CKD FLSHシリーズ ユーザーマニュアル

  • こんにちは!CKD FLSHシリーズ電動アクチュエータの取扱説明書の内容を理解しています。このドキュメントには、FLSH-16、FLSH-20、FLSH-25モデルの取り付け、使用方法、安全上の注意事項、トラブルシューティングなどが詳細に説明されています。製品に関するご質問があれば、お気軽にご相談ください。
  • 設置環境について教えてください。
    安全上の注意点は?
    トラブル発生時の対処法は?
    廃棄方法は?
    保証期間は?
取扱説明書
製品をご使用になる前に、本取扱説明書を必ずお読みください。
特に安全に関する記述は、注意深くお読みください。
本取扱説明書は必要なときにすぐ取出して読めるように、大切に保管してください。
SM-A14266/2
電動アクチュエータ
FLSH シリーズ
SM-A14266/2 はじめに
i 2019-08-19
はじめに
このたびは、当社の電動アクチュエータ「FLSH シリーズ」をお買求めいただきまして、誠にありがとうございま
す。本取扱説明書は本製品の性能を十分に発揮させるために、取付、使用方などの基本的な事項を記載し
たものです。よくお読みいただき、正しくご使用ください。
なお、本取扱説明書は紛失しないように、大切に保管してください。
本取扱説明書に記載の仕様、外観は、将来予告なく変更することがあります。
本製品を使用するにあたって、材料や配線、電気、機構などについての基礎的な知識を持った人を対象
にしています。知識を持たない人や十分な訓練を受けていない人が選定、使用して引起こした事故に関
しては、当社は責任を負いません。
お客様によって使用される用途は多種多様にわたるため、当社ではそれらのすべてを把握することがで
きません。用途、用法によっては流体、配線、その他の条件により性能が発揮できない場合や事故につ
ながる場合があります。用途、用法にあわせてお客様の責任で、製品の仕様の確認、使用方法の決定を
行ってください。
SM-A14266/2 安全にご使用いただくために
ii 2019-08-19
安全にご使用いただくために
本製品を使用した装置を設計、製作する場合は、安全な装置を製作する義務があります。そのためには、装置
の機械機構とこれを電気制するシステムの安全性が確保できることを確認してください。
当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定、使用、取扱い、保全管理を適切に行うことが重要で
す。
装置の安全性確保のために、本取扱説明書に記載の警告、注意事項を必ずお守りください。
本製品にはさまざまな安全策を実施していますが、お客様の誤った取扱いによって事故につながる場合があ
ます。そのようなことがないためにも、
必ず本取扱説明書を熟読し、内容を十分に理解したうえでご使用ください。
注意事項は危害、損害の大きさと発生の可能性の程度を明示するために、「危険」「警告」「注意」の 3つに区
分されています。
危険
誤っ取扱いをすと、人が死亡、または重傷を負う危が差迫っ発生す
ることが想定されるもの。
警告
誤っいをと、人がまた重傷う可が想され
の。
注意
誤った取扱いをすると、人が傷害を負う、または物的損害が発生する可能性が想
定されるもの。
なお、「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。
いずれも重要な内容を記載しているため、必ずお守りください。
その他、一般的な注意事項や使用上のヒントを以下のアイコンで記載しています。
SM-A14266/2 安全にご使用いただくために
iii 2019-08-19
製品に関する注意事項
危険
本製品を下記の用途に使用しない。
人命や身体の維持、管理などに関わる医療器
人の移動や搬送を目的とする機構、機械装置
機械装置の重要保安部品
警告
製品の仕様範囲内での使用を守る。
廃棄に関する注意事
注意
製品を廃棄するときは、廃棄物の処理や清掃に関する法律に準拠し、専門廃棄物処理業者に依頼して
理する。
SM-A14266/2 目次
iv 2019-08-19
目次
はじめに .............................................................................................................................. i
安全にご使用いただくために ............................................................................................... ii
製品に関する注意事項 .................................................................................................... iii
廃棄に関する注意事項 .................................................................................................... iii
目次 ................................................................................................................................... iv
1. 製品概要 ..................................................................................................................... 1
