据付け、運転操作、メンテナンス、マニュアル
シリーズ 021
VAT 株式会社
営 業 本 部 ：横浜市保土ヶ谷区岩井町 1-7 Tel 045-333-1144 Fax. 045-333-7024
本社赤穂工場：兵庫県赤穂市木津 1325-67 Tel 0791-48-1680 Fax. 0791-48-1681
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角型ゲートバルブ
MONOVAT クラシック
複動圧空作動式,
クローズ位置でのメカニカルロック付
このマニュアルは、次の注文番号の製品に適用されます:
シリーズ 021,
SEMI サイズ 01..10 及び 12
Aタイプ、Bタイプ及び Cタイプ
それぞれのバルブには、以下のように製造番号が表示されております。
（又はそれに類似）：
made in Switzerland
Fabrication No.:
patented
. .
00 . . . – . . . . – . . . . / . . . .
A – . . . . . .
製造番号
シンボルの説明
作業を始める前に必ず記載事項を注意してご参
照下さい。
バルブ開口部への手や物品の挿入は絶対にしな
いで下さい。
注意！
表面が熱くなります。手を触れないようにご注
意ください。
EC ガイドラインに適合した製品です。
スプリングやシリンダー内に溜まっている空気
によって危険な動きを招く可能性が有りますの
で注意して下さい。
電源及び圧空ラインを外してください。通電部
分には絶対に手を触れない様ご注意下さい。
手袋をご使用ください。
梱包を開いたらバルブの取扱に先立ち、このマニュアルと、同封の«安全マニュアル»を注意深くお読
みください。
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出版事項:
製造者
VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
ウェブサイト
www.vatvalve.com
Tel
+41 81 771 61 61
Fax
+41 81 771 48 30
発行者
VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
編集者
VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
印刷
VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
著作権
© VAT Vakuumventile AG 2008
本取扱説明書の一部について、VAT 社の書面による了承を得ない限り、いかなる方法(写
真、マイクロフィルム又は他の複製方法)でも複製すること及び電子機器で操作、複写、
配布を禁止します。違反者は損害賠償金を支払う責任があります。
最初の VAT ファームウエア及び最新式のバージョンにアップデートされた VAT ファー
ムウエアは VAT 製品に使用するよう意図されています。VAT ファームウエアは無期限の
ユーザーライセンスで使用期限が切れることはありません。VAT ファームウエアは弊社
の製品に使用することのみに設計されており、VAT ファームウエアをコピーすることは
禁止されております。特に、VAT ファームウエアのコピーを他人に渡すことは厳しく禁
じます。
これらの説明書の商品名、商標名、トレードマーク等の使用は、第三者がこれらの名前
の保護を無くして自由に使用することを検討する権利を与えません。これは法律及び法
令に従い、商標名やトレードマークの保護を意味します。
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目次 :
1 製品の使用用途 ......................................................................................................................................................... 4
1.1 記述 .................................................................................................................................................................... 4
1.2 技術データ ......................................................................................................................................................... 4
2 取付け ....................................................................................................................................................................... 6
2.1 開梱 .................................................................................................................................................................... 6
2.2 システムへの取付け ........................................................................................................................................... 6
2.3 接続 .................................................................................................................................................................... 6
2.3.1 圧空接続 ................................................................................................................................................... 6
2.3.2 電気結線 ................................................................................................................................................... 6
3 操作 ........................................................................................................................................................................... 7
