F2
F2F2
F2-
--
-463100
463100463100
463100
取扱注意書
取扱注意書取扱注意書
取扱注意書
ラピフロー
ラピフローラピフロー
ラピフロー（
（（
（微少流量
微少流量微少流量
微少流量タイプ
タイプタイプ
タイプ）
））
）
ＦＳＭ－Ｈ－Ｎ／Ｐ
ＦＳＭ－Ｈ－Ｎ／ＰＦＳＭ－Ｈ－Ｎ／Ｐ
ＦＳＭ－Ｈ－Ｎ／Ｐシリーズ
シリーズシリーズ
シリーズ
本製品をご使用に当たって、下記の注意事項に十分留意しご使用ください。
ご使用の方法を誤りますと、機能を損ない事故を招く恐れがあります。
この取扱注意書は必要な時にすぐ取り出して読めるように大切に保管してください。
さらに詳細については製品カタログまたは取扱説明書をお読みください。
1. 取扱上の注意事項
① 計量法に適合しておりませんので、商取引にはご使用にならないでください。
② 取付時には、本体に衝撃を与えたり、リード線に過大な応力を与えないよう、
本体部分を持って行ってください。
③ 本製品の適用流体以外の流体については、お客様の責任において安全確認・
対策の上ご使用ください。腐食性・可燃性のガス・酸素についてはご使用にな
らないでください。
④ コンプレッサからの圧縮空気にはドレン（水・酸化オイル・異物等）が含まれて
いますので、センサの一次側（上流）にフィルタ、エアードライアおよびオイルミ
ストフィルタを必ず取付けてご使用ください。
⑤ 測定範囲の数倍程度の過流量が流れてもセンサには問題ありませんが、最大
使用圧力近くでの動圧がかかった場合（センサ２次側開放状態で、１次側に圧
力が加わった場合）、センサに異常をきたす恐れがあります。漏れ検査のワー
ク充填時等、動圧がかかる場合は、必ずバイパス回路やしぼりを設けてセン
サに動圧がかからないようにしてください。
2. 仕様
表示器タイプ
項 目 ＦＳＭ－Ｈ－Ｎ／Ｐ－□
※１
ＭＬ―□
※２
００５ ０．２５～５
０１０ ０．５～１０
０５０ ２．５～５０
流量範囲
(m
l
/min)
注１
※１
１００ ５～１００
６Ａ ステンレスボディ、Ｒｃ１／８ ボディ材質
接続口径 ※２
６Ｇ ステンレスボディ、Ｇ１／８
適用流体
注２
清浄空気(JIS B 8392-1.1.1～5.6.2)、圧縮空気(JIS B 8392-1.1.1～1.6.2)、N
２
ガス
最高使用圧力 １．０ＭＰａ
最低使用圧力 －０．０９ＭＰａ
保証耐圧力 １．５ＭＰａ
使用周囲温度・湿度 ０～５０℃、９０％ＲＨ以下
使用流体温度 ０～５０℃
直線性(表示・アナログ)
±３％F.S.以下（０．１MPa、２５℃、流量範囲５～１００％F.S.）
同圧力特性 ±３％F.S.以下（－０．０９～１．０MPa、ただし、０．１MPa 基準）
同温度特性 ±０．２％F.S.／℃以下（１５～３５℃、ただし、２５℃基準）
繰返し精度（F.S.） ±０．５％F.S.以下
応答性
注３
５０ｍS 以下
表 示 流量表示３
１
/
２
桁（橙色）、運転・スイッチ出力２点（黄色）
スイッチ出力 ＮＰＮまたはＰＮＰオープンコレクタ出力 ２点
ＤＣ３０Ｖ・５０ｍＡ以下 （電圧降下２．４V 以下）
アナログ出力 １～５V（接続負荷インピーダンス５０ｋΩ以上）
電源電圧 DC１２／２４V（１０．８～２６．４V）
消費電流 ６０ｍA 以下
リード線 φ３．７ ０．２mm
3
×５芯 １ｍ
保有機能 流量表示、流量表示ピークホールド機能、スイッチ出力、アナログ出力
取付方向 縦・横自在
導入直管部 不要
保護構造 ＩＰ４０
保護回路
注４
電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
ＥＭＣ指令 ＥＮ５５０１１、ＥＮ６１０００－６－２、ＥＮ６１０００－４－２／３／４／６／８
質量 １５０ｇ
注１：20℃ 1 気圧（101kPa）での体積流量に換算
注２：空気、Ｎ２以外の気体でのご使用につきましては問い合わせ下さい。
注３：配管条件によって応答時間は変化します。
