Ｄ２－１８０３４１
取扱注意書
小形流量センサ
ラピフロー
Ⓡ
ＦＳＭ２
シリーズ
（ニードル弁一体型）
● 製品をお使いになる前に、この取
扱説明書を必ずお読みください。
● 特に安全に関する記述は、注意
深 くお読 みください。
● この取扱説明書は必要な時にすぐ
取り出して読めるように大切に保
管 しておいてください。
第２版
安全性を確保するための警告・注意事項
●表示の説明
●使用流体・環境について
●配管・取付について
●配線について
●使用・メンテナンス時
①各部の名称と機能
●本製品の流量は、２０℃ 1 気圧（１０１ｋＰａ）での体積流量に換算
した、質量流量で計測しています。
●計量法に適合しておりませんので、商取引にはご使用にならない
でください。
●適用流体以外の流体については、精度の保証はできませんので
使用しないでください。また、腐食性・可燃性のガス・酸素につい
てはご使用にならないでください。
●コンプレッサからの圧縮空気にはドレン（水・酸化オイル・異物等）
が含まれていますので、センサの一次側（上流）にフィルタ、エア
ードライアおよびオイルミストフィルタを取付けてご使用ください。
●本製品を吸着確認等でご使用の場合は、吸入側の上流に必ずエ
アフィルタを取り付け、異物・水分の吸入を防止してください。
●亜硫酸ガス等の腐食性ガス雰囲気では使用しないでください。
●周囲温度・流体温度は０～５０℃の範囲内でご使用ください。ま
た、急激な温度変化で結露が発生するような場所では使用しない
でください。
●最高使用圧力以上、使用流量範囲外での使用は故障の原因とな
りますので、仕様範囲内でご使用ください。
●本製品の保護構造はＩＰ４０相当です。水分、塩分、塵埃及び切り
粉がある場所、加圧、減圧環境下には設置しないでください。
取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じる
ことが想定され、かつ危険発生時の緊急性が高い限定的な場合。
取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じる
ことが想定される場合。
取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生
する危険な状態が生じることが想定される場合。
注意
!
警告
!
危険
!
●引火性の流体には、絶対に使用しないでください。
●爆発性ガス雰囲気では、絶対に使用しないでください。防爆構造
になっていませんので、爆発火災を引起こす可能性があります。
注意
!
警告
!
危険
!
●流体の流れ方向とボディに指示された方向をあわせてください。
●配管に取付る時は、接続ポートに過大なねじ込みトルクや荷重ト
ルクが加わらないようにしてください。
●配管の前には、配管内の異物・切粉等を除去してください。
●配管の際には、金属部にスパナ掛け等を行い樹脂部に力が加わ
らないようにしてください。
●配管の際には、シールテープや接着剤が入らないようにしてくだ
さい。
●金属ボディでＯＵＴ側開放で使用の場合でも、必ず継手を接続して
ください。ポートフィルタがはずれる恐れがあります。
●ワンタッチ継手をご使用の場合、チューブを確実に挿入し、チュー
ブを引いて抜けないことを確認してからご使用ください。
●製品にねじり、引張り、モーメント荷重がかからないようにしてくだ
さい。
●流量表示部は液晶を用いております。角度によって見えにくくなる
場合があります。
●本製品は上下左右どの方向にも取付ることができます。
●漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。製品
の仕様上ある程度の漏れを許容しています。
●ニードル弁の流路内の発塵はゼロではありませんので、発塵が
問題となる回路ではファイナルクリーンフィルタを合わせてご使用
下さい。
●パネル取付時は、必ず先に配管等を行ってから取付て下さい。
●ロックナットに緩みがないことを確認してください。ロックナットが
緩んでいると、アクチュエータの速度制御ができなくなります。
●ニードル弁は抜け止め機構付きですがニードルの回し過ぎは破
損の原因となります
注意
!
●電源電圧及び出力は、使用電圧・電流でご使用ください。使用電
圧以上の電圧を印加すると、誤作動、センサの破損および感電や
火災の原因となります。
また、出力の定格を超える負荷は、使用しないでください。出力
の破損や火災の原因となります。
危険
!
●配線は電源を切った状態で行なってください。
作業前・作業中は人体・工具装置に帯電した静電気を放電させ
て、作業を行なってください。可動部にはロボット用線材のように
耐屈曲性能のある線材を接続配線してください。
●本製品および配線は、強電線などのノイズ源から極力離して設置
してください。電源線に乗るサージは別に対策をとってください。
●負荷を短絡しないでください。破裂したり焼損したりする恐れがあ
ります。
●電源極性など誤配線しないでください。破裂したり焼損したりする
恐れがあります。
●金属ボディタイプでは電源の－または＋に接続された装置のＦ.Ｇ.
とボディを接続して使用してください。また、絶縁抵抗・耐圧試験は
行わないでください。破損したり焼損したりする恐れがあります。
●コネクタを接続後は、必ずコネクタカバーを取付けてください。
●直接ケーブルの引出し部およびコネクタ部にストレスがかからな
いようにしてください。
警告
!
●出力精度は、温度特性の他に通電による自己発熱の影響も受け
ます。ご使用時には、待機時間（通電後５分以上）もうけるようにし
てください。
●本製品は、通電直後は、自己診断のため約４秒は。流量検出スイ
ッチ動作を行いません。通電後約４秒は信号を無視する制御回
路・プログラムとしてください。
●本製品の故障が、重大な事故につながる用途では、必ずフェー
ル・セーフの機構を設けてください。
●漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。製品
の仕様上ある程度の漏れを許容しています。
●ニードル弁の流路内の発塵はゼロではありませんので、発塵が
問題となる回路ではファイナルクリーンフィルタを合わせてご使用
ください。
警告
!
●出力の設定値を変更する場合は、制御系装置が意図しない動作
をする可能性がありますので、装置を停止してから変更してくださ
い。
●故障の原因となりますので、分解・改造はしないでください。
●動作中に異常が発生場合は、すぐに電源を遮断し、使用を中止
し、販売店に連絡をしてください。
●汚れ等を取るために、溶剤・アルコール・洗浄剤などは使用しない
でください。樹脂を侵す恐れがあります。薄めた中性洗剤を堅く絞
ったウエスなどで拭き取ってください。
●流量範囲を超えた場合でも、アナログ出力されます。表示につい
ては、「Ｈｉ」または「Ｌｏ」表示となります。ただし、精度保証外となり
ます。
●表示部を押さないでください。故障の原因となります。
●ツマミの全閉、全開時はツマミを強く廻しすぎない様にして下さい
（0.05N・m 以下）。また、ニードル調整は、ロックナットを摘んで行
わないようにして下さい。ニードルのガジリや破損の原因となりま
す。
注意
!