3.1 通常の操作 ......................................................................................................................................................... 7
3.2 昇温環境下での操作 ........................................................................................................................................... 7
3.3 圧空圧力低下時の挙動 ....................................................................................................................................... 7
3.4 停電時の挙動 ...................................................................................................................................................... 7
3.5 停電時の非常操作 ............................................................................................................................................... 7
4 トラブル対策 ............................................................................................................................................................ 8
5 メンテナンス及び修理 .............................................................................................................................................. 8
5.1 ゲート交換 ......................................................................................................................................................... 9
5.2 アクチュエーターメンテナンス ....................................................................................................................... 13
5.2.1 アクチュエーターの取り外し ................................................................................................................. 13
5.2.2 クリーニング .......................................................................................................................................... 13
5.2.3 再組み立て ............................................................................................................................................. 13
5.2.4 動作テスト ............................................................................................................................................. 14
5.2.5 メンテナンス最終ステップ .................................................................................................................... 14
5.3 リミットスイッチ交換 ..................................................................................................................................... 15
5.4 アクチュエーターの調整 .................................................................................................................................. 15
5.5 バルブの潤滑 .................................................................................................................................................... 15
6 図面 ......................................................................................................................................................................... 16
6.1 アクチュエーター及びゲートアセンブリ ......................................................................................................... 16
7 予備部品 .................................................................................................................................................................. 18
7.1 アクチュエーターサービスキット、差圧用タブ、アップグレードキット ....................................................... 18
7.2 スペアゲート及びゲートサービスキット ......................................................................................................... 18
7.3 ボンネットシール、SEMI インターフェイス用 Oリング ................................................................................ 21
