Brooks SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863 取扱説明書

Installation and Operation Manual

取扱説明書

Brooks® SLA5800 Series

Elastomer Sealed, Digital,

Thermal Mass Flow Meters and Controllers

Installation and Operation Manual

X-TMF-SLA5800-Series-RevB-MFC-jpn

Part Number: 541B187AAG/2020-11

Nov, 2020

www.brooksinstrument.com

Model SLA5850

with RS485 Communications

Model SLA5850

with Profibus Communications

Model SLA5850

with Profibus Communications

重要な取扱い説明

お取扱い前に必ずお読みください

Brooks Instrument は、世界各国の国内規格、および国際規格に準拠するように製品を設計、製造、検査して

おります。それらの製品は高い技術に支えられた精巧な製品ですので、それらを正しい仕様範囲で確実に使っ

ていただくために、ユーザの皆様には、正しく据え付け、使用し、メンテナンスして頂く必要があります。Brooks

本製品の据え付け、使用、メンテナンスにあたっては、以下の事項をユーザの皆様の社内安全プログラムに組

み入れてください。

・本製品の据え付け、操作、保守作業の前に、必ず全ての指示事項をお読みください。もしこの取扱説明書

が本製品と一致しない場合は、最後のページに記載されている各地の販売オフィスに連絡してください。

この取扱説明書は将来のご参考用として保管しておいてください。

・もしこの説明書の記載内容にご質問や不明な点等がある場合には、最寄りの弊社営業所にお尋ねください。

・本製品に表示または添付されている警告事項、注意事項等の全てに従ってください。

・本製品の正しい据付け、操作、メンテナンス方法を、本製品を扱う貴社従業員の方々に周知徹底してくだ

さい。

・本製品を据付ける際には、適正な扱説明書に記載された据付け注意事項や、関係する法規等に従ってくだ

さい。本製品は、適正な電気およびプロセス配管に接続してください。

・本製品の所定の性能を得るために、本製品の据付け、操作、更新、プログラミング、メンテナンス等は適

切な資格を持った方が行なってください。

・本製品の部品交換が必要な場合には、必ず弊社の指定した部品を使用し適切な資格を持った方が実施して

ください。指定部品以外の物の使用や定められた手順と異なる作業を行った場合は、本製品の性能に悪影

響を与えたり、貴社プロセスの安全操業に対するリスクとなります。類似品での代用は、火災・電気事故

の危険や誤操作を引き起こす可能性もあります。

・この取扱説明書は英文の原本を翻訳したものです。本書と原本との内容が異なる場合は原本の内容を優先

します。なお、原本の入手につきましては Brooks Instrument の WEB サイト

(http://www.brooksinstrument.com/)からダウンロードしていただくか、巻末のご相談窓口までご連絡くだ

さい。

感電や傷害事故を防ぐため、適切な資格を持った方がメンテナンスをする場合を除き、本製品の扉は全て閉

じ、保護カバーを所定の位置にしてください。

圧力機器指令(PED)

50kPa[G]より大きな内圧をうけ、25 ㎜以上のサイズの全ての圧力装置は圧力装置指令(PED）に該当します。

この指令はヨーロッパ経済圏（ＥＵとノルウェー、アイスランド、リヒテンシュタイン）内で適用されます。

こ

の PED への適合が確認された後は、自由にその圧力装置をこの圏内で取引することが出来ます。

・この取扱説明書の Section 1 には PED に関連した安全と使用方法についての重要事項が含まれています。

・この取扱説明書に記載の製品は EN 指令 97/23/EC module H Conformity Assessment に準拠しています。

・すべての Brooks 流量計は fluid group 1 に属しています。

・ 25 ㎜を超えるメータは PED カテゴリーⅠ、Ⅱ、Ⅲに準拠しています。

・ 25 ㎜以下のメータは、Sound Engineering Practice（SEP）に従っています。

静電気放電 (ESD)

