Renishaw XC-80 ユーザーガイド

タイプ
ユーザーガイド
ーガイ
F-9908-0074-01-B
XC-80
環境補正ユニ
XC-80
環境補正
レニシーパーツ No.
F-9908-0074-01-B
発 行: 20171
EC 規定の準拠につい
Renishaw plcXC 補正ユニが指令、基準及び規格に適合を宣言
たしまEC 規格適合宣言書のピーは、次のご利用いただ
きまwww.renishaw.com/XLCE.
法律情報
安全につい
レーザテムを使用す前に、レーザー光の安全に関す説明書をご覧ださい。
断り
レニーでは本書作成にあた細心の注意を払すが、誤記等に
生するいかな損害の責任をのではませ
商標につい
RENISHAW および RENISHAW ゴに使用されてプロンボルは英国お
びその他の国におけ Renishaw plc の登録商標です。
apply innovationレニシー製品おびテジーの商品名おび名称
は、Renishaw plcびその子会社の商標です
本文書内で使用されてその他のド名製品名は全のオーの商
品名、標章、商標、たは登録商標です。
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はあません
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レニーの製品や付随文書にのシンボルが使用場合
は、一般の家庭ごみ一緒に製品を廃棄はなない
の製品を廃棄用電気電子製品 (WEEE) の指定回収場所に
込み、再利用たはサイグができにすは、
ユーザーの責任に委ねす。 の製品を正廃棄す
貴重な資源を有効活用環境に対する悪影響を防止す
できす。 詳細についは、各地の廃棄処分サービまたはレニ
の販売店にお問い合わせださい。
XC-80
環境補正
目次
はじめに ................................................................................................................. 4
波長補正 .............................................................................................................. 4
物体熱膨張補正 ................................................................................................... 4
エンドパネル ...................................................................................................... 4
XC 補正ユニの接続構成 ............................................................................. 5
環境センサー ...................................................................................................... 5
センサーのシンボル ............................................................................................... 6
LED ........................................................................................................................ 6
ンサーの LED ................................................................................................... 6
タス LED ................................................................................................... 6
XC 補正の校正 ........................................................................................... 7
波長補正 ................................................................................................................. 7
気温センサーの配置 ............................................................................................... 8