1.1 システム概要 ........................................................................................................ 1
1.2 本製品に関連する取扱説明書 .............................................................................. 2
1.3 各部の名称 .......................................................................................................... 2
1.4 形番表示 .............................................................................................................. 3
1.4.1 FLSH リーズ ............................................................................................... 3
1.4.2 モータケーブル(固定/可動) ........................................................................... 4
1.4.3 エンコーダケーブル(固/可動) ..................................................................... 4
1.5 仕様 ..................................................................................................................... 5
2. 取付け ......................................................................................................................... 6
2.1 設置環境 ............................................................................................................ 10
2.2 開梱 ................................................................................................................... 10
2.2.1 製品構成 ..................................................................................................... 10
2.3 取付方法 .............................................................................................................11
2.3.1 本体 .............................................................................................................. 11
2.3.2 フィンガ ........................................................................................................ 12
3. 使用方法 ................................................................................................................... 13
3.1 使用上の注 .................................................................................................... 13
3.2 コントローラの使用方法 ...................................................................................... 16
3.3 手動操作 ............................................................................................................ 16
4. 保守、点検................................................................................................................. 17
4.1 定期点検 ............................................................................................................ 18
4.1.1 点検項目 ..................................................................................................... 18
5. トラブルシューティング ............................................................................................... 19
5.1 トラブル発生時の確認項目 ................................................................................. 19
トラブルの原因と処置方法 ............................................................................................. 20
6. 保証規定 ................................................................................................................... 22
6.1 保証条件 ............................................................................................................ 22
6.2 保証期間 ............................................................................................................ 22
6.3 特記事項 ............................................................................................................ 22
SM-A14266/2 1. 製品概要
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1. 製品概要
1.1 システム概要
システム構成の中で弊社より購入可能なものを下記に記載します。
項目
名称
製品名、形番
機器構成
コントローラ
ECRシリー
アクチュエータ
FLSH シリー
モータケーブル
EA-CBLM1-
エンコーダケーブ
EA-CBLE1-
I/O ケーブル
EA-CBLNP1-
DC24V 電源
EA-PWR-KHNA240F-24
DC48V 電源
EA-PWR-KHNA480F-48
サージプロテクタ
AX-NSF-RAV-781BXZ-4
ノイズフィルタ
AX-NSF-NF2015A-OD
フェライトコア(7 個入り)
EA-NSF-FC01-SET
無償提供
パソコン設定ソフト
S-Tools
SM-A14266/2 1. 製品概要
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1.2 本製品に関連する取扱説明書
本製品に関連するコントローラ、設定ツールの取扱説明書は下記を参照してください。
名称
番号
電動アクチュエータ ECR(ントローラ)
SM-A10615
電動アクチュエータ ECR(コントローラ) IO-Link 仕様
SM-A10616
電動アクチュエータ ECR(コントローラ) CC-Link 仕様
SM-A10617
電動アクチュエータ ECR(コントローラ) EtherCAT 仕様
SM-A10618
電動アクチュエータ ECR(コントローラ) S-Tools
SM-A11147
1.3 各部の名称
SM-A14266/2 1. 製品概要
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1.4 形番表示
1.4.1 FLSH シリーズ
SM-A14266/2 1. 製品概要
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1.4.2 モータケーブル(固定/可動)
1.4.3 エンコーダケーブル(固定/可動)
SM-A14266/2 1. 製品概要
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1.5 仕様
FLSH-16
FLSH-20
FLSH-25
モータ種類
ステッピングモータ
エンコーダ種別
インクリメンタルエンコーダ
モータサイズ
mm
20
25
25L
駆動方式
すべりねじ
ストローク
mm
6(片側 3)
10(片側 5)
14(片側 7)
ねじリード
mm
1.5
最大把持力 1
N
20(片側)
42(片側)
65(片側)
開閉速度範囲
mm/s
550(片側)
把持速度範囲 1
mm/s
525(片側)
繰返し精度 2
mm
±0.02
繰返し位置決め精度 3
mm
±0.05(片側)
ロストモーション
mm
0.3以下(片側)
静的許容モーメント
Nm
MP=0.68MY=0.68
MR=1.36
MP=1.32MY=1.32
MR=2.65
MP=1.94MY=1.94
MR=3.88
質量
g
250
380
580
モータ電源電圧
DC48V/24V±10%
モータ部瞬間最大電流
A
1.2
2.4
3.6
絶縁抵抗
10MΩDC500V
耐電圧
AC500V 1分間
使用周囲温度
040 凍結無きこと
使用周囲湿度
3580% ただし、結露無きこと
保存周囲温度
-1050 凍結無きこと
保存周囲湿度
3580% ただし、結露無きこと
雰囲気
腐食性ガス、爆発性ガス、粉塵無きこ
保護構造
IEC 規格 IP40 相当
1 把持は押付動作にて行います。
2 繰返し精度は作動条件が同条件にて、同じワークを繰返し把持した際のばらつきを示します。
3 同一のポイントへ繰返し位置決めを行った場合の停止位置のバラつきになります。
SM-A14266/2 2. 取付け