ＭＯＤＥキー
・各種設定モードに入るときに設定します。
・流量表示に戻すときに使用します。
・ピークホールド動作を解除するときに使用します。
△（ＵＰ）キー
・流量表示時に、ＣＨ１のデータを
順次表示します。
・ピークホールド動作時に、最高値
の表示をします。
・モード選択時には、モードの決定
をします。
・各データの設定時には、数値等
のカウントアップに使用します。
▽（ＤＯＷＮ）キー
・流量表示時に、ＣＨ２のデータを順次表示します。
・ピークホールド動作時に、最低値の表示をします。
・各データの設定時には、数値等のカウントダウンに
使用します。
メイン表示部（緑色/赤色）
・流量表示、設定値を表示します。
・表示色を切り替えることができます。
サブ表示部（緑色/赤色）
・流れ方向・動作状態等を表示します。
・表示色を切り替えることができます。
流量単位表示（緑色）
・流量単位を表示します。
出力（OUT1）表示（緑色）
・ＣＨ１出力ＯＮ時点灯します。
・過電流検出時に点滅します。
出力（OUT2）表示（緑色）
・ＣＨ２出力ＯＮ時点灯します。
・過電流検出時に点滅します。
ツマミ
・流量を調整します。
ロックナット
・ツマミを固定するときに使用します。
－１－
②配管・取付
●流体の流れ方向とボディに指示された
方向をあわせてください。
●配管の前には、配管内の異物・切粉等を除去してください。
●配管に取りつける時は、接続ポートに過大なねじ込みトルクや荷重トルクが加
わらないようにしてください。また、配管の際には、金属部にスパナ掛け等を行
い樹脂部に力が加わらないようにしてください。
●配管の際には、シールテープや接着剤が入らないようにしてください。
●ワンタッチ継手をご使用の場合、チューブを確実に挿入し、チューブを引いて抜
けないことを確認してからご使用ください。
●本製品は上下左右どの方向にも取付ることができます。
取付の際は、0.5Ｎ・m の締付けトルクで固定してください。
＜縦取付（底面めねじ使用）＞ ＜横取付（貫通穴使用）＞
＜ブラケット取付＞ ＜パネルマウント＞
＜パネルマウント方法＞
③配線
●電源電圧及び出力は、使用電圧・電流でご使用ください。使用電圧以上の電圧
を印加すると、誤作動、センサの破損および感電や火災の原因となります。また、
出力の定格を超える負荷は、使用しないでください。出力の破損や火災の原因
となります。
●配線は電源を切った状態で行なってください。
作業前・作業中は人体・工具装置に帯電した静電気を放電させて、作業を行なっ
てください。可動部にはロボット用線材のように耐屈曲性能のある線材を接続配
線してください。
●本製品および配線は、強電線などのノイズ源から極力離して設置してください。
電源線に乗るサージは別に対策をとってください。
●負荷を短絡しないでください。破裂したり焼損したりする恐れがあります。
●電源極性など誤配線しないでください。破裂したり焼損したりする恐れがありま
す。
●金属ボディタイプでは電源の－または＋に接続された装置のＦ.Ｇ.とボディを接
続して使用してください。また、絶縁抵抗・耐圧試験は行わないでください。破損
したり焼損したりする恐れがあります。
●コネクタを接続後は、必ずコネクタカバーを取付けてください。また、直接ケーブ
ルの引出し部およびコネクタ部にストレスがかからないようにしてください。
●接続例
ＮＰＮ出力タイプ 形番：ＦＳＭ２－Ｎ□－□
＜ＣＨ２を SW 出力として使用する場合＞
＜ＣＨ２を外部入力として使用する場合＞
ＰＮＰ出力タイプ 形番：ＦＳＭ２－Ｐ□－□
＜ＣＨ２を SW 出力として使用する場合＞
＜ＣＨ２を外部入力として使用する場合＞
① ② ③
パネルベッセルをパネルの表
側からはめる。
パネルカット寸法は、外形寸法
図を参照下さい
パネルベッセル押さえをパネ
ルの裏側からはめ（パネルベ
ッセルの爪にかけ）、ネジで固
定する。
センサをパネルの裏側からは
める
④ ⑤
パネルホルダをパネル裏側か
らはめる。
パネルホルダをセンサがしっ
かり固定されるまで押し込み、
コネクタを接続する
注意：
・配管作業は、必ずパネルマ
ウントの作業前に行い、パ
ネルマウント部品に力を加
えないようにして下さい。
・パネルベッセル押さえを固定
するときは、0.06N.・m の締
め付けトルクで固定して下さ
い。
流れ方向
接続ねじ 締付けトルクＮ・ｍ
Rc1/8 3～5
Rc1/4 6～8
ブラケット単品形番：ＦＳＭ２-ＬＢ１
接続口径：ワンタッチφ4、6、8、10
Rc1/8、Rc1/4
負
荷
負
荷
負
荷
（茶）電源＋
（
灰
）
ア
ナ
ロ
グ
出力
（青）電源－
＋
－
（黒）CH1 SW 出力１
（白）CH2 SW 出力 2
2
3
4
5
1
負
荷
負
荷
（茶）電源＋
（灰）アナログ出力
（
青
）
電源
－
＋
－
（黒）CH1 SW 出力１
（白）CH2 外部入力
2
3
4
5
1
負
荷
負
荷
（白）CH2 外部入力
＋
－
2
3
4
5
1
（
茶
）
電源
＋
（黒）CH1 SW 出力１
（
灰
）
アナ
ロ
グ
出力
（
青
）
電源
－
No. ｹｰﾌﾞﾙ
色 名称
① 茶 電源＋（電圧出力：12～24V、電流出力：24V）
② 黒 CH1（スイッチ出力１：max50mA）
③ 白 CH2（スイッチ出力２：max50mA、または外部入力）
④灰
アナログ出力 電圧出力：1-5V 負荷インピーダンス 50kΩ以上
電流出力：4-20mA 負荷インピーダンス 300Ω以下
⑤ 青 電源－（GND）
※アナログ出力電圧出力タイプ R：約 1kΩ
電流出力タイプ R：約 100Ω
①②③ ④⑤
（ＦＳＭ２側）
パネルマウント取付キット単品形番
：ＦＳＭ２-ＫＨＳ－Ｎ
パネル
パネルベッセル パネルベッセル押さえ
ネジ
センサ
パネルホルダ
パネルベッセル
パネルベッセル押せ
ネジ
パネルホルダ
本体
－2－
負
荷
負
荷
負
荷
（茶）電源＋
（
灰
）
アナ
ロ
グ
出力
（黒）CH1 SW 出力１
（
白
）CH2 SW 出力 2
（
青
）
電源
－
＋
－
2
3
4
5
1
R※
R※
R※
R※
④機能説明
●機能および各種設定は、通常の流量表示時に行う場合と、設定モードに入って
から行う場合があります。設定モードも、使用頻度にあわせて、標準設定モード
