製品概要
ポペット形ダイアフラムバルブ
SPDシリーズ
取扱説明書
取扱説明書
• 製品をご使用になる前に、本取扱説明書を必ずお読みください。
• 特に安全に関する記述は、注意深くお読みください。
• 本取扱説明書は必要なときにすぐ取出して読めるように、大切に保管してください。
SM-A46259
SM-358642
SM-A46259 はじめに製品概要
i 2021-03-19
はじめに
このたびは、当社のポペット形ダイアフラムバルブ「SPD シリーズ」をお買求めいただきまして、誠にありがとう
ございます。本取扱説明書は本製品の性能を十分に発揮させるために、取付、使用方法などの基本的な事項
を記載したものです。よくお読みいただき、正しくご使用ください。
なお、本取扱説明書は紛失しないように、大切に保管してください。
本取扱説明書に記載の仕様、外観は、将来予告なく変更することがあります。
• 本製品は制御弁(電磁弁や電動弁、エアオペレイト弁など)を使用するにあたって、材料や流体、配管、
電気などについての基礎的な知識を持った人を対象にしています。制御弁についての知識を持たない
人や十分な訓練を受けていない人が選定、使用して引起こした事故に関しては、当社は責任を負いま
せん。
• お客様によって使用される用途は多種多様にわたるため、当社ではそれらのすべてを把握することがで
きません。用途、用法によっては流体、配管、その他の条件により性能が発揮できない場合や事故につ
ながる場合があります。用途、用法にあわせてお客様の責任で、製品の仕様の確認、使用方法の決定
を行ってください。
SM-A46259 安全にご使用いただくために製品概要
ii 2021-03-19
安全にご使用いただくために
本製品を使用した装置を設計、製作する場合は、安全な装置を製作する義務があります。そのためには、装置
の機械機構と、空気圧制御回路または水制御回路、これらを電気制御するシステムの安全性が確保できるこ
とを確認してください。
装置の設計、管理などに関する安全性については、団体規格、法規などを必ずお守りください。
ISO 4414、JIS B 8370、JFPS 2008(各規格の最新版)
高圧ガス保安法や労働安全衛生法、その他の安全規則、団体規格、法規など
当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定、使用、取扱い、保全管理を適切に行うことが重要で
す。
装置の安全性確保のために、本取扱説明書に記載の警告、注意事項を必ずお守りください。
本製品にはさまざまな安全策を実施していますが、お客様の誤った取扱いによって事故につながる場合があり
ます。そのようなことがないためにも、
必ず本取扱説明書を熟読し、内容を十分に理解したうえでご使用ください。
注意事項は危害、損害の大きさと発生の可能性の程度を明示するために、「危険」「警告」「注意」の 3つに区
分されています。
危険
誤った取扱いをすると、人が死亡する、または重傷を負う危険が差迫って発生す
ることが想定されるもの。
警告
誤った取扱いをすると、人が死亡する、または重傷を負う可能性が想定されるも
の。
注意
誤った取扱いをすると、人が傷害を負う、または物的損害が発生する可能性が想
定されるもの。
なお、「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。
いずれも重要な内容を記載しているため、必ずお守りください。
その他、一般的な注意事項や使用上のヒントを以下のアイコンで記載しています。
一般的な注意事項や使用上のヒントを表します。
SM-A46259 安全にご使用いただくために
iii 2021-03-19
製品に関する注意事項
警告
取扱いは十分な知識と経験を持った人が行う。
本製品は、一般産業機械用装置・部品として設計、製造されたものです。
製品の仕様範囲内での使用を守る。
製品固有の仕様外での使用はできません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。
本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としているため、屋外、次に示すような条件・
環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。
(ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用になります。た
だし、その場合でも、万一の故障に備えて危険を回避する安全対策をとってください。)
• 原子力や鉄道、航空、船舶、車両、医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途での使用。
• 娯楽機器や緊急遮断回路、プレス機械、ブレーキ回路、安全対策用など、安全性が要求される用途
での使用。
• 人や財産への大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途での使用。
安全を確認するまでは、本製品の取扱い、配管・機器の取外しを絶対に行わない。
• 機械、装置の点検や整備は、本製品が関わるすべてのシステムの安全が確保されていることを確認
してから行ってください。また、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を OFF
にし、システム内の圧縮空気は排気し、水漏れ、漏電に注意してください。
• 運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性があるため、本製品の取扱い、配管・機器の取外
しは注意して行ってください。
• 空気圧機器を使用した機械、装置を起動または再起動する前に、飛出し防止処置などによりシステ