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2. 取付
危険
発火物や引火物、爆発物などの危険物が存在する場所では使用しない。
発火、引火、爆発のおそれがあります。
製品に水、油などが掛からないようにする。
火災や漏電、故障の原因になります。油滴、オイルミストも使用しないでください。
製品を取付けるときは、確実な保持、固定(ワークを含む)を行う。
製品の転倒や落下、異常作動などによって、けがをするおそれがあります。
コントローラ用電源、入出力回路用電源には、容量に余裕のある DC 安定化電源(DC24V±10%、または
DC48V±10)を使用する。
AC 電源に直接接続すると、火災や破裂、破損などの原因になります。
濡れた手で作業しない。
感電の原因になります。
配線の電源一次側には、『JIS B 9960-1:2008 機械類の安全性-機械の電気装置-第 1部:一般要求
事項』に従って、過電流保護機器(配線用遮断器またはサーキットプロテクタなど)を設置する。
参考:JIS B 9960-1:20087.2.1 一般事項”より抜粋
機械(電気装置)内の回路電流が,構成品の定格値又は導体の許容電流容量のいずれか小さい方を
超える可能性がある場合には,過電流保護を備えなければならない。選定すべき定格値又は設定値
に関しては,7.2.10 に規定する。
SM-A14266/2 2. 取付け
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警告
製品は、可燃物に取付けない。
可燃物に直接取付けたり、可燃物の近くに取付けると、火災の原因になります。
非常停止、停電などシステムの異常時に機械が停止する場合、装置の破損、人身事故などが発生しな
よう、安全回路または装置を設計する。
アクチュエータの可動範囲への立入り防止のため、安全柵を設ける。
製品は、D種接地工事(接地抵抗 100Ω 以下)を行う。
漏電した場合、感電や誤作動のおそれがあります。
製品の配線は、本取扱説明書または関連する取扱説明書で確認しながら、コネクタの緩みが無いように確
実に行う。また、配線の絶縁を確認する。
他の回路との接触、地絡、端子間絶縁不良がないようにしてください。本製品に過電流が流れ込み、破
損するおそれがあります。異常作動、火災の原因になります。
使用しない配線は、絶縁処理を施す。
誤動作、故障、感電のおそれがあります。
ケーブルは傷つけたり、無理なストレスを掛けたり、重い物を載せたり、挟み込んだりしない。
導通不良や感電の原因になります。
製品の通信用コネクタは他の機器に接続しない。
故障、破損の原因になります。
非常停止ボタンは、操作しやすい場所に設置する。
非常停止ボタンは自動的に復帰せず、また人が不用意に復帰させることができない構造、配線としてく
さい。
非常停止を行った際、移動時の速度や搭載負荷によっては停止までに数秒かかる場合があります。
室内で湿気の少ない場所に取付ける。
水が掛かる場所や、湿気の多い場所(湿度 80%以上、結露のある場所)では、漏電や火災事故を起こす
危険があります。
強い電磁波、紫外線や放射線がある場所で使用したり、保存しない。
誤動作、故障の原因になります。
動力源が故障する可能性を考慮する。
動力源に故障が発生しても、人体、装置に障害や破損を与えないように対策をしてください。
モータが故障する可能性を考慮する。
非常停止、異常停止後に再起動する場合の作動状態を考慮する。
アクチュエータを始動位置にリセットする必要がある合には、安全な制御装置を設計する。
精密機器が内蔵されているため、運搬中に横倒しにしたり、振動や衝撃を与えない。
部品破損の原因になります。
停電などによる把持力の低下を考慮し、安全設計を行う。
停電などで把持力が低下し、ワークが外れる場合があります。人体や機械装置に損傷を与えない安全
装置を設計してください。
SM-A14266/2 2. 取付け
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注意
誘導ノイズが印加されないような配線にする。
大電流や強磁界が発生している場所を避けてください。
本製品以外の大型モータ動力線と同一配管、配線(多芯ケーブルによる)にしないでください。
ロボットなどに使用されるインバータ電源、配線部と同一配管、配線にせず、電源にはフレームグラン
ドを施し、出力部にはフィルタを挿入してください。
強磁界が発生する環境では使用しない。
誤作動の原因になります。
本製品の出力部の電源と、電磁弁、リレーなどのサージを発生する誘電負荷の電源は分離する。
電源を共有した場合、サージ電流が出力部に回込み、破損の原因になります。
別電源にできない場合は、すべての誘電負荷に対し、直接並列にサージ吸収素子を接続してください。
本製品が取付けられている装置で耐電圧試験、絶縁抵抗試験は行わない。
本製品に内蔵されている制御基板には、静電気破損防止のために同回路と金属ボディの間にコンデン
が接れて。そめ、品をけたで上試験と、品が
す。装置として試験が必要な場合は、本製品を外してから行ってください。
本製品が取付けられている装置に電気溶接を行う場合は、本製品の F.G.(フレームグランド)接続をすべて
取外してから行う。
F.G.接続を取付けた状態で電気溶接を行うと、溶接電流、溶接時の過度な高電圧、サージ電圧により本
製品が破損するおそれがあります。
電源は製品の設置台数に対し、容量に余裕のあるものを選定する。
容量に余裕がないと、誤作動するおそれがあります。
固定ケーブルは、繰返し屈曲させない。
繰返し屈曲させる場合は、可動ケーブルを使用してください。
可動ケーブルは容易に動かないように固定する。また、固定時ケーブルは屈曲半径 63mm 以上で使用す
る。
アクチュエータの引出しケーブルを動かさない。
断線のおそれがあます。コネクタケース部分が動かないようにケーブクランパなどで固定てくだ
