Renishaw RLU20 Data Sheets

タイプ
Data Sheets
L-9904-2366-04-B
ート
ショ RLE光フバーレーザーエーダは干渉計を使
高分解能の位置決ドバを行
RLEステムは、RLUレーザーユニ1台か2台のRLDディテ
ターヘッドで成されま RLUレーザーユトには、レー
ザー光源信号処理用の電子回路が組み込まれてい その
レーザーユには、1本、るいは2レーザー出力を行
為の光バーが組込まれておれにRLDディクタ
ドに直接レーザーを送出すができます ター
は光学計測システムの核を成すもので干渉計光学部品、
レニシーの革新的な干渉縞検出機構ビーグ機
*込まれています
RLEズには、多様なアケーンの要件を満たせ
レーザーユニーヘご用意
べてのシム構成部品は互換性が併用が可能です
のデーシーでは、周波数安定度を改善RLU20レーザ
ユニについて解説ます性能の詳細については次ページを
ご覧ださい。 デジル矩形波ーマグ矩形波
ーマも、各軸に個別の位置決めバッ信号を出力
ています
*
レンル干渉計検出ヘドには各組のビームに個別のビーム
ステアラがされています。
RLU20 ーザーユ
信号の分解能ーマは、パネルのスイチの設
ディテクタ よりまりま
はシステテースの出力や信号帯域幅、検出方向
の認識やエーモニグも設定すがで
RLUの位置決めフバッ信号は出力された信号を直
接使用RCU10 環境補正システ(空気の屈折率や、物体
の熱膨張の影響を自動補正す装置)かシズのイター
ーユニ超高分解能出力を得ため)経由で接続使
するこきます。
RLU20には、ーザーの安定性を損なレーザービーム
を遮断する為の信号入力ポーが提供さています
レーザー装置のパネ
ルには、レーザーの安全
警告についの表示ラ
付されています
全外形寸法
寸法単位mm(インチ
全体の寸法
さ: 74 (2.91)
さ: 350 (13.78)
幅: 166.5 (6.55)
表面が適度に平坦で、
振動がない限
RLUんな姿勢でも固定す
るこす。
ブルバーの最低曲
げ半径は25 mmです
固定方法
M6x1.0x15 mmまた
1/4-20-UNCx5/8 六角頭ネジ4
166.5 (6.55)
74 (2.91)
145 (5.71)
125 (4.93)
325 (12.81)
350 (13.78)
バの引
出口
固定穴
12 (0.47)
7 (0.28)
294 (11.57)
20 (0.79)
25 (0.98)
166.5 (6.55)
33.2 (1.31)
7.8
(0.31)
120 (4.72)
必要な
アランス
>100 (3.94)
レニシー株式会社
160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
T (03) 5366 5317
F (03) 3358 5329
E japan@renishaw.com
www.renishaw.co.jp
© 2001-2014 Renishaw plc. All rights reserved. 1114 Part No. L-9904-2366-04-B
RLU20ーザーユニ
イプ HeNe クラII レーザーブからの最大レーザー出力 <1 mW
出力ビーム強 < 300 µW (cw) / プリヒーこれ600 µW
で増加すがあ
レーザービーム径 3 mm
NTP波長 632.818270 nm (Axis 1)
温度= 20 °C、気 =1013.25 mB相対湿度=50% 632.819719 nm (Axis 2)
真空波長精度 3年間で±0.1 ppm
レーザー周波数安定度 < ±1 ppb 1
< ±2 ppb 1時間
< ±20 ppb 8時間
光フバ径(外皮) 5 mm
ナログ出力信号周期 158 nm 平面鏡用干渉計
316 nm 反射鏡用干渉計
デジル矩形波公称出力分解能 102039.579158316 nm 平面鏡用干渉計
2039.579158316633 nm 反射鏡用干渉計
出力更新速度 0.31250.6251.252.5510 の更新速度かユーザーが選択可能
20 MHz
最大追従速度 1 m/sec 平面鏡用干渉計
(分解能に依存) 2 m/sec 反射鏡用干渉計
出 力 ー マ ット ュア RS422レンルデジル矩形波
1V pp sin/cos信号
電源容量 24 V ±2 V @ 2.5 A 流入時(最初の10 ms
24 V ±2 V @ 1.6 A 時( 10間)
24 V ±2 V @ 0.6 A 温( 20 °Cでの作動時
RLUの重量 2.8 kg
動作環境
気圧 650-1150 バール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露な
温度 10 °C - 40 °C
RLU出力信号
アナログインメンタ - 1 Vppディファレシャ
sincos信号
1 Vpp
2.5 V DC ット
ンスーク信
Cos
90°
135°
-45°
Sin
3.5 V
2.5 V
内容は予告無変更される場合があます
各国レニーの連絡先は、ンサ
www.renishaw.comをご覧く
ジタインクメンタ - RS422
ル矩形波
RLUのパツNo発注方法
RLUは通常、RLDディテクタ とと RLE ファイ
式レエンコーダステムてマッチングを行った
ます なアケーシやスペア用と
て、RLU20 レーザーユニを別途販売てい
RLEムの構成パーツ番号の詳細については、
www.renishaw.comご覧いただか、レニシでお問い合
わせください。
EU 指令 2011/65/EU (RoHS) 準拠
Ref. mark signal
RS 422
digital
quadrature
B quad
A quad
Signal period
Resolution
A
B
Z
信号周期
分解能
RS422デジタ
矩形波
A
B
ファレ マ ー
ク信
A
B
Z
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