注意

この機器は静電気による損傷を受けるおそれのある電子部品を含んでいます。従って、回路基板や装

置を取り外し、据付け等の取り扱いを行う場合は適正な取扱手順で実施しなければなりません。

取扱手順

1. 装置の電源を切る。

2. プリント回路カードや内部部品の組付け、取り外し、調整をする前に、手首バンドやほかの適切で安全な

方法で、作業者が接地されるようにしてください。

3. プリント回路カードの運搬は、導電コンテナの中に入れて行なってください。取り付け直前までカードは

保護ケースから取り出さないでください。取り外したカードは、輸送、保管または工場への返却のため、

すぐに保護コンテナに入れてください。

注記

この計器は ESD（静電気放電）に敏感な部品を使った特別なものということではありません。近年の多く

の電子機器は NMOS,SMOS 等を利用した部品を含んでいます。ほんのわずかな静電気がこれらの機器を損傷

させたり破壊したりすることが経験上確認されています。その時機能上問題ないように見えても、損傷した

部品は間もなくトラブルをひき起こすことにつながります。

お客様へ、

お客様の流量計測と制御のご要求に対して Brooks 製品を提供する機会を与えていただき、ありがとうござい

ます。毎日、流れに関わる世界中のお客様が、少流量のガスや液体計測のソリューションを求めて Brooks に目

を向けていただいております。Brooks は、生物薬剤からオイルとガス、燃料電池研究と化学、医療機器、分析

機器、半導体製造等に至る各種産業のため流量計測と制御の製品を提供しています。

あなたが今受け取った Brooks 製品は高品質のものであり、お客様に卓越した性能と信頼性および価値を提供

いたします。それはたえず変化するプロセス条件、精度要求、不都合なプロセス環境を念頭において、信頼され

るサービスを提供するよう設計されています。

私たちは、お客様がこの取扱説明書のすべてを読んで下さいますようお願いいたします。Brooks 製品とサー

ビスに関して、これ以上の情報が必要な場合は、この取扱説明書の最後のページに記載されているあなたの最寄

の Brooks の販売店やサービスオフィスに連絡していただくか、www. Brooksinstrument.com へのアクセスをお

願いいたします。

Brooks Instrument

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INTENTIONALLY

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1. 概要 .................................................................................................................................................................... 1

1-1 対象 ............................................................................................................................................................. 1

1-2 目的 ............................................................................................................................................................. 1

1-3 製品概要 ...................................................................................................................................................... 1

1-4 製品仕様 ...................................................................................................................................................... 2

2. 据え付け ........................................................................................................................................................... 18

2-1 一般 ........................................................................................................................................................... 18

2-2 製品の受入れ ............................................................................................................................................. 18

2-3 推奨する保管方法 ..................................................................................................................................... 18

2-4 製品の返却・発送 ..................................................................................................................................... 19

2-5 移送時の注意 ............................................................................................................................................. 19

2-6 保管場所からの移動 .................................................................................................................................. 19

2-7 配管接続 .................................................................................................................................................... 19

2-8 インラインフィルタ .................................................................................................................................. 19

2-9 取り付け（FIGURE2-1～2-4 参照） ........................................................................................................... 20

2-10 電気的インターフェース ....................................................................................................................... 23

2-11 動作チェック手順（アナログ I/O） ...................................................................................................... 27

2-12 動作チェック手順（デジタル I/O） ...................................................................................................... 28

2-13 BUS/NETWORK (DEVICENET, PROFIBUS, ETHERCAT, ETHERNET/IPTM, PROFINET) .............................. 28

3. オペレーション ................................................................................................................................................ 29

3-1 特徴 ........................................................................................................................................................... 29

3-2 アナログ I/O モードでの動作 ................................................................................................................... 30

3-3 通信の特徴 ................................................................................................................................................ 32

3-3-1 RS485 の特徴（アナログバージョンのみ） ..................................................................................................... 32

3-3-2 EtherNet/IP™ & PROFINET の特徴 .................................................................................................................. 32

3-3-3 DeviceNet の特徴 .............................................................................................................................................. 33

3-3-4 Profibus の特徴 ................................................................................................................................................. 33

3-3-5 EtherCAT の特徴 ............................................................................................................................................... 33

3-4 警報と警告（アナログバージョンのみ） ................................................................................................. 34

3-4-1 警報と警告（アナログバージョンのみ） ................................................................................................................ 34