と詳細設定モードに分かれます。
＜通常動作＞
項目 説明
瞬時流量表示 瞬時流量を表示します。
積算流量表示 積算流量表示に切り替えることが可能です。
スイッチ出力機能には、規定積算値以上でスイッチをＯＮ/ＯＦＦさせ
た
り、一定積算値毎にパルスを出力する積算パルス機能があります。
ピークホールド機能 ある期間内の、流量値の示した最大値と最小値を知ることができます。
設定値確認 ＣＨ１、ＣＨ２の設定値を確認できます。
キーロック機能 キー操作を無効にして、誤操作を防止することができます。
エラー表示機能 異常やエラーが発生したときに、エラーの状態を表示します。
＜標準設定＞
項目 説明
スイッチ出力機能 ２点のスイッチ出力を持ち、７つの動作パターンと動作の停止が設定可
能です。
強制出力機能 スイッチ出力を強制的にＯＮさせ、配線接続や入力装置の初期動作確
認に使用します。
ゼロアジャスト機能 ゼロ点のずれを補正します。
＜詳細設定＞
項目 説明
流量方向選択 双方向タイプのみ選択可能。流れ方向を設定します。
双方向、片側順方向、片側逆方向に設定可能です。
ＣＨ２動作選択 ＣＨ２の機能を選択します。
ＣＨ２をスイッチ出力として使用するか、外部入力（積算値リセット/オー
トリファレンス）として使用するか選択します。
オートリファレンス
機能
ＣＨ２をオートリファレンスと選択された場合に、スイッチ出力のしきい
値を、外部入力やボタン操作で取り込むことが可能です。ワークが変
わるなどして、スイッチのしきい値が変わるときに、自動的にしきい値
を変更することができます。
応答時間の設定 応答時間を設定します。
約 50msec から約 1.5sec まで、7 段階で変更できます。急激な流量変化
やふらつきによる、チャタリングや誤動作を防止します。
表示速度設定 デジタル表示の表示更新周期を 250msec から 1sec まで３段階に可変
できます。表示がちらつく場合、表示更新周期を長くすることにより、改
善することができます。
サブ画面設定 サブ表示部の表示方法を設定します。
流量方向、流量単位、ガス種表示に切り替えることができます。
表示色設定 表示色を設定します。
通常表示時、スイッチ出力ＯＮ時の表示色を設定できます。
ヒステリシス設定 スイッチ設定値の応差を設定します。
流量に脈動があり、しきい値付近でスイッチのチャタリングを起こす時
などに、ご使用ください。
流量単位設定 表示単位を標準状態か基準状態に選択できます。
標準状態（ＡＮＲ）：20℃、1 気圧の体積に換算した流量
基準状態（ＮＯＲ）：0℃、1 気圧の体積に換算した流量（参考値）
エコモード設定 エコモードの選択ができます。
約 1 分間ボタン操作しないと、エコモードに移行し表示のバックライトが
消灯します。消費電流を削減することが可能のです。
設定リセット 出荷時の状態へ戻ります。
⑤設定方法
⑤－１．通常動作
＜瞬時流量表示と積算表示の切り替え＞
＜ピークホールド機能＞
＜設定値確認方法＞
注）外部入力によるオートリファレンス機能使用時には、動作しません。
＜キーロック機能＞
キーロック方法
キーロック後にキーを押すと、”Loc”が表示されます。
キーロック解除方法
注）・工場出荷時は、キーロック解除状態になっております。必要に応じてキーロックを行ってく
ださい。なお、キーロック、キーロック解除状態は電源を切っても保持されます。
・キーロック中は、キーロック解除操作以外のすべての操作を受け付けません。
・キーロック中にキー操作をすると、”Loc”表示となります。
ｍＬ
/
ｍｉｎ
ｍＬ
/
ｍｉｎ
ｍＬ
流量表示の選択
瞬時流量表示 （単位 mL/min、L/min） 積算流量表示 （単位 mL、L）
＜瞬時流量表示＞
１回押す
１回押す（確定）
ｍＬ
＜積算流量表示＞
瞬時流量（積算流量）表示時に キーを１回押す
と、流量表示選択画面に入り、表示が点滅します。
または キーを押し表示を選択し、 キーを
１回押し表示を確定します。
積算値のクリア方法
＋ キーを２秒同時長押しすると、
積算値をクリアします。
２秒同時長押し
＜瞬時流量表示＞
ｍＬ
/
ｍｉｎ
ピークホールド画面
を押しながら を押す
ｍＬ
/
ｍｉｎ
ｍＬ
/
ｍｉｎ
ｍＬ
/
ｍｉｎ
押し続ける 押し続ける
＜ピーク値表示＞ ＜ボトム値表示＞
１回押す
ピークホールドリセット 瞬時流量表示へ
瞬時流量（積算流量）表示時に キーを押しな
がら キーを押すと、ピークホールド画面に入り
ます。
キーを押し続ける間ピーク値を表示します。
キーを押し続ける間ボトム値を表示します。
キーを押すと、ピークホールドを解除します。
ｍＬ
/
ｍｉｎ
＜瞬時流量表示（キーロック解除状態）＞
を押しながら を1秒長押し
ｍＬ
/
ｍｉｎ
＜瞬時流量表示（キーロック状態）＞
瞬時流量（積算流量）表示時に と キーを
押しながら、 キーを１秒長押しすると、「Ｌｏｃ」
と表示し、キーロック状態になります。
ｍＬ
/
ｍｉｎ
＜瞬時流量表示（キーロック状態）＞
ｍＬ
/
ｍｉｎ
＜瞬時流量表示（キーロック解除状態）＞
キーロック状態で、 と キーを押しな
が
ら、 キーを３秒長押しすると、「ｕｎＬ」と
表
示し、キーロック解除状態になります。
ｍＬ
/
ｍｉｎ
ＣＨ１データ表示
＜瞬時流量表示＞
押し続ける
瞬時流量表示へ
瞬時流量（積算流量）表示時に
キーを押し続けるとＣＨ１の設定値を表示します。
キーを押し続けるとＣＨ２の設定値を表示します。
離す
ＣＨ２データ表示
＜ＯＮ設定値＞
＜ＯＦＦ設定値＞ 動作波形表示
交互表示
ｍＬ
/
ｍｉｎ
１
ｍＬ
/
ｍｉｎ
１
ＣＨ１の設定がウインド動作①の場合 ＣＨ２の設定が外部入力積算リセットの場合
離す
押し続ける
を押しながら を3秒長押し
－3－
注）外部入力による積算リセットの設定方法は、オートリファレンスの設定で、積算リセット
を選択してください。
注）電源を切ると積算値はリセットされます。また、電源を切っても積算流量表示設定は保
持されます。
⑤－２．標準設定モード
＜標準設定モードへの入り方＞
＜スイッチ出力機能＞
用途に応じて、７種類のスイッチ動作から選ぶことができます。ＣＨ１、ＣＨ２にそ
れぞれ適応できます。
＜スイッチ出力設定方法＞
＜強制出力操作方法＞
＜ゼロアジャスト操作方法＞
動作パターン名称 説明 動作波形