気温センサーの配置 ............................................................................................ 8
気圧センサーと相対湿度センサー ...................................................................... 8
物体熱膨張補正 ...................................................................................................... 8
物体熱膨張率 ...................................................................................................... 9
物体センサーの配置 ............................................................................................. 10
機械を 20°Cの環境で作動せた場合の精度の推定 .......................................... 10
国内/国際規格に沿った校正 .............................................................................. 10
機械のフドバステム20°Cで作動させた場合の精度の推定 ............. 11
20°Cの精密度が要求る部品の製造 ............................................................. 11
自動補正 ............................................................................................................... 12
XC 補正ユニの更新サイ ........................................................................ 12
一定の物体温度補正 ............................................................................................. 13
仕様 ...................................................................................................................... 13
はじめに ............................................................................................................ 13
重量と寸法 ............................................................................................................ 14
パーツ No ............................................................................................................. 14
4
XC-80
環境補正
はじ
XC 環境補正ユニは、レーザーテムの計測精度の鍵要素です。れは
環境条件を的確かつ正確に計測に計測す気温、気圧、び相対湿度
の変化に対レーザービームの波長を補正の変化に起因す
測誤差を排除す。
波長補正
XC 環境補正ユニのセンサーの読み取値を使用レーザー読み取
を補正できのは、位置決め計測のみです補正を行わない場合、空気の屈折率に
大幅な計測誤差が発生すがあす。手動で環境条件を入力できすが
(ハドヘルド計器を使用XC 補正ユニを使用すれば7 秒毎に正確
な補正が自動的に行われがあす。
物体熱膨張補正
XC 補正ユニには、機械やテる物体の温度を計測する最大 3 つの物体温度
ンサーからの入力を使できます。CARTO に適切な物体
熱膨張率を入力すで、機械(物体温度を 20 °C に標準化た計測を行
きるようになり
環境補正には次の 3 つの方法があます
XC 補正ユニ自動環境補正
XC 補正ユニ手動環境補正
XC 補正ユニを使用ない、手動入力デー補正
XC 補正ユニの完全仕様については、仕様セク照してさい
XC 補正ユニは、USBブル、1 つの気温センサ 1 つの物体温度センサー
を組み合わせたキ提供ます
ンド
XC 補正ユニのエドパネルには、下図のな機能が搭載さます