ムの安全性が確保されているか確認してください。
廃棄に関する注意事項
注意
製品を廃棄するときは、廃棄物の処理や清掃に関する法律に準拠し、専門廃棄物処理業者に依頼して処
理する。
SM-A46259 安全にご使用いただくために
iv 2021-03-19
設計、選定に関する注意事項
■ポペット形ダイアフラムバルブ
警告
緊急遮断弁などの安全確保用バルブとしての機能が必要な場合は、確実に安全を確保できる別の手段
を講じる。
本製品の仕様、お客様のシステムとの適合性をお客様の責任で確認のうえ、機器を選定し、取扱う。
誤った機器選定、取扱いは、本製品のトラブルのみならずお客様のシステムトラブルの発生原因になり
ます。
本製品が故障した際に人や物等に悪影響を与えないよう、予め必要な措置を施す。
周囲環境について、下記の注意事項を守る。
• 製品構成材料と雰囲気との適合性を確認のうえ、使用してください。
• 製品本体には、流体が付着しないようにしてください。
• カタログに記載の周囲温度の範囲内で使用してください。
• 振動、衝撃の影響を受ける場所、熱源の周辺、屋外では使用しないでください。
液封の回路になる場合には、逃し弁を設ける。
バルブが開閉動作するときにダイアフラムが上下動することにより、その分バルブ内の流路容積は変化
します。流体は非圧縮性(液体)であるため、バルブに流体が密封される条件(液封)では、バルブに異常
な圧力が発生することになります。このような場合はバルブの一次側または二次側に逃し弁を設け、液
封の回路にならないようにしてください。
使用流体によって、以下の点に注意する。
製品構成情報と使用流体との適合性をご確認の上ご使用ください。
カタログに記載の流体温度で使用する。
カタログに記載の使用圧力で使用する。
使用流体によって、以下の点に注意する。
• 流体中の鉄錆・ゴミ等の異物は、作動不良・漏れ不良の原因となり製品性能を妨げますので、排除
する手段を講じた上で使用してください。
• 蒸気滅菌時等高温の流体を流す場合、バルブ本体も高温になるため、手や体で触れないでくださ
い。直接触れると火傷する場合がありますので、ご注意ください。
• アクチュエータ上側（ダイアフラム側）は流体が接触しない部分ですが、流体種類や流体温度の変化
などにより浸透して流体雰囲気になる場合がありますので、ご注意ください。
• スラリ、UV 硬化剤などのように粒子を含んでいたり、固形化、ゲル化するおそれがある流体の場
合、性能に影響を及ぼす可能性があります。
SM-A46259 目次
v 2021-03-19
目次
はじめに .............................................................................................................................. i
安全にご使用いただくために ............................................................................................... ii
製品に関する注意事項 .................................................................................................... iii
廃棄に関する注意事項 .................................................................................................... iii
設計、選定に関する注意事項 .......................................................................................... iv
目次 .................................................................................................................................... v
1. 製品概要 ..................................................................................................................... 6
1.1 形番表示 .............................................................................................................. 6
1.2 内部構造、外形寸法図 ......................................................................................... 7
1.3 製品仕様 .............................................................................................................. 8
1.4 動作説明 .............................................................................................................. 9
2. 取付け ....................................................................................................................... 10