い。
外部ストッパ、保持機構(ブレーキなど)を設置する場合は、原点位置の検出に影響しないように配置する。
電源 ON 時には原点位置の検出が行われます。外部ストッパや保持機構により検出動作が阻害され
と、意図しない位置を原点位置として認識するおそれがあります。
紫外線の当たる場所や腐食性ガス、塩分などのある雰囲気中で使用しない。
性能低下、異常作動、さびの発生による強度の劣化のおそれがあります。
大きな振動や衝撃が伝わる場所に設置しない。
大きな振動や衝撃が伝わると誤作動を起こすおそれがあります。
周囲温度の急激な変化により結露が発生する場所では使用しない。
お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様の責任で確認する。
製品の接続には、専用ケーブル以外は使用しない。
故障や思わぬ事故につながるおそれがあります。
SM-A14266/2 2. 取付け
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注意
搬送時や設置時は、製品の可動部やケーブル部を持たない。
けがや断線の原因になります。
保守、点検に必要なスペースを確保する。
確保されないと保守、点検ができなくなり、装置の停止や破損、けがにつながります。
製品を持つ場合、製品の下面を持つ。
製品の運搬、取付けの際には、リフトや支持具で確実に支えたり、複数の作業者で行うなど、作業者の安
全を十分に確保する。
製品にねじれや曲げ力が加わらないように設置する
ゲイン調整を行う前には、アクチュエータ本体を剛性のある機器にしっかりと固定し、治具なども確実に取
付ける。
コントローラのケースを強く押えない。
位置決め穴を使用する場合、圧入にならない寸法のピンを使用する。
圧入寸法のピンを使用すると圧入荷重によるガイド部の損傷や歪みによる精度低下のおそれがあり
す。ピンの推奨公差は、JIS 公差 6µm 以下です。
非通電時に動作させる場合、手動操作プレートにてフィンガを開閉するか、小爪を取外してワークを除去す
る。また、手動操作プレートには過大な力を掛けない。
破損、作動不良の原因になります。
ワークの脱着や搬送中にフィンガや小爪に過大な負荷が掛からないようにする。
フィンガのリニアガイド転動面に傷やへこみが発生し、作動不良になる場合があります。
本体取付面およびフィンガには、平面度、直角度を阻害するような打痕、傷を付けない。
本体固定および小爪固定用のねじ以外は、増締めや分解をしない。
作動不良になる場合があります。
ワークの質量に対して、把持力は十分に余裕を持った機種を選定する。
ワークの大きさに対して、開閉幅は十分に余裕を持った機種を選定する。
開閉やワーのバラつきにり、把持位置が不安定になる場合がありす。把持動作から開口時
は、バックラッシ分ストロークを大きくしてください。
SM-A14266/2 2. 取付け
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2.1 設置環境
製品の保存、使用にあたって、製品仕様にある環境温度、雰囲気を確認してください。
周囲温度が 040℃の場所で使用してください。熱がこもる場合は換気してください。
周囲湿度が 3580%の場所で使用してください。結露しない場所で使用してください。
日光が直接当たる場所、発熱体の近くは避け、粉塵、腐食性ガス、爆発性ガス、引火性ガス、可燃物が無い
場所に設置してください。本製品は耐薬品性に関して考慮されていません。
アクチュエータは平滑面に取付けてください。
平滑面でも打痕のある面などに取付けると、アクチュエータの動作不良や破損の原因になります。
コントローラは設定ソフト(S-Tools)で設定します。パソコンとの接続ケーブルのコネクタが脱着できるように、
コントローラの前方に 70mm 以上のスペースを設けてください。
2.2 開梱
運搬、取扱時は、落下などの衝撃を与えないように十分配慮してください。
重い製品は作業者単独では持ち運ばないでください。
静置するときは水平状態にしてください。
梱包の上には絶対に乗らないでください。
梱包が変形するような重い物、荷重の集中する品物を載せないでください。
アクチュエータを梱包から出すときは、アクチュエータ本体部を持ってください。
アクチュエータの各部に無理な力を加えないでください。
ご注文の製品形番と製品に表示されている形番が、同一であることを確認してください。
製品外部に損傷が無いことを確認してください。
2.2.1 製品構成
製品構成
数量
アクチュエータ
1
モータケーブル
1
エンコーダケーブ
1
SM-A14266/2 2. 取付け
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2.3 取付方法
2.3.1 本体
本体に強い衝撃を与えたり、過大なモーメントを掛けないでください。
破損、誤作動の原因になります。
本体取付面の平面度は 0.02mm 以下とし、製品にねじれ、曲げ力などを加えないでください。
作動不良、破損の原因になります。
本体は 2方向からの取付けが可能です。用途に合わせて選択してください。
本体を取付けるボルトのねじ込み深さ、締付トルクは下表を参照してください。
正面取付け
使用ボルト
締付トルク
(Nm)
最大ねじ込み
深さ
L(mm)
FLSH-16
M4×0.7
2.1
8
FLSH-20
M5×0.8
4.3
8
FLSH-25
M6×1.0
4.3
10
側面取付け
使用ボルト
締付トルク
(Nm)
最大ねじ込み
深さ
L(mm)
FLSH-16
M4×0.7
1.6
4.5
FLSH-20
M5×0.8
3.3
8
FLSH-25
M6×1.0
5.9
10
貫通穴使用
使用ボルト
締付トルク
(Nm)
FLSH-16
M3×0.5
0.88
FLSH-20
M4×0.7
2.1
FLSH-25
