Renishaw RLU10 Data Sheets

タイプ
Data Sheets
L-9904-2362-05-B
ート
ショ RLE光フバーレーザーエーダは干渉計を使
高分解能の位置決ドバを行
RLEステムは、RLUレーザーユニ1台か2台のRLDディテ
ターヘッドで成されます RLUーザーユニトには、レーザ
ー光源信号処理用の電子回路が組み込まています
のレ
ーザーユニには、1 、あ 2本のレーザー出力を行
の光バーが組込まれておれにRLDディテクタ
ドに直接レーザーを送出すができますーヘ
ドは光学計測ムの核を成すもので、干渉計光学部品、レニ
ーの革新的な干渉縞検出機構ビーグ機構*が
込まれています
RLEズには、多様なアーシンの要件を満たせ
レーザーユニーヘご用意
べてのシステ構成部品は互換性があ併用が可能で
す。
のデシーでは、RLUレーザーユニについて解説
性能の詳細についのページをご覧ださい。 デジ
矩形波ーマグ矩形波フーマも、各軸に個
別の位置決めドバ信号を出力いま
*
レンル干渉計検出ヘドには、各組のビームに個別のビーム
ステアラが供されています
RLU10ーザーユ
信号の分解能ーマは、パネルのチの設
ディテクタ より決 まりま
はシステステスの出力や信号帯域幅検出方向
の認識やエーモニも設定すができ
RLU の位置決めフドバ信号は出力された信号を直
接使用RCU10 環境補正シ(空気の屈折率や物体
の熱膨張の影響を自動補正す装置)ーポレーーユニ
(超高分解能出力を得ため)由で接続使用す
す。
RLU10には、ーザーの定性を損ーザービーム
を遮断する為の信号入力ポーが提供さてい
166.5 (6.55)
74 (2.91)
145 (5.71)
125 (4.93)
325 (12.81)
350 (13.78)
ファイ
の引出口
固定穴
12 (0.47)
7 (0.28)
294 (11.57)
166.5 (6.55)
120 (4.72)
全外形寸法
寸法単位mm(イ
全体の寸法
さ: 74 (2.91)
さ: 350 (13.78)
幅: 166.5 (6.55)
表面が適度に平坦で、
振動がない限RLU
んな姿勢でも固定す
るこきます。
ブルバーの最低曲
げ半径は25 mm す。
固定方法
M6x1.0x15 mmまた
1/4-20-UNCx5/8 六角頭ネジ4
必要な
ランス
> 100 (3.94)
ニットのリア
パネルには、レーザーの
安全警告ベルが表示さ
れています
25 (0.98)
20 (0.79)
33.2 (1.31)
7.8
(0.31)
ー株式会社
160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
T (03) 5366 5317
F (03) 3358 5329
E japan@renishaw.com
www.renishaw.co.jp
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RLU10ーザーユニ
レーザー HeNe クラ II レーザーブかの最大レーザー出力 <1 mW
出力ビーム強度 < 300 µW (cw) プリヒーこれ600 µW
で増加すがあ
レーザービーム径 3 mm
NTP 波長 632.818270 nm (Axis 1)
温度 = 20 °C, 気圧 = 1013.25 mB, 相対湿度 = 50% 632.819719 nm (Axis 2)
真空波長確度 3年間で±0.1 ppm
レーザー周波数安定度 < ±10 ppb 1
< ±50 ppb 1時間
< ±50 ppb 8時間
径( 5 mm
ナログ出力信号周期 158 nm 平面鏡用干渉計
316 nm 反射鏡用干渉計
デジル矩形波公称出力分解能 102039.579158316 nm 平面鏡用干渉計
2039.579158316633 nm 反射鏡用干渉計
出力更新速度 0.31250.6251.252.551020 の更新速度かユーザーが選択可能
MHz
最大追従速度 1 m/sec 平面鏡用干渉計
(分解能に依存) 2 m/sec 反射鏡用干渉計
フォー デュRS422ンシルデジル矩形波
1Vpp sin/cos信号
電源容量 24 V ±2 V @ 2.5 A 流入時(最初の10 ms
24 V ±2 V @ 1.6 A 時( 10間)
24 V ±2 V @ 0.6 A 温( 20 °Cでの作動時
RLUの重量 2.8 kg
動作環境
気圧 650 - 1150バール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露な
温度 10 °C - 40 °C
RLU出力信号
アナログインクリメンタ - 1 Vppディファ
sincos信号
1 Vpp
2.5 V DC フ セット
ンスーク信
Cos
90°
135°
-45°
Sin
3.5 V
2.5 V
ジタインメンタ - RS422
ル矩形波
RLUのパツNo発注方法
RLUは通常、RLDディテクタ とと RLEバー式
エンコーダシステムとてマッチングを行った
します なアプケーシやスペア用RLU10 レー
ニットを売りしてす。
RLEムの構成パーツ番号の詳細についは、www.
renishaw.com ご覧いただか、レニシでお問い合わせ
ださい。
EU 指令 2011/65/EU (RoHS) 準拠
内容は予告無変更さる場合がます
各国レニシーの連絡先は、ンサ
www.renishaw.comをご覧く
Ref. mark signal
RS 422
digital
quadrature
B quad
A quad
Signal period
Resolution
A
B
Z
信号周期
分解能
RS422デジタ
矩形波
A
B
ファレ
ク信
A
B
Z
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