7.4 電磁弁 .............................................................................................................................................................. 22
8 保証 ......................................................................................................................................................................... 22
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1 製品の使用用途
«技術データ»項に記載されている状況下での真空アプリケーションに対してのみ製品をご使用下さい。 その他アプリ ケ
ーションに対しては VAT 社の文章による了承を得た場合のみ御使用頂けます。
1.1 記述
フランジ 寸法図をご参照ください。
アクチュエータ 複動圧空式、リミットスイッチ付、
閉位置でのメカニカルロック付
軸シール 溶接メタルベローズ *)
1.2 技術データ
リークレート(周囲温度 25°C でクリーンなコンディションにおいて)
シール面
FKM シール
FFKM シール
メタルシール
無垢の金属
(ミル加工 / ボール研磨)
ボディー <1.10-10 Pa m3/s
シート <1.10-10 Pa m3/s
ボディー <1.10-9 Pa m3/s
シート <1.10-8 Pa m3/s
ボディー <5.10-11 Pa m3/s
(ステンレスのみ)
アルミ, 硬質アルマイト
ボディー <1.10-6 Pa m3/s
シート <1.10-5 Pa m3/s
ボディー <1.10-6 Pa m3/s
シート <1.10-5 Pa m3/s
測定条件：
:
ボディー: 30s, He 濃度 20%
シート: 15s, He 濃度. 30%
自動リークテスト
差圧 = 0.1MPa
アルミ, ニッケルメッキ
ボディー <1.10-10 Pa m3/s
シート <1.10-10 Pa m3/s
ボディー <1.10-9 Pa m3/s
シート <1.10-8 Pa m3/s
使用圧力範囲(周囲温度 25°C でクリーンなコンディションにおいて)
- 無垢の金属または ニッケルメッキ 1 . 10-7 Pa から 0.12 MPa (abs)
- アルミ硬質アルマイト 1 . 10-4 Pa から 0.12 MPa (abs)
- メタルシール 5 . 10-8 Pa から 0.12 MPa (abs)
バルブゲートにかかる最大許容差圧 両方向において 0.12 MPa *)
バルブを開けるときの最大許容差圧 両方向において 3000 Pa *)
メンテナンス間のサイクル数
(昇温なし, クリーンな真空環境下で標準開閉速度での使用において)
- アクチュエータ (圧空及びメカニカルパーツ) 2 百万回 *)
- ベローズ（AM350） 2 百万回*)
- ベローズ（INCONEL 625） 1 百万回
- ゲートシール FKM 2 百万回*)
- ゲートシール FFKM 1 百万回*)
操作中の許容温度
- バルブボディー アルミニウム <150°C; 推奨 <120°C
- バルブボディー ステンレス <200°C
- 圧空アクチュエータ <150°C
- リミットスイッチ <80°C *)
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- 電磁弁 <50°C
シートとゲートの許容温度差 40°C
昇温速度、降温速度 40°C h-1
材料
- バルブボディー, アルミニウムゲート 3.2315, AA6082, AlMgSi1
- バルブボディー, ステンレスゲート 1.4435, AISI 316L
- 差圧用タブ 1.4435, VITON®, PEEK (ポリエチレン)
- ストッパー PEEK (ポリエチレン)
- ベローズエンドピース 1.4435, AISI 316L
- ベローズ AISI 633 (AM 350) *)、INCONEL 625
- ゲート及びボンネットシール FKM (VITON®) *)
取り付け方向 自由 *)
電気接続
リミットスイッチ 3A / 50VDC *); 接点容量
圧縮空気供給
圧空圧力 0.4 – 0.7 MPa / 55 - 95 psig (ゲージ圧) *)
圧空接続口 メネジ M5 *)
動作時間 (標準オリフィス) 両方向において< 1 s *)
SEMI サイズ 01..10 及び 12 **)用 推奨 ロック圧
VITON® 0.1 – 0.12 MPa
Chemraz® 513, 630, 656 0.1 – 0.12 MPa
Chemraz® E38 0.07 - 0.08 MPa
Kalrez® 8085 0.1 -0. 12 MPa
Kalrez® 8575, 9100 0.07 - 0.08 MPa
Perlast® G67P 0.07 - 0.08 MPa
Ultic Armor® 0.1 – 0.12 MPa
**)
ゲートのライフタイムを最大にする為、ロック圧はクローズ位置で許容値を超えるリーク量が発生しない程度にでき
るだけ低く設定する必要がございます。
シールラインの長さ（ゲートサイズ）、シールリップの形状の公差、測定精度、必要
とされるリーク量によってロック圧の設定は上記推奨値から若干外れる場合もございます。
*)
標準仕様
。オプション機能の仕様については、
オプション項目の仕様については製品の寸法図に記載されます。
その他の技術データは VAT カタログまたはプロダクトデータシート No.207385 (または特型バルブに相応するデータシー
ト) 及び寸法図に従います。
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2 取付け
2.1 開梱
バルブを取付け前に汚さぬ様、ごみや埃などの混入を防ぐため、バルブ開口部の青いフォイルは可能な限り剥がさないで
下さい。VAT 社ではクリーンな環境で組み立てられ、プラスチック製の袋で密閉しております。バルブはクリーンなシス
テムにのみ取付けて下さい。
2.2 システムへの取付け
寸法図に記されている寸法及び公差がご使用の環境全てに適合している事をご確認下さい。バルブをクリーンなシステム
にのみ取り付けて下さい。バルブフランジの固定用ネジの締め付けは、対角線上に均一に行ってください。
圧縮空気の接続は以下の条件が整ってから行って下さい。
バルブが真空システムに既に据え付けられていること。
開口部に障害部がないこと、可動部には絶対に手を触れていないこと。
通電部分には絶対に手を触れないよう、ご注意ください。
2.3 接続
2.3.1 圧空接続
圧空圧力: 0.4-0.7MPa / 55-95psig (ゲージ圧) *); クリーンでドライまたは若干のオイ
ルエアーのみを供給ください。
圧空接続口: メネジ M5 *)
- 電磁弁なし 接続口 „open“ 及び „closed“
- 電磁弁付 接続口 „P“ が供給側、接続口 „R“ が排気側
2.3.2 電気結線
電磁弁に記載されている電圧と、使用電圧が一致している事を確認下さい。リミットスイッチ用コネクターと電磁弁は、
バルブと一緒に供給されます。
リミットスイッチ: 3 A / 50 VDC; 接点容量
インパルス電磁弁
標準リミットスイッチ
*)
リミットスイッチ
„open/close“ (Opt.)
リミットスイッチ
1xLo / 2xLg
リミットスイッチ
1xLo / 2xLg (Opt.)