3-4-2 診断警報（アナログバージョンのみ） ................................................................................................................... 35

3-4-3 各種警報と警告（アナログバージョンのみ） ......................................................................................................... 35

3-5 キャリブレーション／内部設定の“セット” .................................................................................................... 36

3-6 特殊な機能 ..................................................................................................................................................... 37

3-6-1 Setpoint Ramping（設定値のランピング） ............................................................................................................. 37

3-6-2 Low Setpoint Command Cutoff（低流量設定命令のカットオフ） ........................................................................... 37

3-6-3 Low Flow Output Cutoff（低流量出力のカットオフ） ............................................................................................. 37

3-6-4 Adaptive Control（アダプティブコントロール） ..................................................................................................... 37

3-6-5 Flow Totalizer（流量積算計） .................................................................................................................................. 37

3-7 PC ベースのサポートツール ......................................................................................................................... 37

目次 
 
 
4.  保守 .................................................................................................................................................................. 38 
4-1.  保守とトラブルシューティング ................................................................................................................. 38 
4-1-1.    アナログまたはデジタル製品のトラブルシューティング .................................................................................... 39 
4-1-2.    アナログまたはデジタル製品のトラブルシューティング .................................................................................... 40 
4-1-3.    クリーニング手順 ................................................................................................................................................. 43 
4-1-3.    キャリブレーション手順 ...................................................................................................................................... 43 
保証限度/連絡先  裏表紙 
図 
Page 
Figure 1-1  一般的な RS-485 配線 ...................................................................................................................... 9 
Figure 1-2  Brooks デジタルマスフローのレスポンスパフォーマンス .......................................................... 10 
Figure 1-3  リニアランプアップ・ダウン ........................................................................................................ 10 
Figure 1-4  SLA5800 シリーズ  RS485 15 ピン  アナログコネクタとピン接続 ........................................... 11 
Figure 1-5  SLA5800 シリーズ  Profibus コネクタとピン接続 ..................................................................... 12 
Figure 1-6  SLA5800 シリーズ  EtherNet/IP & PROFINET コネクタとピン接続 ......................................... 13 
Figure 1-7  SLA5800 シリーズ  DeviceNet  コネクタとピン接続 ................................................................. 14 
Figure 1-8  SLA5800 シリーズ  EtherCAT コネクタとピン接続 ................................................................... 15 
Figure 1-9  SLA5850/SLA5851/SLA5860/SLA5861  外形寸法 ....................................................................... 16 
Figure 1-10  SLA5853/ SLA5863  外形寸法 ................................................................................................... 17 
Figure 2-1  RS485 D コネクタ-シールドケーブル接続図 .............................................................................. 24 
Figure 2-2  推奨する電流信号 I/O 配線  -  絶縁されてない電源 ..................................................................... 25 
Figure 2-3  推奨する電流信号 I/O 配線  -  絶縁された電源 ............................................................................. 25 
Figure 2-4  RS485  マルチドロップ配線  マスフローと PC ......................................................................... 26 
Figure 3-2  マスフローメーター・コントローラーのゼロボタン .................................................................. 31 
Figure 4-1  ベンチトラブルシューティング構成 ............................................................................................ 42 
 
表 
Page 
Table 1-1  SLA5800 シリーズの仕様 ................................................................................................................ 3 
Table 1-2  SLA5800 シリーズ  バイオオプション仕様 ................................................................................... 3 
Table 1-3  SLA5800 シリーズ  エレクトロニクス仕様 ................................................................................... 5 
Table 1-4  SLA5800 シリーズ  認証 ................................................................................................................ 6 
Table 2-1  推奨フィルタサイズ ....................................................................................................................... 20 
Table 4-1  センサートラブルシューティング ................................................................................................. 41 
Table 4-2  トラブルシューティング ............................................................................................................... 44 
 