1 3
4
5
1
正日
2
タス LED
3
USB ット
4
相対湿度センサー
5
次回校正予定
2
5
XC-80
環境補正
XC 補正ユニの接続構成
XC 補正ユニのエドパネルにUSB が装備さを使用
すれば USB ル( XC 補正ユニに提供)XC 補正ユニ PC
接続すがです。れにXC 補正ユニ PC 間で通信が可能に
り、XC 補正ユニンサーに電源が供給
注:XC 補正ユニPC接続する前に CARTO トウェア
ルしてくソフトウェアイン るこPC を最適に構成す
とがきま
環境センサー
XC 補正ユニの内部には、気圧センサー相対湿度センサーが組み込れて
す。XC 補正ユニの公表仕様に示された精度を確保すには、図のに長軸を
水平に配置た状態で使用す必要があますの原則に反す気圧値にわず
かな誤差が発生補正計測値の精度が低下す。
注:カバーに配置れた相対湿度センサーを遮ない
い。
注:に相対湿度が表示るのはXC 補正ユニに気温センサ
を接続場合のみです
図に示れた気温センサ物体温度センサー
別々のものーブルともに供され
ます。ケーブのメ型コネクをセンサ
オス型コネクタを XC 補正ユニ側面の
該当に接続す。
レニでは、XC 補正ユニ
物体温度センサー気温センサー1
つずつ標準提供いまXC 補正ユ
には長軸の機械向けに最大 3
つの物体温度センサーを 接続す
きるようになっ
物体温度センサーについては
最寄レニー販売代理店
くだ
気温センサー物体温度センサーには、5mケーブルをしています。ケーブ
長を最大 60m で延長計測する機械の特定の場所にンサーを配置す
できになます追加用おび交換用のセンサーブルについ
は、最寄レニシー販売代理店ご用命い。
6
XC-80
環境補正
ブルには、のケブルがのセンサーに接続かを判別やす
ためのネーグが提供さす。ブルは、ンサーに付けた状態
で保管ださい。ステムケスにはの状態で収容できにな
す。
ンサーには磁石が内蔵れ、チールや鋳鉄製の表面に取付けがで
必要な貫通穴を使ネジ止めすます
気温センサー物体温度センサーは、XC 補正ユニの正に接続
場合にのみ機能XC 補正ユニの側面にはプのセンサーを示
ンボルが示れてす。気温センサーは、下図のな気温センサーが描かれ
に接続する必要がす。物体温度センサーは物体温度センサーが描
かれたいずれかのに接続する必要がす。
ンサのシンボ
気温センサー物体温度センサーのンボルはンサーの側面に示されて
す。
注:気圧センサー相対湿度センサーはXC 補正ユニに内蔵れて
ため、は存在せん
LED
ンサーの LED
XC 補正ユニ側面のセンサーンボルの下には 6 つの LED があそれぞれ気
圧センサー、対湿度センサー温センサー、3 つの物体温度センサーに対
ていますLED の色にンサーか読み取値が取グが
れ、それに続いての読み取値の有効性が表示さます
XC 補正ユニは、7 秒毎に各センサーに問い合わせを行ルを
ンサーに問い合わせが送該当す LEDオレ化しま
ンサーか有効な読み取値が得LED が緑に変わす。ンサーが接続
れていない場合、または障害が場合は、LED赤に変わます各センサーの
取り後7 秒毎)波長補正に使用さる値が更新ます
タス LED
XC 補正ユニのエドパネルには、ステLED があす。LED 、ユ
に電源が入 USB ケーブルでコンュータにされる
その後、計測の準備が整緑に変わ
気温
気圧
相対湿度
物体温度 1
物体温度 2
物体温度 3
7
XC-80
環境補正
XC 補正の校正
レニー計測ステムの指定精度を維持すために、毎年 XC 補正ユニ
ンサーの校正を実施すお勧めす。極端な操作環境で使用損傷が疑
われ場合には、頻繁な再校正の実施をお勧め社内の品質保証プロ
国内や地域の規制には、に頻繁な再校正が必要場合も
す。XC 補正ユニのエドパネルには、次回の校正実施期限を記すスペースが設
す。た、保管輸送使用時にXC 補正ユニに過度の衝撃や振動を
極端な温度圧力湿度環境にのない仕様
参照)た要因か校正が無効にな場合があす。
計測の不確定性の計算は、欧州認定機関協力機構の発行文書 EA-4/02準じ
れています
な校正は、すべレニーの EN ISO 9001:2000 認証を受けた品質保証
システムに込まれています。のシステムは、UKAS の認定機関に監査
証をけています。UKAS認定は、世界の多の国の当該機関に認識
ています。
校正手順の詳細についてはステム付属の校正証書か、www.renishaw.com/
certificates を参照ださい。
テム精度には、物体温度 20°Cへの読み取値の標準化に偏差不確定
性を除外ていの偏差不確定性は、物体温度センサーが仕様範囲内に
(最近のレニシー校正証書が証明すだけでな計測
に入力す膨張率の値の精度、20°Cれだけ温度差がるかたセンサ
く配 どう よっ りま
レニでは、英国工場にてXC 環境補正ユニンサーの完全校正修理
サースをますレニシーの米国ツ、中国支社ではXL レーザーシステム
の比較校正サーを提供ます詳細については、最寄レニシー販売代
理店にお問い合わせいただか、弊社ブサ Renishaw.jp をご覧く
波長補正