3
MV
power
close
open
1
2
3
1
2
MV = 電磁弁のコイル
Min. パルス時間:
50 ms
6
5
4
3
2
1
3
1
2
4
6
5
Lo
Lg
43 2 1
5
6
78
9101112131415
3
1
7
4
2
8
13
15
11
Lo1
Lg1
Lg2
12
4
12
4
12
4
9
Lg2
Lg1
Lo
6
5
4
3
2
1
6
5
4
3
2
1
Lo = リミットスイッチ„open” Lg = リミットスイッチ„close“ 最大電圧 50 V DC
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3 操作
逆圧用のタブのついていない製品は、バルブ両側の圧力が均一な場合の操作用に特別に設計されたものです。バルブに差
圧のかかる状況が発生するプロセスでの使用においては人的災害を及ぼすような製品の損傷が与えられる可能性がありま
す。
3.1 通常の操作
A.
クリーンな真空環境下での操作
(
例：
ロードロックアップリケーション
):
バルブがクリーンな真空環境下で使用される場合は、FKM シール（nanoVAT, VITON または同等品）の構成を推奨します。
ゲートが交換された場合、特にシール材が変更された場合には必ずロック圧の点検を行ってください。推奨ロック圧につ
いては 1.2 項を参照下さい。
B.
厳しいプロセス環境下での仕様
(
例：トランスファー
/
プロセスモジュール
):
パーティクル落下を最小とし且つコストオブオーナーシップを最適とする為には、機械的にロックされた状態での
MONOVAT バルカナイズドシール材への過度なストレスを防止する必要がございます。ロック圧はクローズ位置で許容値
を超えるリーク量が発生しない程度にできるだけ低く設定する必要がございます。こちらは、プロセスガスがエラストマ
ーコンパウンドをアタックするような高温で且つ過酷なプロセス環境などの全ての操作条件に当てはまります。コンパウ
ンド毎のロック圧が記載されている 1.2 項をご参照下さい。ロック圧調整は 5項に記載されております。
3.2 昇温環境下での操作
1.2 項またはプロダクトデータシート No.207385 を参照下さい。
3.3 圧空圧力低下時の挙動
バルブ閉： バルブは閉じたままリークタイトを保持します。（機械的に固定）
バルブ開： バルブの位置は特定できません。
逆止弁が取り付けられている場合、バルブは開位置を保持します。（圧空により固定）
3.4 停電時の挙動
バルブに圧空接続口のみで供給 (型式： 021 . . - . . 24) :
バルブの位置は取り付けられる電磁弁のタイプにより異なります。弊社では全てのトランスファーバルブにはインパル
ス電磁弁をご使用頂くことをお勧めします。
インパルス電磁弁付バルブ (型式： 021 . . - . . 44) :
バルブ閉の時： バルブは閉位置を保持します。 (機械的に固定)
バルブ開の時： バルブは開位置を保持します。
既に動き出している時は最後まで動作します。
3.5 停電時の非常操作
停電の場合、圧縮空気の圧力があればバルブ操作を可能にする非常操作機構がついております。
停電時にバルブを操作するには：
プッシュボタンを押す： バルブ開
プッシュボタンを引く： バルブ閉
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4 トラブル対策
不具合内容
点検項目
処置
バルブが開閉しない。
電源は入っていますか？
圧縮空気は供給されていますか？
電磁弁は正常ですか？
電源電圧を確認して下さい。
圧空圧力を確認して下さい。
電磁弁を確認して下さい。(手動操作)
ゲートからの洩れ。
汚れていませんか？
ゲートシールが損傷していませんか？
シール圧力が弱すぎませんか？
バルブのシートとゲートを清浄にして下さ
い。
損傷している時は交換して下さい。
圧空圧力とアクチュエータの調整を確認して
下さい。
バルブボディからの洩れ。
フランジ結合部から洩れていませんか？
ベローズから洩れていませんか？
フランジ O-ring を清浄にする、または交換し
て下さい。
ベローズを交換して下さい。
その他詳細の情報が必要な場合、弊社営業担当者もしくは最寄の営業所にご連絡ください。連絡先はウェブサイト
http://www.vat.ch でご確認いただけます。
5 メンテナンス及び修理
クリーンな条件下での操作においては、規定されたライフサイクル内での保守は必要とされません。
プロセスからの堆積物は機能に影響を与える場合がありますので、より頻繁なメンテナンスを行っていただく必要があり
ます。
修理またはメンテナンスを行う前に、当社 あるいは当社代理店へご連絡下さい。お客様にてメンテナンス /修理可能か、
当社への持ち込みが必要かの判断をさせていただきます。尚、バルブに表示されている製造番号は
made in Switzerland
Fabrication No.:
patented
. .