ウインド動作①
（範囲内ＯＮ）
指定した範囲内で
スイッチ出力がＯＮ
します。
ウインド動作②
（範囲外ＯＮ）
指定した範囲外で
スイッチ出力がＯＮ
します。
ヒステリシス動作
①（流量小側ＯＮ）
ヒステリシス（応差）
を任意に設定して、
指定した流量以上
でスイッチ出力がＯ
ＦＦします。
ヒステリシス動作
②（流量大側ＯＮ）
ヒステリシス（応差）
を任意に設定して、
指定した流量以上
でスイッチ出力がＯ
Ｎします。
積算出力①
（積算流量以上ＯＮ）
設定した積算出力
値以上でスイッチ出
力がＯＮします。
積算出力②
（積算流量以上ＯＦＦ）
設定した積算出力
値以上でスイッチ
がＯＦＦします。
積算パルス出力 既定積算値毎に積
算パルスを出力し
ます。既定積算値
については仕様を
参照。
スイッチ動作ＯＦＦ スイッチ動作ＯＦＦ
状態です。
注）ウインド動作①、②の上限値、下限値には自動的にヒステリシス固定値（工場出荷時：1%FS）が設
定されます。ヒステリシス固定値は、詳細設定モードにて 1～8%FS まで変更可能です。
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
下限値 上限値
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
上限値
下限値
積算流量
ＯＮ
ＯＦＦ
積算設定値
積算流量
ＯＮ
ＯＦＦ
積算設定値
積算流量
ＯＮ
ＯＦＦ
既定積算値
40msec
ｍＬ
/
ｍｉｎ
＜瞬時流量表示＞
３秒長押し（表示値が点滅）
瞬時流量表示状態で、 キーを３秒長押しすると、
標準設定モードに入ります。 キーを押しモー
ド
を切り替え、 キーを押し確定します。
＜スイッチ出力設定＞
１回押し
＜強制出力機能＞
１回押し
＜ゼロアジャスト機能＞
１回押し
瞬時流量表示に戻る
スイッチ出力設定画面
１回押す（確定）
強制出力操作画面
１回押す（確定）
ゼロアジャスト操作画面
１回押す（確定）
強制出力操作画面
瞬時流量表示に戻る
１回押す
２
１
１
２
ｍＬ / ｍｉｎ
スイッチを強制的にＯＮします。
キーを押している間、ＣＨ１がＯＮし続けます。
キーを押している間、ＣＨ２がＯＮし続けます。（ＣＨ２
が
外部入力
に
選択時
は
、
ＣＨ２
は
動作
しま
せん
。）
ゼロアジャスト操作画面
瞬時流量表示に戻る
１回押す（確定）
１回押す
同時押し
（設定値取り込み）
取り込まれたオフセット値
ゼロ点のズレを補正します。（流量を確実にゼロにしてから、オフセット値を取り込んでください。）
と キーを同時押しで、設定値を取り込み、 キーで確定します。
注）±10％以上ずれている場合は、『Ｅ ０２』を表示し、オフセット値はクリアされます。
オフセット値は、演算処理値で表示するため、実際の流量値とは異なります。
スイッチ出力設定画面
＜スイッチ非設定＞ ＜ウインド動作①＞ ＜ウインド動作②＞
＜ヒステリシス動作①＞
＜ヒステリシス動作②＞
＜積算出力①＞
＜積算出力②＞
＜積算パルス出力＞
ＣＨ１動作モード選択
１回押す（動作モードの確定）
ＣＨ１ ＯＮ・ＯＦＦデータ設定 （ウインド動作①を選択した場合）
ｍＬ
/
ｍｉｎ
ｍＬ
/
ｍｉｎ
＜ＯＮ値設定＞ ＜ＯＦＦ値設定＞
カウントＵＰ
カウントＤＯＷＮ
１回押す
１回押す（ＣＨ１設定の確定）
ＣＨ２動作モード選択 （ＣＨ１と同様の操作で選択してください）
ＣＨ２ ＯＮ・ＯＦＦデータ設定 （ＣＨ２と同様の操作で設定してください）
１回押す（動作モードの確定）
１回押す（ＣＨ２設定の確定）
瞬時流量表示に戻る
ＣＨ１の動作モードを選択します。
または キーを押して設定したい動作モー
ドに切り換え、 キーを押して確定します。
スイッチのＯＮ/ＯＦＦデータを設定します。 キーでカウントＵＰ、
キーでカウントＤＯＷＮし、 キーで確定します。
下限値は上限値を超えて設定でできません。先に上限値の設定を行っ
て
くださ
い
。
また
、
流量方向
が
片方向
で
は
マ
イナス
設定
は
で
きま
せん
。
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
下限値 上限値
ヒステリシスは、固定値で別途設定
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
上限値
下限値
ヒステリシスは、固定値で別途設定
－4－
⑤－３．詳細設定モード
＜詳細設定モードへの入り方＞
＜オートリファレンス機能について＞
ＣＨ２をオートリファレンスと選択された場合に、スイッチ出力のしきい値を、外部
入力やボタン操作で取り込むことが可能です。ワークが変わるなどして、スイッチ
のしきい値が変わるときに、自動的にしきい値を変更することができます。入力値
は、外部入力（またはボタン）をＯＮにしたときの流量値を取り込みます。
オートリファレンス動作中は、ＣＨ２のスイッチ設定は無効となります。
入力
点数
動作パタ
ーン名称
説明 動作波形
入力値以上
ＯＮ
入力した値以上をＯＮしま
す。
しきい値：入力値
１点 入力値以上
ＯＦＦ
入力した値以上を OFF しま
す。
しきい値：入力値
２点の中心
値以上ＯＮ
入力した２点の中心値以上
をＯＮします。
しきい値：
（入力①＋入力②）／２
２点の中心
値以上 OFF
入力した２点の中心値以上
をＯＦＦします。
しきい値：
（入力①＋入力②）／２
２点の間
ＯＮ
入力した２点の間をＯＮしま
す。
しきい値①：入力値①
しきい値②：入力値②
２点
２点の間
OFF
入力した２点の間をＯＦＦし
ます。
しきい値①：入力値①
しきい値②：入力値②
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
入力値
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
入力値
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
入力値① 入力値②
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
入力値②
入力値①
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