1. 概要

1

1. 概要

1-1 対象

Brooks の質量流量製品を購入していただきましてありがとうございます。

本書（X-TMF-SLA5800-MFC-jpn）はその製品の据え付けや使用のための取扱説明書です。

もし、DeviceNet 通信付きの Brooks のデジタルマスフロー製品を購入した場合には、本書とは別の DeviceNet

取扱説明書がその使用方法を説明する文書の一部として支給されます。

1-2 目的

この Brooks デジタル製品は、ガス流量の正確な計測（MFM）と俊敏な制御（MFC）のために設計された質量

流量計測器です。この取扱説明書は Brooks の MFC と MFM を据え付け、操作、保守に必要なすべての情報

をユーザに提供するためのものです。この説明書は次のように構成されています。

セクション１概要

セクション２据え付け

セクション章オペレーション

セクション４保守

セクション A CE 認証

裏面保証、現地セールス/サービス連絡情報

これらの Brooks デジタル製品の運転や修理をする前に、この説明書全部を読む事を推奨いたします。

1-3 製品概要

SLA5800 シリーズはシンプルなユニット構成に基づいた高いカスタマイズ性を実現しています。SLA シリーズ

の機能は他社製品を含めた既存ユニットの入替え・アップグレードを可能とするように設計されています。幅

広いオプションと機能を有しているため、SLA5800 シリーズはシンプルなプラットフォームから多岐にわたる

アプリケーションに対応が可能です。

Industrial Multi-gas / Multi-range Capabilities：マルチガス、マルチレンジ対応

SLA5800 シリーズはマルチガス、マルチレンジに対応し、ユーザーの在庫を削減が可能です。

最大 6 つまでのキャリブレーションデータの設定が可能で、1 台で複数のガス種・流量レンジでの使用が

可能です。

Wide Flow Range：ワイドフローレンジ

SLA5800 シリーズは極めて広い範囲の流量レンジに対応が可能です。SLA5850 シリーズの最低流量レン

ジは 3ccm です。ターンダウン比 100:1 比（N2 相当 1-50LPM 以上）50:1 の場合、ガスフローのコントロ

ール・測定精度は最低 0.06ccm です。

モデル SLA5853 は最大流量 2500lpm まで対応可能です。

Fast Respose Performance：ファストレスポンスパフォーマンス

SLA5800 シリーズのフルデジタルエレクトロニクスと卓越したハードウエアにより極めて高いレスポンス

パフォーマンスを実現しています。

Broad Array of Communication Options：多岐にわたる通信オプション

Brooks は従来の 0-5 V と 4-20mA でのコントロールを提供し、さらに RS485 デジタル通信(HART に基づ

く S-プロトコル)や、DeveceNet(最大ボーレート 500k)、Profibus も提供しています。

Brooks の通信機能やデジタルプロファイルは ODVA(Open DeviceNet Vendor's Association) and the

ITK(Interoperability Test Kit)の認証を得ています。そのほか Brooks では通信プロトコルに順次対応の予定

です。詳しくはお近くの Brooks にお問い合わせください。

1. 概要

2

Advanced Thermal Flow Measurement Sensor：最先端の熱式フロー測定センサー

Brooks のセンサー技術により、下記の可能になりました。

・高い SN パフォーマンスにより低設定流量での高精度制御が可能