. . . . . – . . . . – . . . . / . . . .
A – . . . . . .
製造番号
の様に表示されております。
全ての接続は（例：圧空配管、電気配線）バルブのシステムからの/への取り外し/取り付けに先立ち必ず外してください。
電源を切った後でもスプリングやシリンダー内に溜まっている空気によって危険な動きを招く可能性が有
りますので注意して下さい。
バルブ開口部への手や物品の挿入は絶対にしないで下さい。
修理のため、当社又は当社代理店にバルブまたは物品を返送される場合は、有毒物質、腐食物質、細菌等の有毒物質の付
着が一切ないこと、放射線による汚染に対しては VAT 社指定の«汚染と放射線に関する申告書»に必要事項記載の上、バ
ルブと共に送って下さい。申告書に最大許容値が示されております。
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予防保守は、ゲート、ベローズ、ピストンのシールの交換を含みます。又は、圧空部品の潤滑やバルブボディのクリーニ
ングです。その他の部品は、点検時に、必要に応じて交換します。修理または緊急時に備え、最低限下記の予備部品をお
持ち頂く事をお勧めいたします。
1 MONOVAT ゲート
2 ベローズアセンブリー
1 ゲート/アクチュエーターアセンブリー (MTTR の短縮)
5.1 ゲート交換
推奨工具
0-0.15MPaを+/-5000Pa(約 1psi)単位で表示できるゲージ付の圧力調整機 能
付レギュレーターが接続された圧空.
六角レンチ 4mm 付のトルクレンチ
六角レンチ 4mm
エルアングル
調整ゲージ 3mm 厚
1.
A-タイプ及び B-タイプバルブ:
- バルブを開ける。
- バルブから圧空源及び電源を外す。
- ボンネット固定ネジを緩める。
- ゲート/アクチュエータアセンブリーを慎重にバルブハウジングから
取り外す
C-タイプバルブ(右図):
- バルブを開ける。
- ゲート交換はバルブを取り外すことなく実施可能です。
2.
ゲート固定ネジを緩めます。 (約 2 回転)
3.
注意:
ゲート固定用のコーンが張付いている場合は以下の手順を実施します:
- 後ろ側コーンは固定ネジを何度か軽く叩くことにより取り外すこと
ができます。
- 前側コーンはゲートを慎重に前後に動かすことにより取り外すこと
ができます。
作業が困難な場合は最寄の営業所にご相談ください。
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4.
ゲートを慎重に上方向に抜き出します。
5.
ゲートを慎重に上側から 2本のベローズエンドピースの上におきま
す。
6.
固定ネジを軽く締め付けます。
注意:
ゲートが正しい位置（ゲートとベローズの間にスペースが無い状態）
にあるか確認します。
7.
C-タイプバルブのみ:
最低圧空圧力にてバルブをゆっくり閉めます。
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8.
ゲート固定ネジを均等に締め付けます。
ベローズがねじれていないかを確認します。
注意:
ベローズがねじれている場合、ベローズのライフが著しく減少しま
す。
9.
ゲートがボディー/ボンネットと垂直であることを確認します。
C-タイプバルブ:
ゲートと差圧タブ間に隙間があることをすきまゲージにて確認しま
す。隙間は 0.05mm 以上必要です。もし隙間が 0.95mm 以上ある場合
に は、ボディーとゲートの隙間があることを確認します。
注意:
再調整が必要な場合は、ゲートの両固定ネジを再度緩め、ゲートを若
干押すことによりゲートの位置を変えます。
10.
固定ネジをトルクレンチにて 5Nm(ニュートンメーター); 約 3.7 lbf ft
(重量ポンドフィート)で締めます。
A-タイプ及び B-タイプバルブ:
- ゲート/アクチュエータアセンブリーを取付けます。
- ボンネット固定ネジを対角線順に均等に固定します。
- バルブを閉めます。
11.