入力値① 入力値②
流量
ＯＮ
ＯＦＦ
入力値① 入力値②
ｍＬ
/
ｍｉｎ
＜瞬時流量表示＞
８秒長押し（表示値が点滅→ＣＨ１表示中も押し続ける）
瞬時流量表示状態で、 キーを８秒長押しする（押
し続ける）と、詳細設定モードに入ります。
キーを押しモードを切り替え、 キーを押し確
定
します。
＜流量方向選択（双方向タイプのみ）＞
１回押し
＜オートリファレンス機能＞
瞬時流量表示に戻る
流れ方向は選択できません
オートリファレンス設定画面
１回押す（確定）
ｍＬ / ｍｉｎ
１回押し
＜応答時間設定＞
応答時間設定画面
１回押す（確定）
１回押し
＜表示速度設定＞
表示速度設定画面
１回押す（確定）
１回押し
＜サブ画面設定＞
サブ画面設定画面
１回押す（確定）
１回押し
＜表示色設定＞
表示色設定画面
１回押す（確定）
１回押し
＜ヒステリシス設定＞
ヒステリシス設定画面
１回押す（確定）
１回押し
＜流量単位設定＞
流量単位設定画面
１回押す（確定）
１回押し
＜エコモード設定＞
エコモード設定画面
１回押す（確定）
１回押し
＜設定リセット＞
設定リセット操作画面
１回押す（確定）
１回押し
＜機種表示＞
機種表示画面
１回押す（確定）
１回押し
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
現在の設定値を
示
します。
－5－
オートリファレンス設定方法
ボタンでの取り込み方法
・１点入力の場合： キーを２秒長押しで、その時の瞬時流量を取り込みます。
・２点入力の場合： キーを２秒長押しで、上限値としてその時の瞬時流量を取り込
みます。
キーを２秒長押しで、下限値としてその時の瞬時流量を取り
込みます。
・取り込み後、取り込んだ値を表示します。
外部入力での取り込み方法
・１点入力の場合：外部入力がＯＮ（40msec 保持）時に、その時の瞬時流量を取り込
みます。
・２点入力の場合：外部入力がＯＮ（40msec 保持）時に、その時の瞬時流量を取り込
みます。過去の２点の大小関係を比較して、上限値、下限値を自動判別します。
（
例）
・取り込み後、取り込んだ値を表示します。また、取り込み確認用として、ＣＨ１より
ON/OFF のパルスが出力されます。
・オートリファレンスの設定した値は、電源を切るとクリアさせます。再度設定をして
ください。
＜応答時間の設定方法について＞
＜表示速度の設定方法について＞
＜サブ画面の設定方法について＞
＜表示色の設定方法について＞
オートリファレンス設定画面
＜スイッチ出力＞ ＜積算リセット＞
＜オートリファレンス＞
瞬時流量表示に戻る
１回押し（確定）
CH2 スイッチ設定へ
１回押し（確定）
１回押し（確定）
ＣＨ２の機能設定
リファレンスの選択
（ボタン操作か外部入力かの選択）
＜ボタン操作＞ ＜外部入力＞
１回押し（確定）
入力点数の選択
＜１点入力＞ ＜２点入力＞
１回押し（確定） １回押し（確定）
動作波形の選択（１点入力） 動作波形の選択（２点入力）
＜入力値以上ＯＮ＞ ＜入力値以上ＯＦＦ＞ ＜２点の中心以上ＯＮ＞ ＜２点の中心以上ＯＦＦ＞
＜２点間ＯＮ＞
＜２点間ＯＦＦ＞
１回押し（確定）
瞬時流量表示に戻る
ｍＬ
/
ｍｉｎ
応答時間設定画面
応答時間の設定
…
記号 応答時間
ＳＰ １ 50msec
ＳＰ ２ 80msec
ＳＰ ３ 120msec
ＳＰ ４ 200msec
ＳＰ ５ 400msec
ＳＰ ６ 600msec
ＳＰ ７ 1500msec
注）応答時間は、目安の時間です。
実際の応答速度は、配管により
変化します。
瞬時流量表示に戻る
１回押し（確定）
表示速度設定画面
表示速度の設定
＜250msec＞ ＜500msec＞ ＜1000msec＞
瞬時流量表示に戻る
１回押し（確定）
サブ画面設定画面
＜流れ方向＞ ＜流量単位＞ ＜適応流体＞
サブ画面の設定
瞬時流量表示に戻る
１回押し（確定）
表示色設定画面
表示色の設定
瞬時流量表示に戻る
１回押し（確定）
ＣＨ２の動作（機能）を決定します。
または キーで選択し、 キーで決定
し
ます。
表示更新速度を設定します。
または キーで選択し、 キーで決定します。
応答時間を設定します。
または キーで選択し、 キーで決定します。
瞬時流量表示時のサブ画面に表示する内容を
設定します。
または キーで選択し、 キーで決定します。
表示色を設定します。
または キーで選択し、 キーで決定します。
＜常時：赤＞ ＜常時：緑＞
＜ＯＮ時：赤＞
（ＯＦＦ時：緑）
＜ＯＮ時：緑＞
（ＯＦＦ時：赤）
ｍＬ
/
ｍｉｎ
メイン画面はＣＨ１のスイッチの
状態を示します。
サブ画面はＣＨ２のスイッチの
状態を示します。
ＣＨ１、ＣＨ２のスイッチの状態により、メイン画面、サブ画
面
の表示色が切り替わります。
取り込み値（mL/min） 下限値（mL/min） 上限値（mL/min）
初期値 0 0
1回目 123 0 123
2回目 234 123 234
3回目 45 45 234
4回目 345 45 345
5回目 456 345 456
初期値は上下限ともにゼロです。
－6－
＜ヒステリシスの設定方法について＞
＜流量単位の設定方法について＞
＜エコモードの設定方法について＞
＜設定リセットについて＞
＜機種表示方法について＞
⑥トラブルシューティング
＜エラーコードについて＞
＜トラブルシューティング＞
エラーコード 原因 対策
ゼロアジャスト時に適応外
の流量でリセットされてい
ます。
流量を確実にゼロにしてからゼロ
アジャストを実施してください。
EEPROM の読込み、書込
みにエラーが発生していま
す。
電源を再投入してください。
正常に復帰しない場合は、最寄の
弊社営業所・代理店にご連絡くださ
い。
メモリの読込み、書込みに
エラーが発生しています。
電源を再投入してください。
正常に復帰しない場合は、最寄の
弊社営業所・代理店にご連絡くださ
い。
流量表示範囲の上限を超
えて流量が流れています。
瞬時流量値を流量レンジ内まで下
げてください。
センサの故障 電源を再投入してください。
正常に復帰しない場合は、最寄の
弊社営業所・代理店にご連絡くださ
い。
流量表示範囲の下限を超
えて流量が流れています。
瞬時流量値を流量レンジ内まで上
げてください。