・高いセンサー製造技術により、長期安定性を実現

・断熱パッケージにより環境温度変化の影響を除去

・耐腐食を考慮したセンサーパス

Advanced Diagnostics：最先端の診断

マスフローコントローラは依然ガス供給システムにおいてもっとも複雑かつ重要な役割を占めています。

毒性の高いまたは爆発性のあるガスを扱う場合において、以上の確認のためにマスフローコントローラ

を取り外すのは最終的な手段となります。Brooks のマスフローコントローラは自己診断機能と診断・サ

ービスのためのインターフェースを備えているため、ガス配管設備を保ったままでトラブルシューティ

ングが可能です。

警告

下記の仕様を超える範囲で製品を使用しないで下さい。この警告を無視した場合、製品が損傷するばか

りでなく、深刻な傷害を招く可能性があります。

警告

プロセス接続に ANSI/ISA SP-76 のダウンポートを使用する場合は、ベースブロック製造者が規

定している上限圧力を参照のこと。（ベースブロックの定格が 7MPa より低い場合があります。）

警告

全ての構成品の材質の選択と承認はユーザの責任において行なわれます。金属、強化材やエラスト

マに対して慎重に留意することは、安全操業にとって不可欠です。

1-4 製品仕様

警告

下記の仕様を超える範囲で製品を使用しないで下さい。この警告を無視した場合、製品が損傷するばか

りでなく、深刻な傷害を招く可能性があります。

警告

プロセス接続に ANSI/ISA SP-76 のダウンポートを使用する場合は、ベースブロック製造者が規

定している上限圧力を参照のこと。（ベースブロックの定格が 7MPa より低い場合があります。）

警告

全ての構成品の材質の選択と承認はユーザの責任において行なわれます。金属、強化材やエラスト

マに対して慎重に留意することは、安全操業にとって不可欠です。

1. 概要

3

Table 1-1 SLA5800 シリーズの仕様

1. 概要

4

Table 1-2 SLA5800 シリーズバイオオプション仕様

1. 概要

5

Table 1-3 SLA5800 シリーズエレクトロニクス仕様

1. 概要

6

Table 1-4 SLA5800 シリーズ認証

認証機関

認証

適合規格

型式検定合格番号

UL(Recogonized)

Class I, Div 2, Group A, B, C, D

Class I, Zone 2, IIC T4

Class II, Zone 22

UL & CSA

Standards

E73889 Vol 3, Sec 4

ATEX

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

EN60079-0:2012

EN 60079-15:2010

KEMA 04ATEX 1118X

IECEx

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IEC 60079-0:2011

IEC 60079-15:2010

IECEx DEK 14.0072X

KOSHA

Ex nA IIC T4

15-AV4BO-0641

15-AV4BO-0640

CE

EMC Directive 2014/30/EU

Directive 2011/65/EU

EN:61326-1:2013

EMC

RoHS

JP-Ex

※

Ex nA IIC T4 Gc

JNIOSH-TR-46-1 : 2015

JNIOSH-TR-46-8 : 2015

DEK20.0062X

※JP-Ex 特記事項

-型式検定合格番号：DEK20.0062X

-型式の名称：SLA5800 シリーズ

-防爆構造の種類：非点火防爆構造(nA)