位置決め計測精度は、レーザービームの波長精度に依存す。れは、レーザーの
安定レベルだけでな周囲環境パーに左右ます特に気温、気圧、
相対湿度の値が(空気中のーザービームの波長に影響を与す。
波長の変化を補正ない場合、レーザー位置決め計測の偏差が 50ppm
及ぶ可能性があます温度制御を部屋においでさの気圧変動に
り、20ppm を超波長の変化があます目安次のに各環境条件が変
化するにつれ、1ppm の偏差があお考い。
気温
1°C
気圧
3.3mbar (0.098 in Hg)
相対湿度 (20 °Cで)
50%
相対湿度 (40 °Cで)
30%
注:の値は最悪の場合を想定たものでその他のパの相
係も無視できません。
の偏差は、XC 環境補正ユニ を使用すで低減すできす。
XC 補正ユニは、気温、気圧、湿度を計測ンの式に空気の屈
折率(ひいレーザーの波長)算出す。の後、レーザーの読み出動調
レーザーの長変化を補正できます。自動システムを使
は、ユーザーが介在す必要がない頻繁に補正の更新が行われです
8
XC-80
環境補正
波長補正は、位置決め計測にか使用できせんその他の計測(角度平面度、真直
度なには、環境条件の変化があ計測参照ビームの両方が同程度の影響
受けため、環境かの影響はそれほ問題にはなせん
温セサー
気温センサーの配
注意
熱が安定す気温センサーは、計測開始の 15 分以上前に計測環境に配置
くだ
気温センサーはーザービームの計測パスにできだけ近づけ移動軸の中ほ
配置ださい。ンサーは、モーーなの局部的な熱源の近や、冷たい外気に
あたる場所を避て置いてださい。
長い軸を計測す場合には、気温の変化がないかかを確認ださい。軸上の
気温変化が 1 °C を超合、ンを使て空気を循環させてださい。(長い
直軸の場合、温度の変化が起やすれが特に重要になす。ンサー信号
ブルは、高出力モーやモーーなの大きな電気干渉をすも
の近を避け配線ださい。
付けを簡素化すため、気温センサーには表面にネジ固定するための貫通穴
られています。
気圧センサー相対湿度センサー
気圧センサー相対湿度センサーは、XC 環境補正ユニの内部に取付けれて
ます通常、ビームパスに近接気圧相対湿度を計測する必要はせん
れは、気圧湿度が大幅に変動ない限計測に大きな偏差が発生すはな
作業領域内ではいずれの要因も大幅に変化ない思われるためです。相対
湿度センサーは熱源の近や外気にあた場所を避けて配置い。
湿度センサーを取付ける際には、ないにすが大切です
、長 10 ルをる垂直軸を計測する場合には、移動軸の中ほに気圧
ンサーを配置すをお勧め
物体熱膨張補正
校正業界で使われ国際的な参照温度は、20 °Cです。通常、CMM や工作機械は
温度を基準校正れま通常の工場環境では厳密な温度制御が行われ
スは非常にで、機械がの温度には限せんの機械は温度
て膨張いは収縮すため、校正に偏差が発生す。
な計測偏差を回避するために位置決め計測アに熱膨張補正、
「標準化」呼ばれ数学的修正機能を組み込んで位置決めのレーザー読み
に適用いまアは膨張率の値は手動入力) XC 補正ユニ
で計測た平均機械温度を使計測値を標準化ますの修正の目的は機械
20 °Cで計測た場合に得であレーザーの計測結果を推定す
す。
9
XC-80
環境補正
物体熱膨張率
の物体が温度にて膨張るいは収縮す量は、極めてわずかです
のため、熱膨張率は、100 万分の一/°C(ppm/°C)で指定ますの率には、物体の
温度が 1 度上昇あいは下降すに物体が膨張あいは収縮す量を指定
す。で、熱膨張率が +11ppm/°Cるケースにいて考えてみます。
物体の温度が 1 °C上昇す物体が 11ppm 膨張すを意味物体 1
ート 11 マイル、は物体 1ンチにつき 11イクロイン
0.000011 イン)当しま
物体の熱膨張に対す補正が正ない温度制御を行わない環境でレーザーの
位置決め計測をた場合に、れが最大きな誤差要因れは、一般
的な工学材料の膨張率が、波長補正偏差や レーザービームの位置調整偏差関係の
係数に比べ比較的大きいためです。
標準化た計測値には物体温度センサーの計測精度に関連す偏差があます
の偏差の大きは、る機械の熱膨張率に依存す。物体温度センサーの精
度は ±0.1°Cであため、機械の熱膨張率が 10ppm/°Cであ場合、計測値
の標準化の偏差は ±1ppm りま XC 環境補正ユニを使用た場合、のほ
かに ステムの計測精度(±0.5ppm) りま
の偏差の補正を行わない場合、の偏差の影響は、単な偏差の
合計ではなそれぞれを二乗た合計の平方根になす。上の例では標準化
た計測値の精度はレーザー XC 補正テム±1.2ppm となり
に正ない熱補正率を入力す計測偏差が増加す。異な機械
に対す熱膨張率の値は 10ppm/°C以上異な場合があのでい値を入力す
十分注意い。必要があれば、機械ーカーかドバイを求め
ださい
通常、20°Cに戻た時の加工部品の精度を推測するのでない限機械の
ステムの膨張率をアに入力す。下表には、機械位置決め
ドバテムに使用すな材質の一般的な熱膨張率をす。
注:熱膨張率は材質の構成比処理方法に異ながあため、
の値は参考のみーカーか仕様が提供さいない場合にのみ使
