Renishaw RLD10 Data Sheets

タイプ
Data Sheets
L-9904-2367-06-A
ート
ショ RLEバーレーザーエコーダは干渉計を使
高分解能の位置決を行
RLEステムは、RLUレーザーユニ1台か2台のRLDディテ
ドで成されますRLUレーザーユニには、レーザ
ー光源信号処理用の電子回路が組み込まれていますその
ーザーユニには1本、いは2本のレーザー出力を
の光バーが組込まれておれにRLDディテクタ
ドに直レーザーを送出すができますターヘ
ドは光学計測ムの核を成すので干渉計光学部品、レニ
ーの革新的な干渉縞検出機構ビーグ機構が
み込まれています
RLEズには、多様なンの要件満たせ
レーザーユニーヘご用意
すべてのステム構成部品は互換性が併用が可能で
す。
のデータシーでは、1 つの固定された参照用含む 2
つの平面鏡の相対位置を測すRLD10-X3-DI ディファ
ル干渉計デーヘドについ説明ます れに
プロセス構成部品間の正確な位置決めを行い2のビーム間
に共通すーを排除すがで
RLD10 DI ル干渉計
ディテクタ
ャン使するアプリケーシィテ
を真空チンバーの外に取付けて最適な位置のビーポ
レーザービーを照射ます 真空チンバーの外か
レーザー調整を実行できの RLD ヘ
には参照おび計測ビーム用に個別のー調整機構が
み込まれています
光フイバと信ケーブターヘッから取りすこ
きる トアップより簡 行うこす。ディ
ーヘドには安全にご使用頂為のイーロが組み
込まれておイバまたはケーブルれているきに
は、レーザー光線が照射されないになます
全外形寸法
寸法単位mm
全体の寸法
さ: 51.5 (2.03)
さ: 110 (4.33)
幅: 50 (1.97)
固定方法
次ページを参照
30 (1.18) min
50 (1.97)
110 (4.33)
157 (6.19)
51.5 (2.03)
アー
アー
76 (2.99)
7 (0.28)
40 (1.57)
18.5 (0.73)
14 (0.55)
20 (0.79)
79.6 (3.13)
レーザー光線
Ø3 (0.12)
レーザー光の安全性の規格につ
IEC/EN60825-1IEC/EN60825-2
よび米国規格
21CFR1040
ANSI
Z136.1に基づき
Renishaw RLEレーザーは、スIIレーザーに分類れまばたきを保護す
できため、保護メガネの着用は必須ではあん。
ただレーザーームを直接見つめた
ビームがの目に入らないよださい。
散乱反射たビを見安全上問題
ません。 また、スIIの限界を超レーザー光浴びる可能性があるため、いかなる方法
も、置をしないでくさい。
ー株式会社
160-0004
東京都新宿区四谷4-29-8
T (03) 5366 5317
F (03) 3358 5329
E japan@renishaw.com
www.renishaw.co.jp
© 2001-2017 Renishaw plc. All rights reserved. 0617 Part No. L-9904-2367-06-A
RLD10-X3-DIディテクタ
スト 0 - 1 m 計測レーザー
0 - 0.5 m 参照レーザー(固定経路長
光学システムの信号周期 l/4 (158 nm)
アリティエ (SDE)* < ±1 nm 信号強度> 70%50 mm/sec以下の速度
*ンターフース発生分を除 < ±6 nm 信号強度> 50%1 m/secの速度
よるドリ < 50 nm/°C
ビーム径 3 mm
ビーム間距離 7 mm x 14 mm 前ページの図を参照
アライメント調 ±1° ピッチ 内蔵のビームステでビームの位置調整を簡素化
±1° ヨー
平面鏡の位置調整公差1 mの軸) ±25 arc
ケーブル長(標準) 3 m トとディクタ
ーブ 6.5 mm 15ピンDコネ一端を高密度15ピンDサブコネで終端
光フイバ径(外皮) 5 mm ディテクタ 取りクタ 12mm
コンネント重 400 g ブルなしの状態のRLD10-X3-DIッド
290 g 3 mケーブ
動作環境
気圧 650-1150 バール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露な
温度 15 °C - 30 °C
参照ビームのヨ調
参照ビームの
ピッチ調
計測ビームの
ピッチ調
計測ビームのヨ調
アライメン調
RLD10-X3-DI検出ヘドには4つの内蔵ビームが組み込
てお計測おび参照ビームに対ーの調整
行うとがきます。
取付方法
ーヘドは、付け面に配置れた3 ン(
ーヘドに付属)に直接取付けに設計れていま
の取付け方法に付け面間の膨張の差に対
応すができます ユーザーには、装置にピン用の3つのM4
のネジ穴を開けレーザー光線用に反射防止性の光学レー
を取付けていただ必要がます 他の取付け方
法についてはレニーにお問い合わせい。
ピン
(レニシで提供)
M3ネジ
(レニシで提供)
取り付
(チンバー壁)
RLD10-X3-DI ッド
RLDのパーNo発注方法
RLD10-X3-DIーヘドは通常適切なRLUーザーユ
ット に 、RLE光フイバ式レエンコーダステム
グを行た状態でお届けます RLEシステ
成の詳細についてはwww.renishaw.com ご覧いただ
ニシーまでお問い合わせださい。 RLD10-X3-DI特殊な
ケーや予備品が必要な場合には個別に別途ご利用い
ただけます下記にパーツNoをます
パーツ
No.
タイプ
RLD 10 - X 3 - D I
シリー
光学部品
ビーム径
ーブ*
*ブルはムの一部のみ付属されま
ブルをご用命の場合は、A-5225-0260 を注文
ださい。
内容は予告無変更さ場合があ
各国レニシーの連絡先は、ンサ
www.renishaw.comをご覧く
  • Page 1 1
  • Page 2 2

Renishaw RLD10 Data Sheets

タイプ
Data Sheets