センサの故障 電源を再投入してください。
正常に復帰しない場合は、最寄の
弊社営業所・代理店にご連絡くださ
い。
出力表示の点滅
（スイッチ出力が出力
しない）
スイッチ出力の荷電流保護
回路が作動しています。
負荷電流が定格を超えていないか
どうかをご確認の上、正しく接続
し、電源を再投入してください。
ヒステリシス設定画面
ヒステリシスの固定値設定
瞬時流量表示に戻る
１回押し（確定）
…
ヒステリシスの固定値を設定します。
ウインド動作とオートリファレンス時に適用されます。
または キーで選択し、 キーで決定します。
＜約１％ＦＳ＞ ＜約２％ＦＳ＞ ＜約８％ＦＳ＞
流量単位設定画面
流量単位の設定
瞬時流量表示に戻る
１回押し（確定）
流量単位を設定します。
または キーで選択し、 キーで決定します。
＜ＡＮＲ：20℃1 気圧換算＞ ＜ＮＯＲ：0℃1 気圧換算＞
注）ＮＯＲ（ノルマル）表示は、計算（参考）値です。
工場出荷時は、ＡＮＲで調整検査しています。
エコモード設定画面
エコモードの設定
１回押し（確定）
ｍＬ
/
ｍｉｎ
Ｌ
約１分後
エコモードの設定をします。
または キーで選択し、 キーで決定します。
エコモードＯＮ時は、ボタン操作を１分間行わないと、流量表示が消え、『Ｌ』のみ点灯します。
どれかボタンを押すと、瞬時流量表示が再点灯します。
＜エコモードＯＦＦ＞ ＜エコモードＯＮ＞
設定リセットの設定
瞬時流量表示に戻る
１回押し（実行）
設定リセット操作画面
＜設定リセットを行わない＞ ＜設定リセットを行う＞
設定リセットを行います。
または キーでＯＮを選択し、 キーで実行します。
機種表示・設定表示
瞬時流量表示に戻る
１回押し
ｍＬ
/
ｍｉｎ
機種表示・設定値表示を行います。
＜流量単位、流れ方向＞
＜ゼロアジャスト値＞
＜機種表示＞ ＜流量レンジ＞
＜適応流体＞
Ａｉ：エア、Ｎ２
Ａｒ：アルゴン
C2：炭酸ガス
＜スイッチ出力＞
Ｎ：ＮＰＮ出力
Ｐ：ＰＮＰ出力
機種表示画面
工場出荷時の初期値
項目 設定（値）
スイッチ出力 スイッチ出力 OFF
ゼロアジャスト値 ゼロ
積算流量値 ゼロ
流れ方向 片方向
オートリファレンス（ＣＨ２の設定） スイッチ出力
応答時間 SP1（50msec）
表示速度 250msec
サブ画面設定 流れ方向表示
表示色設定 ＯＮ時：赤（OFF 時：緑）
ヒステリシス設定 約 1%FS
流量単位 ＡＮＲ（20℃、1 気圧換算）
エコモード OFF
不具合現象 原因 対策
・断線 ・外部配線の再確認・修理
・電源が正しく接続されていない ・定格の電源を正しく接続する
・ノイズによる誤動作 ・FSM2 本体およびケーブルを
ノイズ源から離す
・出力回路の破損 ・FSM2 の交換
流量表示しない
（アナログ出力、スイ
ッチ出力が出ない）
・FSM2 の故障 ・FSM2 の交換
流量表示が 0 のまま
（アナログ出力が
1V、3V のまま）
・異物による目詰まり ・異物を取り除き、FSM2 の１
次側にフィルタを取り付ける
・漏れ ・配管をチェック
・センサーチップに異物が付着 ・FSM2 の交換
流量表示が 0 になら
ない
（アナログ出力が
1V、3V にならない） ・ノイズによる誤動作 ・FSM2 本体およびケーブルを
ノイズ源から離す
・センサーチップの破壊 ・FSM2 の交換
・センサーチップに異物が付着 ・FSM2 の交換
アナログ出力が規格
からはずれる ・ノイズによる誤動作 ・FSM2 本体およびケーブルを
ノイズ源から離す
・タンク等を設け脈動を軽減す
る
・応答時間を変更する
・表示更新速度を変更する
・流体の脈動
・ヒステリシスを大きくする
・電源電圧の異常
（電圧不足、能力不足）
・定格の電圧を供給する
・電源の容量を確保する
流量表示が安定しな
い
（アナログ出力が不
安定、スイッチがチ
ャタリングする。）
・ノイズによる誤動作 ・FSM2 本体およびケーブルを
ノイズ源から離す
電源 ON 時に異常な
表示のまま動かな
い。
・ボタンを押した状態で電源を入
れた。
・ボタンを押さずに電源を入れ
直す。
－7－
⑦仕様
ニードル弁一体型（樹脂ボディタイプ）仕様
形 番
項 目
ニードル弁一体型（樹脂ボディ）
ＦＳＭ２－[※１][※２][※３][※４]－[※５]Ｎ－[※６]
フルスケール流量 ００５ ０１０ ０２０ ０５０ １００ ２００ ５００ １０１ ２０１
００５ 500mL/min ●
０１０ 1L/min ●
０２０ 2L/min ●
０５０ 5L/min ●
１００ 10L/min ●
２００ 20 L/min ●
５００ 50 L/min ●
１０１ 100 L/min ●
流量レンジ
注1
※
４
２０１ 200 L/min ●
Ｈ０４ φ4 ﾜﾝﾀｯﾁ/樹脂 ● ● ● ● ● ●
Ｈ０６ φ6 ﾜﾝﾀｯﾁ/樹脂 ● ● ● ● ● ● ●
Ｈ０８ φ8 ﾜﾝﾀｯﾁ/樹脂 ● ● ●
接続口径／
ボディ材質
※
５
Ｈ１０ φ10 ﾜﾝﾀｯﾁ/樹脂 ● ● ●
表示の種類 ４桁＋４桁 ２色 LCD
表示
範囲 ※3 Ｆ
0～
500
mL/min
0～
1000
mL/min
0～
2.00
L/min
0～
5.00
L/min
0～
10.00
L/min
0～
20.0
L/min
0～
50.0
L/min
0～
100.0
L/min
0～
200
L/min
流量表示
注１、２
表示分解能 1mL/min 0.01L/min 0.1L/min 1L/min
表示範囲 9999999mL 99999.99L 999999.9L 9999999L
表示分解能 1mL 0.01L 0.1L 1L
積算機能
注３、７ 積算ﾊﾟﾙｽ出力ﾚｰﾄ 5mL 10mL 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 0.5L 1L 2L
適用流体 注 2 清浄空気（JIS B 8392-1.1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1.1.1～1.6.2）、Ｎ２ガス
最高使用圧力 0.7MPa
最低使用圧力 -0.09MPa
保証耐圧力 1MPa
使用周囲温度・湿度 0～50℃， 90%RH 以下
使用流体温度 0～50℃ （結露なきこと）
精度保証範囲 3～100%F.S.