注４：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護
できるわけではありません。
3. 配線方法
線色
内容
茶 電源 DC12～24V
青 0V（GND）
灰 アナログ出力（1～5V）
黒 ＯＵＴ１
白 ＯＵＴ２
＜ＮＰＮ出力タイプ（ＦＳＭ－Ｈ－Ｎ－□ＭＬ－□＞
茶
灰
黒
青
＋
－
白
負荷
負荷
負荷
＜ＰＮＰ出力タイプ（ＦＳＭ－Ｈ－Ｐ－□ＭＬ－□＞
茶
灰
黒
青
＋
－
白
負荷
負荷
負荷
（注意事項）
• 配線作業について
配線は電源を切った状態で行なってください。
作業前・作業中は人体・工具装置に帯電した静電気を放電させて、
作業を行なってください。可動部にはロボット用線材のように耐屈
曲性能のある線材を接続配線してください。
• 設置について
本製品および配線は、強電線などのノイズ源から極力離して設置し
てください。電源線に乗るサージは別に対策をとってください。
• 電源電圧について
電源電圧範囲を超えて使用しないでください。使用範囲以上の電
圧を印加したり、交流電源（AC100V）を印加すると、破裂したり焼損
したりする恐れがあります。
• 負荷短絡について
負荷を短絡しないでください。
破裂したり焼損したりする恐れがあります。
• 誤配線について
電源極性など誤配線しないでください。
破裂したり焼損したりする恐れがあります。
• Ｆ.Ｇ.接続について
金属ボディタイプでは電源の－または＋に接続された装置の
Ｆ.Ｇ.とボディを接続して使用してください。
また、絶縁抵抗・耐圧試験は行わないでください。破損したり焼損し
たりする恐れがあります。
4. アナログ出力電圧－流量特性
FSM
-
Ｈ
-
□
-
□
ML
-
□
0
F.S.
1
2
3
4
5
流量
(m
l
/min)
0
（注意事項）
・アナログ出力精度は、温度特性
の他に通電による自己発熱の
影響も受けます。
ご使用時には、スタンバイ時間
（通電後５分以上）をもうけるよう
にしてください。
・流量範囲を超えた場合、Ｍａｘ８Ｖ
まで出力されます。
（但し、精度は保証できません）
5. 配管方法
（注意事項）
• 流体の流れる向きはボディの矢印の方向としてください。
• センサの１次側にバルブを設置する場合は、禁油仕様のバルブ
をご使用ください。グリス、オイル等の飛散によりセンサが誤動作
したり破壊する恐れがあります。
• 樹脂チューブにて配管を行う場合は、極力配管を固定して下さい。
流量測定中に配管が動いた場合、内部の気体が動き流量出力に
影響する場合があります。
• 継手を締付ける際は金属ボディへスパナ掛けして行ってください。
・樹脂ケースをつかんで回さないで
ください。
・配管時は、シールテープや
シール剤が入らないようにして
ください。
・配管時は、接続ポートに過大なねじ込みトルクや荷重トルクが
加わらないようにしてください。
接続ネジ 締付けトルクＮ・ｍ
Ｒｃ１／８ ３～５
Ｇ１／８ ３～５
6. 設置方法
（注意事項）
• センサを可動部に設置しないで下さい。
流量計測中にセンサが動くと、内部の気体が動き流量出力に異常
をきたす場合があります。
7. 外形寸法
8. 形番表示方法
①スイッチ出力形式
Ｎ ： ＮＰＮ出力
Ｐ ： ＰＮＰ出力
②流量レンジ（mℓ／min）
００５ ： 0.25～5
０１０ ： 0.5～10
０５０ ： 2.5～50
１００ ： 5～100
③配管
６Ａ ： ポート径Ｒｃ１／８（ステンレスボディ）
６Ｇ ： ポート径Ｇ１／８（ステンレスボディ）
④オプション
Ｋ ： 検査成績書付き
Ｔ ： 検査成績書、トレーサビリティ証明書、
トレーサビリティ体系図付き
• 本製品は空気・乾燥圧縮空気・Ｎ
２
用です。
腐食性・可燃性のガスにはご使用にならないでください。
• 電気は配線接続部（裸充電部）に触れると感電する恐れがあ
ります。配線時には必ず電源を切ってから作業をしてくださ
い。また、濡れた手で充電部を触らないでください。
注意
注意注意
注意
!