3mm 厚の調整ゲージを使用しボディーシート面とゲートが平行かどう
かを確認します。ゲートとボディー間の隙間は 3mm±0.15mm (右図マ
ーク部)で均一である必要があります。
測定は外側の 2箇所の差圧用タブで実施します。両側の測定結果が
0.2mm 以上異なっていなければ平行度は ok です。
注：
この点検及び以下の手順は A-タイプバルブでは実施できません。作業
が困難な場合は最寄りの営業所にご相談ください。
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12.
隙間が 3mm ±0.15mm から外れている、または両端の差圧用タブでの
測定結果が 0.2mm 以上異なる場合、再調整が必要です。
この作業を行う場合、調整を行う側のアクチュエーター側面の固定ネ
ジを約¼ 回転緩めます。
13.
ギャップを小さくするにはネジを時計方向に回します。
ギャップを広げるにはネジを反時計方向に回します。
14.
位置修正後は、アクチュエーター固定ネジを 3.4Nm (2.5ftf lb)のトルク
で固定します。
ロック圧測定; シール材を変更した場合にもお勧めします。
15.
バルブを開けます。
圧空圧力を <0.05MPa (7.3psi)まで下げます。
圧空圧力をゆっくりと上げながらバルブを閉めます。
バルブはリミットスイッチ信号„closed“が検出されたときにクロー
ズしております。
適切なロックは 1.2 項でに示されたロック圧で到達している必要
があります。上記以外の場合には、手順 12-14 に従いロック圧の
再 調整を行う必要がございます。
注意: 再調整はゲートとボディーの平行を保つ為に両側で同様に行われ
なければなりません。
注意:
ロック圧を高くするにはネジを時計方向に回します。
ロック圧を低くするにはネジを反時計方向に回します。
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5.2 アクチュエーターメンテナンス
以下の項はベローズ交換、ピストン Oリング、スタティックシールの交換を含むアクチュエーターメンテナンスに必要な
作業の詳細を示します。この作業を実施するにあたり、アクチュエーターサービスキット型式 214684 をお求め頂くこと
をお勧めします。以下の “Pos.” で記される部品は 6.1 項をご参照下さい。
注意:
クリーニング及び組立作業工程では手袋を必ず着用下さい。手袋が汚れた場合には直ちに交換下さい。
全てのメンテナンス作業はクリーンな環境下で実施して下さい。
ベローズの真空側への露出面をグリス等により汚さないようにして下さい。
5.2.1 アクチュエーターの取り外し
カバーシート Pos. 15 (2x).を取り外します。
アクチュエーターを万力に固定します。
2本のネジ Pos. 44 を外し、ゲートを取り外します。
注意
: ゲート固定用のコーンが張付いている場合は以下の手順を実施します:
- 後ろ側コーンは固定ネジを何度か軽く叩くことにより取り外すことができます。
- 前側コーンはゲートを慎重に前後に動かすことにより取り外すことができます。
ベローズシャフト (Pos. 2)に接続されたボルト (Pos. 11)を保持しながらスナップリング (Pos. 53)を外し、ボル
トが外れるまで押します。両側の 2枚のディスク (Pos. 23)を取り外します。
ボンネットをアクチュエーターボディーに固定している 8本のネジ (Pos. 40)を外し、ボンネットを取り外しま
す。
ベローズを引き抜きます。チューブ(Pos. 17)が同時に取り外されます。チューブ両端の 2本の Oリング(Pos. 30)
も外れていることを確認します。
ギヤラックのナット(Pos. 55)を外し、ピストンロッドを押しピストンアセンブリをリミットスイッチ用ラグ (Pos.