2.1 設置の前に ........................................................................................................ 10
2.2 設置環境 .............................................................................................................11
2.3 取付方法 ............................................................................................................ 12
2.4 配管方法 ............................................................................................................ 13
3. 使用方法 ................................................................................................................... 15
3.1 使用前の確認（施工後の確認） ........................................................................... 16
4. 保守、点検................................................................................................................. 17
4.1 保守部品 ............................................................................................................ 17
4.2 定期点検 ............................................................................................................ 17
4.3 分解、組立方法 .................................................................................................. 18
4.3.1 ダイアフラム交換前に ................................................................................... 18
4.3.2 ダイアフラム交換手順 （19 ページ参照） ....................................................... 18
5. トラブルシューティング ............................................................................................... 20
5.1 トラブルの原因と処置方法 .................................................................................. 20
6. 保証規定 ................................................................................................................... 21
6.1 保証条件 ............................................................................................................ 21
6.2 保証期間 ............................................................................................................ 21
SM-A46259 1. 製品概要
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1. 製品概要
1.1 形番表示
SM-A46259 1. 製品概要
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1.2 内部構造、外形寸法図
SM-A46259 1. 製品概要
8 2021-03-19
1.3 製品仕様
項目
SPD-1108
SPD-2115
作動方式
NC（ノーマルクローズ）形
使用流体
水、純水、薬液（接駅部の材質を腐食させない流体）
流体温度
℃
5～90
（蒸気滅菌時 130 20 分間以内可）
耐圧力
MPa
0.9
使用圧力
MPa
0～0.3
背圧
MPa
0～0.1
弁座漏れ
ｃｍ３／ｍｉｎ
0 (水圧にて)
周囲温度
℃
0～60
頻度
回／ｍｉｎ
30 以下
Cv 値
1.9
4.6
操作圧力
MPa
0.3～0.5
操作ポート
Rc1/8
材質
ダイアフラム
PTFE
ボディ
SUS316L（バフ研磨＃400 相当、電解研磨）
アクチュエータ
A5056 (陽極酸化処理)
SM-A46259 1. 製品概要