くだ
材質 用途
熱膨張率
ppm/°C
鉄/鉄鋼
機械構造部材、&ピニブ、
ボールネジ
11.7
ルミ合 軽量 CMM 機械構造
22
ラス ガラススケーリニアエンコーダ
8
花崗岩 機械構造ブル
8
クリ 機械基盤
11
ンバー鋼 膨張率の低いエコーダ/構造
<2
熱安定性の高い
ラス
膨張率ゼロのエコーダ/構造
<0.2
10
XC-80
環境補正
熱膨張率を判断す際に、熱膨張率の異な 2 種類の材質が一緒に固定れて
場合は、特に注意ださい。例えば、ピニオン式フドバシステムの
熱膨張率は、が固定れた鋳鉄製レールののに近可能性が高
床取付けのレールがついた大型ー機の場合基盤の動き
を制限すレールの膨張率を低減がでますた、最近のス
ルの多は、複数の材質を使用ていば、ケールには、アルスパ
ーが結合れ、れがさに鋳鉄部材に取付けれてのがあす。の場
合、適切な係数を選ぶのは非常に困難です。ールーカーか、使用す機械のメ
ーカーにださい。
体セサー
注意
熱が安定す物体温度センサーは、計測開始の 25 分前に物体に固定
さい
物体温度センサーを配置する際ず最初に物体の膨張補正の主要目的を決め
れは通常、次の 4 つの目的のいずれかにはずです。
1. 機械が周囲温度 20°Cで作動すに得であ位置決め配置精度を
定す機械の製作、承認、使用開始、再校正では、れが目が多
の場合、国内/国際的機械受入れ規格に規定れて
す。
2. 国内/国際的機械受入れ規格に沿校正を実行す
3. 機械のステムの温度が 20°Cの場ドバステムが
達成でき位置決め精度を推定すれは、ドバステムの障害
診断に役立ます
4. 機械で製造す部品を検査のために 20°Cに戻の、部品の精度を推定す
れは、温度制御を行わない環境で精密非鉄部品を製造するのに機械の
ドバの膨張率が大幅に異なる場合に特に重要になす。
機械の位置ステムが機械の作動中に高温るか(例ばボールネ
など)ルミのワークラススのリニエンーダなど、ークの
膨張率が位置ステムのは大き異な場合には、の目
的の差がたいい大きな意味を
XC 補正ユニ付属の物体温度センサーには、機械に固定すために強
力なマグネが内蔵されてす。物体温度センサー計測する物体の熱接点が
良好であを確ださい。
機械を 20°Cの環境で作動せた場合の精度の推定
機械を 20 °Cの環境で作動せた場合の精度を推定するには、物体温度センサー
機械のテーか、はモーター、ギアベアグハウジング、エキゾー
の熱源の近にない、た機械の構造部分に取付け必要があ
す。 物体膨張率には、テムののを設定す必要があます
国内/国際規格に沿た校正
国内/国際規格に沿機械精度の計測をには、規格に規定れた手順に従
必要があますれには、物体センサーを場所、使用する膨張率実行す
機械のームプサイルなが含まますが規格で規定
場合、れも考慮する必要がす。
気温機械温度が大幅に異な場合、物体の表面中心の温度がかな可能性
があますな状況では中心の温度を測れ注意て物体温度ンサ
を配置ださい。最大高 3 つでの物体センサーを使用複数のポイ
温度を計測でますが、適用す補正係数は平均値す。
物体センサーを常にボールネジかドバステムに配置ければな
のは、必ずい概念ではせん次の例かわかれに
は例外があます
11
XC-80
環境補正
例:
気温 25°Cの工場で機械の計測をに、機械の作動か発生する熱のために
ボールネジが 5°Cく、30°Cであものます物体温度センサーをボールネジ
たはその近に配置すボールネジが 20°Cで作動た場合に得る値
推定レーザーの読み取が補正されます。機械を 20°Cの環境で作動
せたボールネジは 20°C
モーーの作動に続き熱が出るためボールネジの温度は周囲
よりも 5°Cるはずです(25°C)。場合に物体センサーをボールネジに配
置す過剰補正結果にな代わにセンサー
機械の構造部分に取付ければ過去数時間にわた機械周辺の平均周囲温度を
映させができます。
機械のフドバステム20°Cで作動せた場合の精度の推定
の手順は、診断のために使用のですれには、機械が目12
計測を満足できなかったために、ドバステム20°Cで作動せた場合
の精度検証が必要になた場合なが考れまの目的を満たすにはレーザ
ービームをドバステムの軸にできだけ近調整す
必要があますベ誤差 を低減ため)
物体温度センサーはドバテムたはその近に配置膨張率に
ドバシステムのものを設定する必要があます。3 つまでの物体セ
ンサーを使用て複数のポで温度を計測できす。
20°Cの精密度が要求部品の製造
工作機械をドバテムは膨張率が大幅に異なる材質合金、
素混合材、のワの製造に常に使用す場合には、機械の
テムではなの膨張率を使用た方が得策な場合があます
20 °Cにおけ機械の性能を反映た計測がでわけではあませんが計測
のために 20 °Cたときークのめることがきま
物体温度センサーは温度に近いのを計測できに配置す必要があ
す。れにはたいてい機械のテブルが適すが、使用す冷却シテム
プや切削率な他の要因も考慮に入れる必要がの種の特定状況
におけ計測は、注意実行する必要がの温度膨張率が比較
的一定る場合にか本当に有効はいせん
12
XC-80
