L-9904-2367-06-A
デ ータシート
レ ニ ショー RLE光ファイバー式レーザーエンコーダは干渉計を使
用して、高分解能の位置決めフィードバックを行います。
RLEシステムは、RLUレーザーユニットと1台か2台のRLDディテ
クターヘッドで構成されます。RLUレーザーユニットには、レーザ
ー光源と信号処理用の電子回路が組み込まれています。そのレ
ーザーユニットには、1本、あるいは2本のレーザー出力を行う為
の光ファイバーが組込まれており、これによりRLDディテクター ヘ
ッドに直接レーザーを送出することができます。ディテクターヘッ
ドは光学計測システムの核を成すもので、干渉計光学部品、レニ
ショーの革新的な干渉縞検出機構とビームステアリング機構が
組み込まれています。
RLEシリーズには、多様なアプリケーションの要件を満たせるよ
う、様々なレーザーユニットとディテクターヘッドをご用意してい
ます。すべてのシステム構成部品は互換性があり併用が可能で
す。
このデータシートでは、1 つの固定された参照用ミラーを含む 2
つの平面鏡の相対位置を測する RLD10-X3-DI ディファレンシャ
ル干渉計ディテクターヘッドについて説明します。 これにより、主
要プロセス構成部品間の正確な位置決めを行い、2つのビーム間
に共通するエラーを排除することができます。
RLD10 DI (ディファレンシャル干渉計)
ディテクター ヘッド
真空チャンバーを使用するアプリケーションでは、ディテクターヘ
ッドを真空チャンバーの外に取り付けて、最適な位置のビューポ
ートからレーザービームを照射します。 真空チャンバーの外から
レーザーのアライメント調整を実行できるよう、この RLD ヘッド
には参照および計測ビーム用に個別のピッチとヨー調整機構が
組み込まれています。
光ファイバと信号ケーブルをディテクターヘッドから取り外すこと
ができるた め、セットアップをより簡単 に行うことができます。ディ
テクターヘッドには安全にご使用頂く為のインターロックが組み
込まれており、ファイバまたは電気ケーブルが外れているときに
は、レーザー光線が照射されないようになっています。
全外形と寸法
寸法単位mm(インチ)
全体の寸法:
高 さ: 51.5 (2.03)
長 さ: 110 (4.33)
幅: 50 (1.97)
固定方法:
次ページを参照
30 (1.18) min
50 (1.97)
110 (4.33)
157 (6.19)
51.5 (2.03)
参照アーム
計測アーム
76 (2.99)
7 (0.28)
40 (1.57)
18.5 (0.73)
14 (0.55)
20 (0.79)
79.6 (3.13)
レーザー光線
Ø3 (0.12)
レーザー光の安全性の規格について:
IEC/EN60825-1、IEC/EN60825-2
および米国規格
21CFR1040
と
ANSI
Z136.1に基づき、
Renishaw RLEレーザーは、クラスIIレーザーに分類されます。まばたきにより目を保護することが
できるため、保護メガネの着用は必須ではありません。
ただし、レーザービームを直接見つめた
り、ビームが人の目に入らないようにしてください。
散乱・反射したビームを見ても、安全上問題
ありません。 また、クラスIIの限界を超えるレーザー光を浴びる可能性があるため、いかなる方法
でも、装置を分解しないでください。