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1.4 動作説明
■ポペット形ダイアフラムバルブ
NC(ノーマルクローズ)形 ― 操作エアを Xポートに接続します。
開作動時 閉作動時
Xポートにエアを加圧すると、
ピストンロッドが上がり、ピスト
ンロッドに連結されたダイアフ
ラムも同時に上がり、流路が
開いて流体が流れます。
Xポートのエアを排気すると、
スプリングの力でピストンロッド
が下がり、ピストンロッドに連結
されたダイアフラムも同時に下
がり、流路を閉じて流体をシー
ルします。
流路部断面
流路部断面
Xポート
Xポート
ピストン
ロッド
ダイア
フラム
ピストン
ロッド
ダイア
フラム
スプリング
流体
SM-A46259 2. 取付け
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2. 取付け
2.1 設置の前に
注意
配管実施寸前まで配管ポート保護を外したり、本製品をビニール袋から出さない。
配管ポート保護を配管作業以前に外したり、本製品をビニール袋から出すと、配管ポートから内部に異
物が入り、故障や誤作動などの原因になります。
設置前のバルブの分解は行わない。
保障期間内であっても、保守・点検の目的以外での分解は保証対象外となる場合があります。
また、異物混入等による不具合を誘発する恐れがあります。
• ご注文の製品形番と製品に表示されている形番が、同一であることを確認してください。
• 製品外部の損傷、ボルトの緩みなど製品に異常が無いことを確認してください。
• 保管時は弁の内部に異物が入らないように個装箱のまま保管し、配管時に箱から取出してください。
SM-A46259 2. 取付け
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2.2 設置環境
警告
指定仕様外または特殊な用途で使用する場合は、仕様について当社に相談する。
腐食性ガス・溶剤環境では使用しない。
亜硫酸ガスなどの腐食性ガス・溶剤の環境では使用しないでください。
多湿環境では使用しない。
温度変化により結露が発生する場合があります。
発熱体の近くまたは輻射熱を受ける場所では使用しない。
周囲温度範囲内で使用する。
注意
バルブ内部に粉塵が入らないように保護する。
周囲に粉塵などが多い場合は、バルブの排気ポートにサイレンサまたはエルボ継手を下向きに取付け
て粉塵が入らないように保護してください。
• 寒冷地で使用する場合、適切な凍結対策を実施してください。
• 本製品は屋外では使用できません。カバーやパネル内に設置して保護してください。
• バルブに振動や慣性が加わる環境では使用しないでください。
SM-A46259 2. 取付け
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2.3 取付方法
警告
取付け、配管は、システム、流体の特性、流体と関連機器との適合性など安全性に関する注意事項を十
分に理解した人が、取扱説明書を熟読したうえで行う。
誤った取付け、配管は、本製品のトラブルのみならずお客様のシステムトラブルの発生原因になったり、
使用者の死亡または重傷につながる可能性があります。
注意
本取扱説明書を熟読し、内容を理解したうえで製品を取付ける。
製品の取扱い、取付けはボディをしっかり保持して行う。
取付後、配管漏れの有無を確認して、正しく取付けられていることを確認する。
• IN 側が真上に来るよう、バルブを垂直に配管することによりバルブ内の液溜まりを最少にすること
ができます。(図1参照)
• 保守やトラブルシュート時の安全作業を考慮して、十分なスペースを確保してください。
IN
OUT
(図１) バルブ配管方向
UT
SM-A46259 2. 取付け
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2.4 配管方法
注意
配管の締付け、配管接続をやり直すときは、製品を固定する。
配管の荷重、振動がバルブに直接加わらないように、配管を固定、支持する。
操作部の配管時には推奨トルク(表２参照)で締付ける。
配管を行う際は、バルブ本体に曲げ・引張・圧縮等の応力が加わらないようにする。
配管の重量、振動がバルブに直接加わらないよう配管の固定、支持をする。
操作部の配管時にシール剤（シールテープ、ゼリー状シール剤）を過度に使用しない。
アクチュエータ内部に入り込み、作動不良の原因となります。
保守・補修作業を容易にするためにバイパス回路を設置する。
配管接続が完了して流体を供給するとき、急激に高い圧力が掛からないようにする。
配管接続が不十分な場合、配管が外れたり、流体が漏れる事故につながります。
◼ 配管の清掃
配管の前には、ゴミや金属粉、さび、シールテープなどの異物を除去するため、0.3MPa 以上のエアでフラッシ
ングを行ってください。
◼ 異物の除去
流体中のゴミ、異物などは、作動不良や漏れの原因になるため除去してください。
バルブの直前には、80～100 メッシュ程度のストレーナを取付けてください。
また、操作エア回路には、5μm以下のフィルタを設置してください。
◼ 操作部の配管
• 操作部の配管は表 1に示す通りに行ってください。
• 排気ポートは配管をし、問題とならない場所で吸気・排気を行ってください。
• 操作ポートに接続する操作用電磁弁は仕様および用途に合わせて選定してください。
• 操作ポートに配管するときは必ずシリンダをスパナまたはバイス等で固定しねじ込んでください。配管時の締
付けトルクは表 2を参考にしてください。
表1 操作ポート及び排気ポート
操作ポート
排気ポート
X
Y
表2 操作ポート配管の推奨締付トルク
配管の接続口径
推奨締付トルク(N・m)
Rc1/8
3～5
◼ 操作エアのドレン対策