環境補正
動補正
動環境補正ではXC 環境補正ユニを使用ーザーの波長補正物体熱膨
張補正を実施す。計測を実施する際中に周囲の環境条件が変化す可能
性があれば、動補正の使用を推奨す。
動補正を実施するには、気温センサー物体温度センサーXC 補正ユニ
面の各に接続す。詳細についは、環境センサーを参照ださい。
付属の USBブルで XC 補正ユニ PC を接続ます。
Capture は、XC デバイスのモニーパネルに XC 補正ユニが使用で
が表示れまれで環境補正が自動的に実行になす。
XC 補正ユニが 7 秒毎に値を読み取
それにレーザーの読み取値が補正
詳細についは、XC 補正ユニ
更新サイルを参照ださい。
環境補正ユニを選択す
は、「詳細」「設定」「環境条件単位」を順
択し
注意
計測を実行す前に
計測を機械を十分に動か計測軸の駆動装置ールがームプさ
ることを認してく
物体膨張補正パを調整熱膨張率に正い値を入力を確
くだ
XC 補正ユニの更新サ
XC 補正ユニは、7 秒毎に 6 つの環境センサー1 つか値を読み取PC に転
す。の値に環境補正係数が更新されま環境センサーの読み取順序
は、気温センサー、相対湿度センサー、圧センサー、 3 つの物体温度センサー
りま
13
XC-80
環境補正
一定の物体温度補正
特定の用途では、物体温度の補正に固定値を入力すが必要にな場合があ
す。の例物体センサーが内蔵れた機械や、ブルを一定温度に制御
るためのンサーや冷却テムが挙げ
物体温度の固定値を使用すには、Capture「定義」にあ「機械」を表
一定た物体温度」選択す。には物体温度の固定値入力できす。
仕様
はじ
では寸法重量のセ併せてテムの各ンポーの物理仕様
びに動作仕様を要約す。
レニでは継続的な製品改良ポーの一環予告なに製品の外観や
仕様に変更を加える権利を有ます。
システ
保管時の温度範囲 -25°C ~ 70°C
保管時の湿度範囲 0% ~ 95% (結露な)
保管時の気圧範囲
10 mbar ~ 1200 mbar
XC 環境補正
気温センサーの計測範囲 0 °C ~ 40 °C
気温センサーの計測精度
±0.2 °C
気圧センサーの計測範囲
650 mbar ~ 1150 mbar
気圧センサーの計測精度
±1.0 mbar#
相対湿度センサーの計測範囲 0% ~ 95% (結露な)
相対湿度センサーの計測精度
±6%
波長補正確度
±0.5ppm †*
物体温度センサーの計測範囲 0 °C ~ 55 °C
物体温度センサーの計測精度
±0.1 °C
動補正の更新間隔 7
のセンサーの更新間隔 42
推奨再校正期間 12 ヶ月
出力 USB 2 準拠
電源
USB電源供給
最大使用電流 = 100mA
# XC 補正ユニを水平に配置た場合
精度値は20 °Cの物体温度への測定値の標準化に関連た誤差を含みません
* k=2(確度 95%EA-4/02ISO
14
XC-80
環境補正
量と寸
XC 環境補正ユニ(単位 mm
名称 重量
XC-80 補正ユニ
490 g
気温センサー
48 g
物体温度センサー
45 g
パー No
ーツ No 構成部品 ーツ No
A-9908-0510
XC-80 補正ユニ
ット
XC-80 補正ユニ
物体気温センサーブル
A-9908-0879
センケーブ
A-9908-0879
XC マウンテングプ
A-9908-0892
USB ケーブ
A-9908-0286
国でのレニーネについては、
Web イトご 覧 下 www.renishaw.jp/contact
*F-9908-0074-01*
© 2017 Renishaw plc
発行: 0117M
パーツ No.: F-9908-0074-01-B
レニシー株式会社
160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
ショ
T 035-366-5316
F 035-366-5320
名古屋支社
461-0005
愛知県名古屋市東区東桜1-4-3
大信ビル
T 052-961-9511
F 052-961-9514
E japan@renishaw.com
www.renishaw.jp
国でのレニーネについては、
Web イトご 覧 下 www.renishaw.jp/contact
*F-9908-0074-01*
© 2017 Renishaw plc
発行: 0117M
パーツ No.: F-9908-0074-01-B
レニシー株式会社
160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
ショ
T 035-366-5316
F 035-366-5320
名古屋支社
461-0005
愛知県名古屋市東区東桜1-4-3
大信ビル
T 052-961-9511
F 052-961-9514
E japan@renishaw.com
www.renishaw.jp
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Renishaw XC-80 ユーザーガイド

タイプ
ユーザーガイド