L-9904-2362-05-B
デ ータシート
レ ニ ショー RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは干渉計を使
用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。
RLEシステムは、RLUレーザーユニットと1台か2台のRLDディテ
クターヘッドで構成されます。 RLUレーザーユニットには、レーザ
ー光源と信号処理用の電子回路が組み込まれています。
そのレ
ーザーユニットには、1本 、あ る い は 2本のレーザー出力を行う為
の光ファイバーが組込まれており、これによりRLDディテクター ヘ
ッドに直接レーザーを送出することができます。 ディテクターヘッ
ドは光学計測システムの核を成すもので、干渉計光学部品、レニ
ショーの革新的な干渉縞検出機構とビームステアリング機構*が
組み込まれています。
RLEシリーズには、多様なアプリケーションの要件を満たせるよ
う、様々なレーザーユニットとディテクターヘッドをご用意してい
ます。すべてのシステム構成部品は互換性があり併用が可能で
す。
このデータシートでは、RLUレーザーユニットについて解説しま
す。性能の詳細についてはこのページをご覧ください。 デジタル
矩形波フォーマット、アナログ矩形波フォーマットとも、各軸に個
別の位置決めフィードバック信号を出力しています。
*
ディファレンシャル干渉計検出ヘッドには、各組のビームに個別のビーム
ステアラが提供されています。
RLU10レーザーユニット
信号の分解能とフォーマットは、フロントパネルのスイッチの設
定とディテクター ヘッド のタイプ により決 まりま す。 レ ーザ ー ユ ニ
ットからはシステムステータスの出力や、信号帯域幅、検出方向
の認識やエラーモニタリングも設定することができます。
RLU からの位置決めフィードバック信号は出力された信号を直
接使用したり、RCU10 環境補正システム（空気の屈折率や、物体
の熱膨張の影響を自動補正する装置）かインターポレーターユニ
ット（超高分解能出力を得るため）経由で接続して使用することが
できます。
RLU10には、レーザーの安定性を損なうことなくレーザービーム
を遮断する為の信号入力ポートが提供されています。
166.5 (6.55)
74 (2.91)
145 (5.71)
125 (4.93)
325 (12.81)
350 (13.78)
ファイバ ー
の引出口
固定穴
12 (0.47)
7 (0.28)
294 (11.57)
166.5 (6.55)
120 (4.72)
全外形と寸法
寸法単位mm（インチ）
全体の寸法：
高 さ： 74 (2.91)
長 さ： 350 (13.78)
幅： 166.5 (6.55)
表面が適度に平坦で、
振動がない限り、RLU
はどんな姿勢でも固定す
ることができます。
ケーブルとファイバーの最低曲
げ半径は25 mmで す。
固定方法：
M6x1.0x15 mmまたは
1/4-20-UNCx5/8 六角頭ネジ4本
必要なクリア
ランス
> 100 (3.94)
レーザーユニットのリア
パネルには、レーザーの
安全警告ラベルが表示さ
れています。
25 (0.98)
20 (0.79)
33.2 (1.31)
7.8
(0.31)
レニショー株式会社
〒160-0004
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T (03) 5366 5317
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© 2001-2014 Renishaw plc. All rights reserved. 1114 Part No. L-9904-2362-05-B
RLU10レーザーユニットの性能
レーザータイプ HeNe クラス II レーザーチューブからの最大レーザー出力 <1 mW
出力ビーム強度 < 300 µW (cw) プリヒート中、これが600 µW
まで増加することがあります
レーザービーム径 3 mm
NTP 波長 632.818270 nm (Axis 1)
温度 = 20 °C, 気圧 = 1013.25 mB, 相対湿度 = 50% 632.819719 nm (Axis 2)
真空波長確度 3年間で±0.1 ppm
レーザー周波数安定度 < ±10 ppb 1分
< ±50 ppb 1時間
< ±50 ppb 8時間
光 フ ァ イ バ ー 径（ 外 皮 ） 5 mm
アナログ出力信号周期 158 nm 平面鏡用干渉計
316 nm 反射鏡用干渉計
デジタル矩形波公称出力分解能 10、20、39.5、79、158、316 nm 平面鏡用干渉計
20、39.5、79、158、316、633 nm 反射鏡用干渉計
出力更新速度 0.3125、0.625、1.25、2.5、5、10、20 これらの更新速度からユーザーが選択可能
MHz
最大追従速度 1 m/sec 平面鏡用干渉計
(分解能に依存） 2 m/sec 反射鏡用干渉計
出力フォーマット デュアルRS422ディファレンシャルデジタル矩形波
1Vpp sin/cos信号
電源容量 24 V ±2 V @ 2.5 A 流入時（最初の10 ms）
24 V ±2 V @ 1.6 A ウ ォ ー ム ア ッ プ 時（ ～ 10分間）
24 V ±2 V @ 0.6 A 室 温（ 20 °C）での作動時
RLUの重量 2.8 kg
動作環境
気圧 650 - 1150ミリバール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露なし
温度 10 °C - 40 °C
RLU出力信号
アナログインクリメンタル - 1 Vppディファレンシャル
sinとcos信号
1 Vpp
2.5 V DCオ フ セット
リファレンスマーク信号
Cos
90°
135°
0°
-45°
Sin
3.5 V
2.5 V
デジタルインクリメンタル - RS422
デジタル矩形波
RLUのパーツNoと発注方法
RLUは通常、RLDディテクター ヘッドとともに RLE光ファイバー式
レーザーエンコーダシステムとしてマッチングを行った状態でお
届けします。 特殊なアプリケーションやスペア用に、RLU10 レー
ザーユニットを別売りしています。
RLEシステムの構成とパーツ番号の詳細については、www.
renishaw.com をご覧いただくか、レニショーまでお問い合わせく
ださい。
EU 指令 2011/65/EU (RoHS) 準拠
内容は予告無く変更される場合があります。
各国レニショーの連絡先は、メインサイト
www.renishaw.comをご覧ください。
Ref. mark signal
RS 422
digital
quadrature
B quad
A quad
Signal period
Resolution
A
B
Z
信号周期
分解能
RS422デジタル
矩形波
A相
B相
リファレ ン ス マ ー
ク信号
A
B
Z
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関連論文
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Renishaw RLE system performance Data Sheets
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