M5×0.8
4.3
許容負荷
詳細はカタログの機種選定のページを参照してください。
SM-A14266/2 2. 取付け
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2.3.2 フィンガ
フィンガへ小爪を取付ける際は、本体への影響を考慮して、フィンガがこじれないようにスパナなど
支えて締付けてください。
破損の原因になります。
フィンガへの小爪取付けの際は、フィンガに横荷重を掛けないように注意してください。
フィンガへの小爪取付け時、締付トルクは以下の値を守ってください。
項目
使用ボルト
締付トルク
(Nm)
FLSH-16
M3×0.5
0.59
FLSH-20
M4×0.7
1.4
FLSH-25
M5×0.8
2.8
フィンガに過大な横荷重や衝撃的な荷重が作用すると、ガタや破損の原因になります。フィンガに掛かる外
力はカタログ記載の許容負荷を超えない範囲で使用してください。
SM-A14266/2 3. 使用方法
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3. 使用方法
3.1 使用上の注意
危険
製品が作動できる状態で、作動範囲に立ち入らない。
製品が不意に動くなどして、けがをするおそれがあります。
濡れた手で作業しない。
感電の原因になります。
警告
製品に電気を供給する前に、装置の作動範囲の安全を確認する。
不用意に電気を供給すると、感電やけがの原因になります。
電源を ON にしてもコントローラの LED が点滅しない場合は、すぐに電源を OFF にする。
運転中、停止直後は、本体に手や体を触れない。
やけどのおそれがあります
製品の上に乗ったり、物を載せない。
転倒事故や製品の転倒、落下によるけが、製品の破損、損傷による誤作動、暴走などの原因になりま
す。
電源が故障した場合でも、人体、装置に損害を引起こさないように対策を施す。
思わぬ事故につながるおそれがあります。
アクチュエータが見えない位置から操作する場合は、操作前にアクチュエータが動作しても安全であること
を確認する。
繰返し位置決め精度より小さい指令を行わない。
正常な位置決め制御ができない場合があります。
停電時には、コントローラの電源を OFF にする。
電源復旧時に製品が突然動き出し、事故の原因になります。
製品の可動部を手で動かす場合はサーボ OFF していることを確認してから行う。
サーボ OFF る際は可動部の落下など、意図しない動作をする場合があります。サーボ OFF 切替時
は、危険がないように対策を講じた上で、安全に十分注意をして操作してください
製品には、カタログの機種選定のページに記載の許容値以上の負荷をかけない。
SM-A14266/2 3. 使用方法
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注意
外力によって製品の可動部を作動させたり、急減速を伴う作動をさせない。
回生電流による誤作動や破損のおそれがあります。
原点復帰や押付時以外は、ストローク端などにぶつけない。
衝撃により送りねじが破損し、作動不良の原因になります。
原点復帰動作時は製品に外力を作用させない。
原点を誤認識する可能性があります。
可動部に打痕、傷などをつけない。
作動不良の原因になります
可動部に衝撃が加わらないように使用する。
製品寿命は、搬送荷重、環境などによって変動するため、搬送荷重などは十分に余裕を持った設定にす
る。
振動を伴う動作をした場合、設定速度を変更して振動が起きない速度で使用する。
使用条件によって作動速度範囲内でも振動を伴う動作をする場合があります。
必要把持力は十分に余裕を持った設定にする。
1.5仕様”に記載されている把持力と電流制限値は目安です。モータトルクなどのばらつきにより、同じ
設定値でも誤差を生じる可能性があります。
重力、慣性力が加わった状態でサーボ OFF を行わない。
サーボ OFF たときに、ワークが落下する場合があります。サーOFF の操作は重力、慣性力が掛か
らない平衡状態で行うか、安全を確認したうえで行ってください。
加速中または減速中に停止指令を行わない。
速度変化(加速)を起こし、危険を伴う場合があります
製品の開口部に指や物を入れない。
製品の破損やけがの原因になります。
アクチュエータとコントローラの組合せを変更する場合、動作させる前に必ずプログラムやパラメータを確
認する。
思わぬ動作をし、事故につながるおそれがあります。
電源を頻繁に ON/OFF ない。
コントローラ内部の素子が破損するおそれあります。
負荷は仕様値を越えない範囲で使用する。
使用範囲外で使用されますとガイド部に加わる偏荷重が過大となり、ガイド部のガタの発生、精度の悪
化や寿命に悪影響を及ぼす原因となります。
非通電時に動作させる場合、手動操作プレートを使用する。
位置決め動作時は、バックラッシ量を考慮する。
位置決め動作時は、バックラッシによりフィンガ位置にずれが生じるため、バックラッシ量を考慮して位置
を設定してください。
押付動作にて把持を行う場合、目標位置は停止させたい位置より余裕を持った設定にする(バックラッシ量
も考慮する)
ワークを把持させる場合は必ず押付動作にて使用する。
位置決め動作および位置決め範囲で、フィンガおよび小爪をワークにぶつけないでください。送りねじ
かみ込み、作動不良の原因になります。
把持解除時の動作トルクは、押付動作トルクより大きくする。
解除トルクが小さいとかじりが発生し、解除できない場合があります。
移動や回転などによる慣性力が加わる場合は、鋼球が寄り、摺動抵抗の増加や精度低下を生じるためフ
ルストローク作動を行う。
本フィンガには有限軌道ガイドを使用しています。
SM-A14266/2 3. 使用方法
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