサイト
www.renishaw.comをご覧ください。
• ヨー調整ネジ（図 6 を参照）でミラーのヨーを見た目で調整し、
反射ビームがアライメント調整用のターゲットの穴の中心に揃
うようにします（ミラーは X-Y 平面に対して垂直です）。
• ヨー調整ネジ（図 6 を参照）でミラーのヨーピッチを見た目で
調整し、反射ビームがアライメント調整用のターゲットの穴の
中心に揃うようにします（ミラーは X-Y 平面に対して垂直です）。
• アライメント調整用のターゲットを外します。
• Y 軸ミラーのピッチとヨーの微調整を行い、信号強度が最大に
なるようにします。
ヨー調整ネジ
ピッチ調整ネジ
図 5： レニショーのアライメント調整用のターゲット
図 6： 調整式ミラーマウント
4. Y 軸ミラーのロック機構をかけます。
• 付属のクランプをマウントの上に配置し、付属のネジで軽く締
めます。 両側のネジをトルク 0.2Nm ±0.05Nm で締めます。
• 固定の段階でミラーのアライメント状態が変化していないかど
うかを確認します。ミラーを再調整することが必要になる場合
が あります。
5. Y 軸の次に X 軸に対しても 1 から 4 の手順を繰返し、X 軸ミラー
と干渉計を X 軸に対して垂直に位置合わせします。
固 定ミラー マウント
調整式ミラーマウント
クランプ
図 7： ミラーマウントに固 定したミラー
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