圧縮空気中には多量のドレン(水や酸化オイル、タール、異物など)が含まれています。これらは空気圧機器の
精度を著しく低下させる原因になります。ドレン対策としては、アフタークーラドライヤによる除湿やフィルタによ
る異物除去、タール除去フィルタによるタール除去などで、エア質の改良を行ってください。
SM-A46259 2. 取付け
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◼ 本体への配管
• フェルール部寸法は ISO に準拠しております。適切なサイズのガスケット及びクランプを使用して組付けてく
ださい。
◼ シール剤
シールテープまたはシール剤は、ねじ部分の先端から 2山以上内側の位置に付けます。配管のねじ部分より
先端に出ていると、ねじ込みによってシールテープの切れ端やシール剤の残材がバルブの内部に入り込み、
故障の原因になります。
シールテープを使用する場合は、ねじの方向と反対方向に巻付け、指先で押さえてねじに密着させてください。
液状シール剤を使用する場合は、樹脂部品に付着しないように注意してください。樹脂部品が破損し、故障や
誤作動などの原因になります。また、めねじ側にはシール剤を塗布しないでください。
SM-A46259 3. 使用方法
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3. 使用方法
警告
緊急遮断弁などの安全確保用バルブとしては使用しない。
本製品は緊急遮断弁などの安全確保用バルブとして設計されていません。そのようなシステムの場合
は、確実に安全を確保できる手段をとったうえで、使用してください。
本製品が故障したときに人や物などに悪影響を与えないよう、あらかじめ必要な措置を実施する。
液封について
バルブが開閉作動する際にダイアフラムが上下動し、バルブ内の流路容積が変化します。従って、流体
が非圧縮性（液体）である場合、バルブに流体が密封される条件（液封）での作動はバルブに異常な圧
力を生じさせます。このような場合はバルブの 1次側または 2次側に逃し弁を設け液封の回路にならな
いようにしてください。
高温、蒸気での使用について
蒸気洗浄時等高温の流体を流す場合、バルブ本体も高温になるため、手や体で触れないでください。直
接触れると火傷する場合がありますので注意ください。
注意
急激な流体温度の変化に注意する
内部漏れが発生する場合がありますのでご注意ください。
アクチュエータ操作用のエアはろ過度 5μm以上の性能を有するフィルタを通ったエアまたは不活性ガス
を使用する。
操作エア圧力は規定の使用圧力範囲内で使用する。
バルブの加圧ポートの間違いがないかご確認する。（Xポート）
誤った操作部に圧力を加えると、ダイアフラム破損または作動不良を引き起こします。
１ヶ月以上使用しない場合は、始業前に試運転を行う。
１ヶ月以上使用しない場合は、内部に残留している水を完全に除去する。
水が残留していると錆が発生し作動不良・漏れ不良が生じることがあります。
残留水の除去ができない場合は、最適にご使用いただくため、１日数回程度作動させ通水してくださ
い。
バルブ作動頻度を守る。
バルブ作動頻度は 30 回/min 以下です。
操作エアの供給時間、または排気時間が短い場合は、バルブの作動が追従できないことがあります。
製品本体に流体が付着しないようにする。
流体圧力、配管条件に注意する。
流体の圧力、配管条件によっては、ウォータハンマやバイブレーションが発生する場合があります。
ほとんどの場合、スピードコントローラ等で開閉速度を調整することによって改善できますが、
改善できない場合は、流体圧力、配管条件を見直してください。
バルブを足場にしたり、重量物を乗せない。
SM-A46259 3. 使用方法
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＜液体充填用途での使用について＞
• バルブの流量特性、動作速度には個体差がある為、同じ時間でバルブを開閉しても充填量にはば
らつきが生じます。充填量を高精度で管理される場合は、バルブ毎に充填時間や流量を調整して
ご使用ください。
• 関連商品のダイヤル付きニードルバルブ DVL-S-06-＊-020 をご使用いただくことでバルブの閉動
作速度を調整し、ノズル先端での液切れ状態を調整することができます。(図2、図 3参照)
• 操作エア用の電磁弁は有効断面積を小さくし過ぎないよう注意してください。有効断面積が小さす
ぎるとバルブの開閉動作速度に影響し、充填量や液切れが調整できない場合があります。
推奨有効断面積：1.5mm²以上
• 充填量や液切れの状態は流体種類、使用条件、ノズル形状などにより大きく変化します。機器選
定の際は最寄りの当社販売店、代理店にご相談ください。
3.1 使用前の確認（施工後の確認）
警告
外観確認は、元栓を閉じ、バルブ内の流体を排出させてから行う。
◼ 外観の確認
• バルブが配管に確実に固定されていることを、手で押して確認します。
• 配管が確実にされていることを確認します。
• ねじ部品が緩んでいないことを確認します。
• 操作エア圧力に間違いがないことを確認します。
◼ 作動の確認
流体を加圧する前に、操作エアを加圧してバルブが作動することを確認します。
◼ 漏れの確認
• 操作エアを加圧状態にして、配管接続部の漏れを確認します。
• 流体を加圧状態にして、配管接続部の漏れを確認します。
操作
エア
流体源
ポペット形
ダイアフラムバルブ
SPD
ダイヤル付
ニードルバルブ
DVL
パイロット式
３．５ポート弁
４Ｇシリーズ
(図２) システムイメージ
UT
(図３) 回路図例
UT
SM-A46259 4. 保守、点検
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4. 保守、点検