直線性（表示・アナログ出力） ±3%F.S.以下 （大気開放、25℃）
圧力特性 ±5%F.S.以下 （-0.09～0.7MPa、25℃、ただし大気開放基準）
温度特性 ±0.2%F.S.／℃以下 （15～35℃、ただし 25℃基準）
再現性（くり返し精度） ±1%F.S.以下
応答性 注５ 50ms 以下
Ｎ 出力２点（ＮＰＮオープンレクタ出力、50mA 以下、電圧降下 2.4V 以下）
スイッチ出力 ※１ Ｐ 出力２点（ＰＮＰオープンレクタ出力、50mA 以下、電圧降下 2.4V 以下）
Ｖ 1～5Ｖ電圧出力１点 （接続負荷インピーダンス 50kΩ以上）
出
力 アナログ出力 ※２ Ａ 4～20mA 電流出力１点 （接続負荷インピーダンス 0～300Ω）
Ｖ DC12～ 24V （10.8～26.4V）
電源電圧 ※２ Ａ DC24V（21.6～26.4V）
消費電流 注８ 50mA 以下（DC24V 時、負荷未接続）
リード線 Φ3.7 AWG26 相当×５芯（コネクタ接続）、絶縁体外径Φ1.0
保有機能 流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力
取付方向 縦・横自在 取
付 導入直管部 不要
保護構造 ＩＥＣ規格 IP40 相当
保護回路 注９ 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
ＥＭＣ指令 適合品
Ｈ０４ 約８０g
Ｈ０６ 約８０g
Ｈ０８ 約１１０g
質量
（本体のみ） ※５
Ｈ１０ 約１１５g
Ｐ７０ 発塵防止 注１０
クリーン仕様 ※６ Ｐ８０ 禁油処理 注１１
注１：20℃ 1 気圧（101kPa）での体積流量に換算。
注２：流量表示は約±1%F.S.以内において足切り（強制ゼロ）をしております。精度保証範囲とは異なりますのでご注意ください。
注３：積算流量は計算（参考）値です。
注４：圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1:2003 等級 1.1.1～1.6.2 の清浄空をご使用下さい。コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン (水、酸化オイル、異物等) が含まれています。本製
品の機能を維持するために、本製品の一次側 (上流) にフィルタ（濾過度：5μm）、エアードライヤ（最低圧力露点 10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度 0.1mg/m3）を取付けて使
用ください。圧縮空気以外をご使用の場合は、塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用下さい。
注５：応答時間は、設定にて 50ms 以下～約 1.5 秒まで７段階の設定ができます。
注６：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
注７：積算流量は電源を切るとリセットされます。
注８：DC２４V 接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注９：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注１０：＜Ｐ７０＞発塵防止（包装前に製品表面を脱脂洗浄。クリーンベンチ（クラス 1000 以上）内にて帯電防止袋へヒートシール包装。）
注１１：＜Ｐ８０＞禁油処理（P70 仕様に加えて、接ガス部の脱脂洗浄を実施。接ガス部材については内部構造図参照。）
－8－
ニードル弁一体型（ステンレスボディタイプ）仕様
形 番
項 目
ニードル弁一体型（ステンレスボディ）
ＦＳＭ２－[※１][※２][※３][※４] - [※５] [※６] Ｎ－[※７]
フルスケール流量 ００５ ０１０ ０２０ ０５０ １００ ２００ ５００ １０１ ２０１
００５ 500mL/min ●
０１０ 1L/min ●
０２０ 2L/min ●
０５０ 5L/min ●
１００ 10L/min ●
２００ 20 L/min ●
５００ 50 L/min ●
１０１ 100 L/min ●
流量レンジ
注１
※
４
２０１ 200 L/min ●
Ｓ０６ Rc1/8 ステンレス ● ● ● ● ● ●
●
ｴｱ・ｱﾙｺﾞ
ﾝのみ
接続口径／
ボディ材質
※
５
Ｓ０８ Rc1/4 ステンレス
● ●
●
ｴｱ・ｱﾙｺﾞﾝ
のみ
表示の種類 ４桁＋４桁 ２色 LCD
表示
範囲 ※３ Ｆ
0～
500
mL/min
0～
1000
mL/min
0～
2.00
L/min
0～
5.00
L/mi
0～
10.00
L/min
0～
20.0
L/min
0～
50.0
L/min
0～
100.0
L/min
0～
200
L/min
流量表示
注１，２
表示分解能 1mL/min 0.01L/m in 0.1L/min 1L/m in
表示範 囲 9999999mL 99999.99L 999999.9L 9999999L
表示分解能 1mL 0.01L 0.1L 1L
積算機能
注３，７
積算ﾊﾟﾙｽ出力ﾚｰﾄ 5mL 10mL 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 0.5L 1L 2L
無記号 清 浄空気（JIS B 8392-1.1.1～ 5.6.2）、圧縮空気 （JIS B 8392-1.1.1～ 1.6.2）、Ｎ２ガス
ＡＲ アルゴン
適用流体
注４ ※６
Ｃ２ 炭酸ガス
最高使用圧力 1.0MPa
最低使用圧力 -0.09MPa
保証耐圧力 1.5MPa
使用周囲温度・湿度 0～50℃， 90%RH 以下
使用流体温度 0～50℃ （結露なきこと）
精度保証範囲 3～100%F.S.