-対象ガス又は蒸気の発火度、爆発等級及び機器保護レベル（ＥＰＬ）：IIC T4 Gc

-適合規格：JNIOSH-TR-46-1 : 2015 / JNIOSH-TR-46-8 : 2015

-定格：

電源電圧: +13.5～27VDC

周辺温度範囲: -14

o

C≦Ta≦50

o

C

-使用条件：

・IEC 60664-1 で定義される汚染度 2 以下の領域でのみ使用すること。

・IEC 60079-15 準拠 IP54 以上の保護等級を有する適切な筐体に設置すること。

・エンクロージャー：TechNed B-JB-R series

・ケーブルグラウンド：Saftec: SF series

・過渡電圧が定格電圧の 140％を超えないように対策を講じること。

1. 概要

7

1. 概要

8

基準状態

ガスの圧縮性に圧力と温度が影響を与えるため、体積流量単位を使用して質量流量を表示する際、特定の

基準状態を使用する必要があります。例えば、SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）という単

位はガスの体積流量をある基準状態で表わす時に使われ、それは実際の動作圧力と温度におけるガスの実体

積流量ではありません。キーポイントはガスの質量流量は一定であっても、基準状態での体積流量は計算に

使用されている基準状態によって違ってくるという事です。

また、様々な場面でガスの「基準状態」についてに定義が異なる場合があります。ガスの基準状態を表現

する STP（Standard Temperature and Pressure）という用語についても、“基準状態”と“標準状態”とが

混同して使われることがあります。つまり、標準または基準状態の温度と圧力は世界中の国によっても産業

によっても異なります。たとえば、半導体装置製造分野（SEMI）では 0℃（ 273.13Ｋ）と 1atm（101.325kPa）

を標準温度・圧力状態としています。この問題で最も重要なのは、ガスの質量流量を体積流量に換算するに

あたって、それをどんな言葉を使って表現するかではなく、基準圧力・温度条件が明確に定義されていなけ

ればならないということです。

バイオオプション・パッケージ

SLA58XX マスフローコントローラと流量計は、バイオテック産業とバイオリアクター/発酵槽向けに設計され

た多くの拡張機能を含む、パフォーマンスとプレミアムの 2 つのバイオテックオプションパッケージを提供い

たします。仕様を Table 1-2 に示します。4 つの利用可能なガスの間での変更方法は、本マニュアルのセクショ

ン 3 に記載されています。

1. 概要

9

PC ベースのサポートツール

Brooks Instrument はお客様のニーズに合うように、様々な PC ベースのプロセス制御とサービスツールを提

供しています。Smart DDE はマルチドロップ環境で使用される RS-485 搭載製品に使用され、ユーザがブルッ

クスの製品の制御とモニタを行なうために提供されます。BrooksExpert Service ToolTM(BEST)は、DeviceNet

通信仕様のブルックス製品のモニタ・診断・調整・キャリブレーションに使用されます。Brooks Service ToolTM

は専用サービスポートを経由して接続します。

Figure 1-1 一般的な RS-485 配線

高速応答性能

Figure1-2 のカーブはステップ命令に対する応答としてガスがプロセスチャンバに流れ込む時の、

ＭＦＣの出力信号と実際の流量が安定するまでの過程を表わしています。

Brooks 製品は、高速応答、リニアランプアップ／ダウン制御特性を含むアダプティブ PIO 制

御機能をもっています。

キャリブレーションの選択

Brooks Expert Service ToolTM(BEST)またはデジタル通信(詳細はお使いのデジタル通信仕様をご参照ください)

にて最大６つのキャリブレーションの中から選択することが可能です。アナログ制御の場合、ピン番号 11 番と

8 番に電圧シグナルを送信することにより変更が可能です。（ファームウエア 1.18 以上が必要です）

選択式のソフトスタート

ガスの注入を要するプロセスに対して、最初に過度のガス流量が供給されると不都合な影響

を受けることがあります。この突発的ガスの流入は、爆発や圧力衝撃によるプロセスへのダメ

ージを引き起こす可能性があります。これらの問題は、ソフトスタート機能により実質的に排

除することが出来ます。

従来からあるソフトスタートまたはリニアランプアップおよびランプダウン（図 1-3 参照）

は、工場にて選択するか、Brooks Expert Service SuiteTM により設定することができます。

リニアランプアップおよびランプダウンは、0.5％／s～200%／s の範囲で設定可能です。

Smart DDE モデル0260は、Brooks デジタルマス

フロー製品とWindowsベースのアプリケーションソ

フトウエア間で使い勝手が良くかつ強力なデータ

交換を提供します。

1. 概要

10

Figure 1-2 Brooks デジタルマスフローのレスポンスパフォーマンス

Figure 1-3 リニアランプアップ・ダウン

1. 概要

11

Note: Aux Input is used for Remote

Transducer Pressure Controllers only.

Figure 1-4 SLA5800 シリーズ RS485 15 ピンアナログコネクタとピン接続

RS-485 通信

Brooks デジタルシリーズは、RS-485 通信機能を搭載しています。Figure 1-4（アナログ I/O ピ

ン接続）をご参照ください。これによりプロセス制御のため MFC/MFM とパソコンとが通信

可能となります。

RS-485 の Brooks デジタルシリーズのボーレートの選択肢は 1200、2400、4800、9600、19200、

38400kbps で、Brooks Expert Service SuiteTM (BEST)により設定可能です。

RS-485 は本質的に、多点接続です。一つのコンピュータシステムに最大 32 個のデバイスを

接続することが出来ます。IBM-互換 PC は標準では RS-485 ポートを備えていません。従って、

一般的な PC を RS-485 ネットワークへ接続する場合は、RS-232/RS-485 変換コンバータまた

は RS-485 インターフェースボードが必要です。RS-485 バスデイジーチェーンネットワーク

は、Figure 1-1 のように接続された配線のことを意味します。

1. 概要

12

Note: Aux Input is used for Remote

Transducer Pressure Controllers only.