危険
保守・点検は、本取扱説明書を熟読し、内容を理解したうえで行う。
保守・点検する前に、操作エア、流体の圧力を抜く。
バルブ交換時には、純水、エアなどで十分置換したうえで作業する。
残留した薬液により周りの機器、人に影響が無いようにしてください。また、バルブに触る際は、
使用流体の安全データシート（ＳＤＳ）をお読みになり、必要な保護具を着用してください。
分解・再組立を実施されると弁性能を維持できなくなる場合があります。
4.3 分解、組立方法の交換手順に従って確実に行ってください。
再組立後は、必ず試運転をしてください。
注意
製品交換の際には、必ず同形番の製品を使用する。
同一外観でも仕様が異なることがあります。
直射日光が当たる場所や、高温となる場所では保管しない。
製品取扱の際は、投出し、投下、引掛け等による衝撃・傷等を与えないでください。
１ヶ月以上未使用の場合は、始業前に試運転を行う。
4.1 保守部品
注意
分解・交換された製品及び部品、作業により発生した不具合については、保証の対象範囲から除外する。
◼ ダイアフラム
使用中に漏れまたは作動不良、作動遅れなどの異常が認められたときに交換してください。
4.2 定期点検
◼ 定期点検
• 点検内容は『3.1 使用前の確認（施工後の確認）』を参照ください。
◼ 日常点検
• 半年に一回バルブを分解し、シール部の点検を行ってください。ご使用条件にもよりますが、1年に 1度ダイ
アフラムの交換を実施することを推奨いたします。
• ダイアフラムの耐久性は流体の種類、圧力、温度、作動頻度により大きく異なるため定期点検の頻度はお
客様のご使用条件を考慮して実施ください。
• アクチュエータの耐久性は流体温度やエア室により異なるため、定期的なメンテナンスを実施してください。
SM-A46259 4. 保守、点検
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4.3 分解、組立方法
危険
アクチュエータは分解しない。
高荷重のスプリングが内蔵されているため大変危険です。分解が必要な場合は当社販売店または代理
店へご相談ください。
警告
分解作業の前に元栓を閉じ、バルブ内の流体を排出する。
4.3.1 ダイアフラム交換前に
• 分解する前に必ず操作エア・流体圧を抜き、バルブ内に圧力が加わっていないかを確認してください。
• ダイアフラム交換時には、残留した流体により周りの機器及び人に影響のないように純水等で十分置換し、
乾燥空気または不活性ガスでパージした上で作業してください。またバルブの流体通路部に触れる際は、使
用流体の安全データシート（ＳＤＳ）をお読みになり、必要な保護具を着用してください。
• 必ず指定のダイアフラムをご使用ください。
4.3.2 ダイアフラム交換手順 （19 ページ参照）
1 流体、圧力がないことを確認した後、Xポートに操作エアを供給しバルブを「開」の状態にしてください。
2 六角穴付きボルトを緩め、六角穴付きボルト、ばね座金、平座金を取り外し、ボディからアクチュエータを取り外
してください。六角穴付きボルトは新品に交換してください。
3 操作エアを排気し、バルブを「閉」の状態にしてください。
4 ダイアフラムを反時計方向に回転して、アクチュエータから取り外してください。
5 アクチュエータ取付位置に汚れ、傷がないことを確認して、新しいダイアフラムを取り付けてください。ダイアフラ
ムを時計方向に軽くねじ込んでゆき、止まった所で力を加え増し締めしてください。このとき、ダイアフラムを締
め過ぎないよう、またシール面に手を触れないようご注意願います。
6 ボディのシール面、弁座に汚れ、傷、異物の付着がないことを確認してください。 ※これらの要因は漏れの原
因となります。
7 (手順①)と同様に、バルブを「開」の状態にしてください。
8 アクチュエータをボディに軽く挿入してください。
9 六角穴付きボルトを対角に均等なトルクで締め込んでください。（締付けトルク：3.4～4.2Ｎ・ｍ）
片締めとならないよう、ボルトは対角上に徐々に締めこんでください。締め込みが不足するとシール力の分
布が不均一となり、漏れが発生しやすくなりますので、トルクレンチ等でトルクを管理して締め込んでくださ
い。
10 アクチュエータとボディに隙間がなく確実にボルトが締め付けられていることを確認したら、操作エアを排気
しバルブを「閉」の状態にしてください。
11 バルブの開閉動作を行い、スムーズに作動し漏れがないことを確認してください。配管し、流体を加圧して
配管部から漏れの無いことを確認してください。
SM-A46259 4. 保守、点検
19 2021-03-19
六角穴付きボルト
アクチュエータ
ダイアフラム
ボディ
アクチュエータ
①Xポートに操作エ
アを供給し、弁開状
態にする。
②六角穴付きボルト
を取り外す。
ばね座金、平座金
の脱落に注意してく
ださい。
③Xポートから操作エ
アを排気する。
④ダイアフラムを回転
させて、アクチュエー
タから取り外す。(ねじ
込み)
⑦Xポートに操作エア
を供給。弁開状態に
する。
⑧ダイアフラムをボデ
ィの溝部に合わせる。
⑥ボディに汚れが無
いことを確認する。
＜手順 1～2＞
＜手順 3～6＞
＜手順 7～8＞
＜手順 9～10＞
⑤アクチュエータに汚
れ が 無 い こ と を 確 認
し、新しいダイアフラム
を取り付ける。
⑨六角穴付きボルト
を対角に徐々に締め
込む。
アクチュエ ータが 傾
かないよう注意してく
ださい。
（ 締 付 ト ル ク ： 3.4 ～
4.2Ｎ・ｍ）
⑩アクチュエータとボ
ディに隙間がないこ
とを確認する。
シール面
ページを読み込んでいます...
ページを読み込んでいます...
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