!!
!
横取付（貫通穴使用） 縦取付（底面メネジ使用）
ブラケット取付（
※
ブラケット使用）
※ 専用ブラケットを
オプションで用意して
おります。
（形式：ＦＳＭ－ＬＢ１）
ＦＳＭ－Ｈ－□－□ＭＬ－□－□
① ② ③ ④
〒４８５－８５５１ 愛知県小牧市応時２－２５０
http://www.ckd.co. jp
作成 ２００６．１２．５
･ 流量表示・各種スイ ッチ
設定値などを表示
3 桁ＬＥＤ
：
：：
：連続点灯
連続点灯連続点灯
連続点灯
：
：：
：点滅点灯
点滅点灯点滅点灯
点滅点灯
オーバーフローＬＥＤ
：４桁目の数字を表す
スイッチ出力ＬＥＤ
（OUT1、OUT2）
：各スイッチ出力 ON 時
：過電流保護動作中
RUN ＬＥＤ
：通常流量表示（設定時消灯）
：ピークホールド機能使用時
キー
MODE
･ 各種設定モードに入るとき
･ 設定モ－ドを進めるとき
･ 流量表示に戻るとき
･ ピークホールド動作を解除
キー
▲
１
１１
１
･ 流量表示時＝ＣＨ１データを順次表示
･ ピークホールド動作時＝最大値の表示
･ モ－ド選択時＝モ－ドの決定
･ 各データの設定時＝数値等のカウントアップ
ランプ
ランプランプ
ランプ状態
状態状態
状態
･ 流量表示時＝ＣＨ２データを順次表示
･ ピークホールド動作時＝最低値の表示
･ モ－ド選択時＝モ－ドの決定
･ 各データの設定時＝数値等のカウントダウン
キー
▼
２
２２
２
マイナスＬＥＤ
：逆方向に流体が流れた時
MODE
MODEMODE
MODE
RUN
OUT1
OUT2
１
１１
１
２
２２
２
２点の出力（ＣＨ１、ＣＨ２）は、各々５つの動作パターンを選択設定できます。動作パターンとＯＮ設定値・ＯＦＦ設定値を設定入力し使用ください。
注1. ウインド動作では、二つの設定値の間で３％F.S.以上の間隔を持たせてください。
ＯＮ側ＯＦＦ側各々に、１％F.S.のヒステリシスが自動的に付きます。
注2. ヒステりシス動作では､二つの設定値の間で１％F.S.以上の間隔を持たせてください｡
以上２点の設定値差がないと、動作しなかったり動作不安定となります。
注3. 流体の脈動等、流量が安定しない状態でスイッチ動作を行うと、動作不安定となる場合が
あります。この時は２つの設定値の間を十分持たせ、スイッチ動作が安定することを確認
してからご使用ください。
注4. 動作波形では、左側がマイナス側、右側がプラス側を表します。
注5. 波形パターンが決まると、ＯＮ設定値･ＯＦＦ設定値の大小関係は決まり、逆の大小関係は
あり得ないことになります。しかし、本製品では、指定の動作パターンで動作させることを
優先させます。二つの設定値が入力された時点で、その大小関係を自動判別し、各々適
切にＯＮ設定値･ＯＦＦ設定値として判別処理します。つまり、ＯＮ設定値･ＯＦＦ設定値を逆
に入力してしまっても、正しいＯＮ設定値･ＯＦＦ設定値として認識し直し、必ず指定した動
作パターンで動作します。
ＣＨ 動作波形
ＯＮ設定値 ＯＦＦ設定値
１
２００ ３５０
２
３００ ２５０
流量表示状態から、各キーを
押
すことで スイッチ動作波形･ＯＮ
設定値･OFF 設定値を確認
でき
ます。この操作のとき、スイッチ
動作には影響を与えません
。
ＣＨ１
データ表示
▲
１
押し続ける
ＣＨ２
データ表示
▼
２
押し続ける
▲
１
▼
２
同時
同時同時
同時に
にに
に押
押押
押す
すす
す
０点調整値
機種番号表示
０
点調整値表示
「ＡｄＪ」
表示
０点調整値と機種番号表示は
交互
に表示します。
操作中でも、スイッチ動作には
影響
を与えません。
動作波形表示
ON 設定値表示
OFF 設定値表示 動作波形表示
ＯＦＦ側
点滅
ＯＮ側
点滅
機種番号表示
ある期間内の、流量値の示した最大値と最小値を知ることができます。