Figure 1-5 SLA5800 シリーズ Profibus コネクタとピン接続

Profibus

Brooks の SLA5800 シリーズは Profibus に対応しています。Profibus は Profibus・Profinet 協会(PI)によるフィ

ールドバスベースのオートメーションスタンダードです。Profibus はシングルバスケーブルを使用してコント

ローラーやコントロールシステムとリモートにあるフィールドデバイス(センサー、バルブ等)とリンクし、上層

システムとの一貫したデータ交換が可能です。9 ピン D-SUB コネクタが装備され、Profibus コネクタとメイン

基板は Profibus スタンダード EN50170 で規定されたガルバニック絶縁がなされています。メインの D サブ 15

ピンコネクタは電源の供給だけではなく、標準的なアナログ IO、バルブオーバーライド、バルブ開閉、ネット

ワークとは独立したアラームシグナルにも対応しています。

通信回路は 9600 から 12M までのボーレートの自動認識を行うため、ハードウエア上での設定変更の必要はあ

りません。デバイスのアドレス設定（ネットワーク上ではユニークである必要があります）は 2 つのロータリ

ースイッチで行います。アドレス番号は 0 から 126 の間の任意の番号を設定することが可能です。複雑なネッ

トワーク構成の設定が必要でないため、デバイスの交換が容易になります。Profibus-DP ボードにはゼロコマン

ドの押しボタンがあり、フローセンサーのバランス再調整が可能です。このコマンドはネットワークからも送

信可能で、Profibus-DP 通信オプションは下記のメッセージタイプをサポートしています。

再クリックなデータ交換（書き込み・読み込み）

インプット値の読み込み（例：ステータス、流量、温度、トータライザー）

アウトプット値の読み込み（例：コマンド、セットポイント）

一般的なコントロールコマンド（例：フェイルセーフ、同期）

コンフィギュレーションの確認（例：IO 構成の確認）

1. 概要

13

Figure 1-6 SLA5800 シリーズ EtherNet/IP & PROFINET コネクタとピン接続

EtherNet/IPTM & PROFINET

SLA5800 シリーズは、最新の EtherNet/IP 通信インターフェースを搭載しています。ブルックスが通信プラッ

トフォームを実装するメリットの詳細については、補足的な EtherNet/IP マニュアルを参照してください。

EtherNet/IP および PROFINET デバイスで使用可能な物理インターフェースを以下に示します。

- 電源およびアナログ l/O 用の 5 ピン M8 ネジ式オスコネクタ（pwr" で示されています。

- ln および Out ポートは、業界標準のピンアウト付き RJ-45 コネクタで、「1」と「2」のラベルが付けられて

います。

- DlAG "で示される RS485 診断ポートのための 2.5mm のメスジャック

組み込みブラウザインターフェース。

- ネットワークアドレスは 192.168.1.100(EtherNET & PROFINET)です。

- EtherNET/IP：ネットワーク構成は DHCP。

- PROFINET です。デフォルト名は "sla-mfc "です。

1. 概要

14

Figure 1-7 SLA5800 シリーズ DeviceNet コネクタとピン接続

DeviceNet 通信

ブルックス SLA デジタルシリーズにも DeviceNetTM 通信機能を搭載することができます。

DeviceNet は高速で簡単にシステムと接続可能なオープンデジタルプロトコルです。ブルックスインスツルメ

ントは、この一般的といえるネットワーク規格において使用できるいくつかの製品を有しており、また

ODVA(Open DeviceNet Vendors Association：DeviceNet 管理団体)のメンバーです。

DeviceNet は、RS485 規格と同様に、同一ネットワーク上に最大 64 デバイス接続可能なマルチドロップ接続

です。DeviceNet 製品の通信速度の選択肢は、125kbps, 250kbps,および 500kbps があり、デバイス上部の MAC

ID スイッチで選択することができます。DeviceNet 通信リンクでも、下記を含むブルックス SLA デジタルシ

リーズの「control andmonitor」動作のための機能の多くにアクセスすることが出来ます。

・正確な設定値調整および流量出力測定（測定単位選択を含む）

・PID 設定（コントローラのみ）

・バルブオーバーライド（コントローラのみ）

・キャリブレーション番号の選択

・ソフトスタート制御（コントローラのみ）

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Brooks SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863 取扱説明書

Brooks SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863 取扱説明書

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