直線性（表示・アナログ出力） ±3%F.S.以下 （大気開放、25℃）
圧力特性 ±5%F.S.以下 （-0.09～0.7MPa、25℃、ただし大気開放基準）
温度特性 ±0.2%F.S.／℃以下 （15～35℃、ただし 25℃基準）
再現性（くり返し精度） ±1%F.S.以下
応答性 注５ 50ms以下
Ｎ 出力２点 （ＮＰＮオープンレクタ出 力 、50mA 以 下 、電 圧降下 2.4V 以下 ）
スイッチ出力 ※１ Ｐ 出力２点（ＰＮＰオープンレクタ出力、50mA 以下、電圧降下 2.4V 以下）
Ｖ １～５Ｖ電圧出力１点 （接続負荷インピーダンス 50kΩ以上）
出
力 アナログ出力 ※２ Ａ 4～20mA 電流出力１点 （接続負荷インピーダンス０～300Ω）
Ｖ DC12～24V （10.8～ 26.4V）
電源電圧 ※２ Ａ DC24V（21.6～26.4V）
消費電流 注８ 50mA 以下（DC24V 時 、負荷 未接続）
リード線 Φ3.7 AWG26 相当×５芯（コネクタ接続）、絶縁体外径Φ1.0
保有機能 流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力
取付方向 縦・横自在 取
付 導入直管部 不要
保護構造 ＩＥＣ規格 IP40 相当
保護回路 注９ 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
ＥＭＣ指令 適合品
Ｓ０６ 約１６０g 質量
（本体のみ） ※５ Ｓ０８ 約２００g
Ｐ７０ 発塵防止 注１０
クリーン仕様 ※７ Ｐ８０ 禁油処理 注１１
注１：20℃ 1 気圧（101kPa）での体積流量に換算。
注２：流量表示は約±1%F.S.以内において足切り（強制ゼロ）をしております。精度保証範囲とは異なりますのでご注意ください。
注３：積算流量は計算（参考）値です。
注４：圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1:2003 等級 1.1.1～1.6.2 の清浄空をご使用下さい。コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン (水、酸化オイル、異物等) が含まれています。本製
品の機能を維持するために、本製品の一次側 (上流) にフィルタ（濾過度：5μm）、エアードライヤ（最低圧力露点 10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度 0.1mg/m3）を取付けて使
用ください。圧縮空気以外をご使用の場合は、塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用下さい。
注５：応答時間は、設定にて 50ms 以下～約 1.5 秒まで７段階の設定ができます。
注６：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。
注７：積算流量は電源を切るとリセットされます。
注８：DC２４V 接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
注９：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注１０：＜Ｐ７０＞発塵防止（包装前に製品表面を脱脂洗浄。クリーンベンチ（クラス 1000 以上）内にて帯電防止袋へヒートシール包装。）
注１１：＜Ｐ８０＞禁油処理（P70 仕様に加えて、接ガス部の脱脂洗浄を実施。接ガス部材については内部構造図参照。）
－9－
⑧外形寸法図
ニードル弁一体型 接続口径：φ4、φ6 ワンタッチ
●FSM2-N/P□-H04/H06□N
ニードル弁一体型 接続口径：φ8、φ10 ワンタッチ
●FSM2-N/P□-H08/H10□N
ニードル弁一体型 接続口径：Rc1/8
●FSM2-N/P□-S06□N
ニードル弁一体型 接続口径：Rc1/4
●FSM2-N/P□-S08□N
外形寸法図 ブラケットオプション
単品形番：FSM2-LB1
パネルマウント取り付け寸法
パネルカット寸法 （取り付け可能パネル厚さ：6mm 以下）
＜単品取り付けの場合＞ ＜密着取り付けの場合＞
ｎ：密着取り付け数
形番 継手 （Ａ）寸法
FSM2-□-Ｈ04□Ｎ ワンタッチφ４ 89
FSM2-□-H06□N ワンタッチφ６ 90
形番 継手 （Ａ）寸法
FSM2-□-H08□N ワンタッチφ８ 101.6
FSM2-□-H10□N ワンタッチφ１０ 113.1
Ａ寸法
Ｂ寸法
形番 Ａ寸法 Ｂ寸法
FSM2-□-H04/H06/S06□N 28.5 40.5
FSM2-□-H08/H10/S08□N 30.0 46.5
74.5±0.5 74.5±0.5
22.5±0.5
22.5＋28（n-1）±0.5
－10－
⑨形番体系
ＦＳＭ２ －Ｎ Ｖ Ｆ ００５ － Ｓ０６ ＡＲ １ Ｂ Ｋ Ｎ－Ｐ７０
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪
①出力タイプ ②アナログ出力形式 ③流れ方向 ④流量レンジ（フルスケール流量）
Ｎ 表示一体型(ｽｲｯﾁ出力(NPN)２点, Ｖ 電圧出力(1-5V) Ｆ 片方向 ００５ ５００ ｍＬ/min
ｱﾅﾛｸﾞ出力１点) Ａ 電流出力(4-20mA) ０１０ １ Ｌ/min
Ｐ 表示一体型(ｽｲｯﾁ出力(PNＰ)２点, ０２０ ２ Ｌ/min
ｱﾅﾛｸﾞ出力１点) ０５０ ５ Ｌ/min
１００ １０ Ｌ/min
２００ ２０ Ｌ/min
５００ ５０ Ｌ/min
１０１ １００ Ｌ/min
２０１ ２００ Ｌ/min
⑤接続口径（ボディ材質） ⑥適用流体 ⑦ケーブル ⑧ブラケット ⑨トレーサビリティ
Ｈ０４ ﾜﾝﾀｯﾁφ４(樹脂) 無記号 空気、窒素ｶﾞｽ 無記号 なし 無記号 なし 無記号 なし
Ｈ０６ ﾜﾝﾀｯﾁφ６(樹脂) AR アルゴン １ １ｍ Ｂ ﾌﾞﾗｹｯﾄ付 Ｔ ﾄﾚｰｻﾋﾞﾘﾃｨ証明書
Ｈ０８ ﾜﾝﾀｯﾁφ８(樹脂) C2 炭酸ガス ３ ３ｍ Ｐ パネル取付け 体系図、検査成績書付
Ｈ１０ ﾜﾝﾀｯﾁφ１０(樹脂) Ｋ 検査成績書付
Ｓ０６ Ｒｃ１／８（ｽﾃﾝﾚｽ）
Ｓ０８ Ｒｃ１／４（ｽﾃﾝﾚｽ）
⑩ニードル弁付 ⑪クリーン仕様
無記号 なし 無記号 なし
Ｎ ニードル弁付 Ｐ７０ 発塵防止
Ｐ８０ 禁油処理
●流量レンジと接続口径（ボディ材質）組合せ
⑤接続口径（ボディ材質）
Ｈ０４ Ｈ０６ Ｈ０８ Ｈ１０ Ｓ０６ Ｓ０８
００５ ● ● ●○△
０１０ ● ● ●○△
０２０ ● ● ●○△
０５０ ● ● ●○△
１００ ● ● ●○△
２００ ● ● ●○△
５００ ● ● ●○ ●○△
１０１ ● ● ●○△
④
流
量
レ
ン
ジ
２０１ ● ● ●
オプション単品形番
ＦＳＭ２ － ＬＢ１ － Ｐ７０
⑫ ⑬
⑫オプション ⑬クリーン仕様
ＬＢ１ ﾌﾞﾗｹｯﾄ(φ4,φ6,φ8,φ10,Rc1/8,Rc1/4 用) 無記号
ＫＨＳ－Ｎ パネル取り付けキット一式（ニードル一体型） Ｐ７０ 発塵防止
Ｃ５１ ５芯ケーブル １ｍ
Ｃ５３ ５芯ケーブル ３ｍ
ＣＫＤ株式会社
〒４８５－８５５１ 愛知県小牧市応時２－２５０
http://www.ckd.co.jp
この内容は予告なしに変更する場合があります。あらかじめご了承ください。 作成:2008. 6. 9
修正:2009. 6. 8
※ニードル弁のボディ材質はセンサ部の
ボディ材質と共通となります。
ガス種
●：空気、窒素ガス
○：アルゴンガス
△：炭酸ガス
■：製作不可
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