瞬間的な流量変化確認などに、ご使用ください。なおピークホールド動作は、スイッチ動作や流量表示などの基本機能には、いっさい影響しません。
「ＭＯＤＥ」キーを押すとピークホールド動作を解除できます。
ピークホールド動作開始
(RUN ランプ点滅)
▼
２
同時
同時同時
同時
に
にに
に
押
押押
押
す
すす
す
MODE
流量表示状態
「４６０」を表示
ボトム
値
の
表示
点滅
▼
２
押し続ける
ボトム値「453」
ピーク
値
の
表示
点滅
ピーク値「475」
▲
１
押し続ける
点滅
1
1 回押す
確定
1
1 回押す
確定
MODE
1 回押す
必ず流体が流れていない状態で０点調整を行って下さい｡
注意
点滅
点滅
点滅
点滅
1
データ復帰
1
2
1
MODE
同時に押す
基本的なキー操作
スイッチ出力機能のデータ設定
スイッチ動作パターン設定･ON／OFF 設定値設定･０点モードで有効です。
カウント
アップ
カウント
ダウン
データ読込み
1
2
同時に押す
スイッチＣＨ１
ＯＮ・ＯＦＦデータ設定
MODE
スイッチＣＨ１
動作モード切換え
チャンネル１表示
MODE
安全のため、モードを確定する前に、約２秒以上キー操作が無いと、
流量
表示に復帰します。
操作中（各設定モードに入っている状態）に、電源を切った場合、再度電
源を投入すると、流量表示に戻ります。
MODE
押し続ける
さらに キーを
押し続けると、流量
表示になります。
MODE
MODE
離す
ＯＮ時波形表示
ＯＦＦ時波形表示
交互
表示
設定値表示
交互
表示
交互
表示
動作モード表示
1 回押す
設定値表示
1 回押す
確定
アップ・ダウンキーで
動作モード変更 アップ・ダウンキーで
数値変更
スイッチＣＨ２
動作モード切換え
０点調整モード
スイッチ出力強制 ＯＮモード
ＣＨ１出力ＯＮ
ＣＨ２出力ＯＮ
調整値読込み
1
押し続ける
2
押し続ける
1 回押す
MODE
1 回押す
流量表示へ
1
2
同時に押す
MODE
1 回押す
MODE
1 回押す
流量表示へ
スイッチＣＨ２
ＯＮ・ＯＦＦデータ設定
スイッチＣＨ１と
同様に設定します。
交互
表示
「ＡｄＪ」表示
０点調整値設定
MODE
1 回押す
MODE
1 回押す
MODE
1 回押す
流量表示へ
MODE
1 回押す
表示
表示表示
表示と
とと
と操作方法
操作方法操作方法
操作方法
スイッチ
スイッチスイッチ
スイッチ出力機能
出力機能出力機能
出力機能
LED動作波形表示 動作波形
ウインド動作１
(範囲内ＯＮ動作)
ウインド動作２
（範囲外ＯＮ動作）
ヒステリシス動作１
（流量小ＯＮ動作）
ヒステリシス動作２
（流量大ＯＮ動作）
動作停止
ON
OFF
1%F.S. 3%F.S.以上 1%F.S.
ON
OFF
ON
設定値
・
OFF
設定値
に
関わらず、出力を OFF します。
ON
OFF
1%F.S.以上
０ OFF 設定値 ON 設定値 流量
ON
OFF
1%F.S.以上
０ ON 設定値 OFF 設定値 流量
０ OFF 設定値 ON 設定値 流量
０ ON 設定値 OFF 設定値 流量
1%F.S. 3%F.S.以上 1%F.S.
ON
OFF
０ 流量
設定値
設定値設定値
設定値の
のの
の確認
確認確認
確認
設定例
設定例設定例
設定例
ピークホールド
ピークホールドピークホールド
ピークホールド機能
機能機能
機能
スイッチ
スイッチスイッチ
スイッチ出力機能
出力機能出力機能
出力機能・
・・
・強制出力機能
強制出力機能強制出力機能
強制出力機能・
・・
・０
００
０点調整機能
点調整機能点調整機能
点調整機能の
のの
の操作
操作操作
操作チャート
チャートチャート
チャート
-
1
-
2