22) と一緒に取り外します。ピストンロッド(13)をシリンダーから抜けるまで押します。
ピストン Oリング (Pos. 32)の点検: 磨耗している場合 (“黒い粉末” ピストン及びロッド上)、Oリングを外します。
5.2.2 クリーニング
圧空用部品(シリンダー、ピストン、ロッド)に残っている古いグリスを拭き取ります。
真空部の全ての部品をアルコールにてクリーニングします。:
o ボンネットの Oリングを外し、ボンネット及び Oリングをクリーニングします。 (O リング取り外しの
際は、Oリングシール面を損傷させないためにドライバーを使用しないで下さい)
o チューブをクリーニングします。
5.2.3 再組み立て
ピストン Oリング (Pos. 32) 及び シャフトシール (Pos. 33)を取り外します。両 Oリングを VAT 高真空グリス
(N-6951-401)で潤滑します。
Oリング (Pos. 31 及び 36) が損傷している場合は交換します。
スタティック Oリング Pos. 35 が損傷している場合:
A: ネジ Pos. 45 (1x)を外し 、シャフト Pos. 13 からピストン Pos. 14 を外します。
B: スタティック Oリング Pos. 35 を交換します。
C. ピストン Pos. 14 をシャフト Pos. 13 に取り付けます。
D:ネジ Pos. 45 (1x) にロックタイト 270 を付けネジをシャフト Pos. 13 に固定します。
圧空用部品を VAT 高温圧空グリス (N-6951-401)にて潤滑します:
o シリンダー
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o ロッド及びピストン
o ピストンシャフトシール (シールリング (Pos. 33)の溝を潤滑します)
ピストンをシリンダーに取り付け、ギヤラックを差し込みます。ピストンを奥まで押し込み、VAT 高温圧空 グリ
ス(N-6951-401) によりシリンダー上部を潤滑します。
ラグ (Pos. 22)を取付けギヤラック及びラグをナットで固定します。
ベローズのロッドを VAT 高温圧空 グリス(N-6951-401) により潤滑し、アクチュエーターハウジングに挿入しま
す。
新しいベローズを取り付けます。ベローズが完全に挿入されるまで、ベローズ上部のフォイルによる保護カバー
は残しておいてください。ベローズの保護された部分のみを持つようにして下さい。
ボルトを’Rocol’グリスにより潤滑します。
ベローズの固定:
o ボルトを挿入順序 : レバー、ディスク、ロッド、ディスク、レバー
o スナップリングを両側に取り付けます。
以下の手順を実施する前に新しくクリーンな手袋を着用していることを確認して下さい
新しい Oリングをベローズの上に乗せ、慎重にアクチュエーターハウジングに取り付けます。Oリングにゴミ等
の付着がない事をご確認下さい。
チューブをベローズの上に挿入します。Oリングがチューブのシール面に正しく接触するようにする為、両チュ
ーブを慎重に回転方向に動かします。 O リングが正しく中心にきているかの確認の為、チューブを一度取り外し
ます。Oリング位置が正しい場合、チューブを再度取り付けます。
チューブの上に Oリングを置きます。Oリングにゴミ等の付着がない事をご確認下さい。
ボンネット Oリング(Pos. 72) をVAT 真空グリス(N-6951-01)により潤滑します。ボンネットの Oリング溝には
グリスを塗布しないで下さい。Oリングにゴミ等の付着がない事をご確認下さい。
Oリング(Pos. 31)がアクチュエーターハウジング(この Oリングは分解やクリーニング時に時々外れることがあ
り ます )に取り付けられている事を確認します。
ボンネットを取付け、8本のネジ (Pos. 40)で固定します。ネジは対角線順に均等に 3.4Nm で締め付けてくださ
い。 ボンネットが図面通りに取り付けられているかを確認して下さい(D サブコネクタの位置によりご確認くだ
さい)。
リークテストを実施します(ベローズ、チューブ部の Oリング及びボンネット Oリング)。
ネジ(Pos. 44)及びコーンに VAT 高真空グリス(N-6951-01)を塗ります。
5.1項に従いゲートを取り付けます。
5.2.4 動作テスト
バルブへ圧空を接続し、5-10 サイクルの開閉を行ないます。
リミットスイッチ信号 (open/close)を確認します。
ベローズ及びギヤラックの動作を目視点検します。
バルブを全開し、圧空を取り外します。ベローズの弾性によりバルブは中間位置に動作します（動かない場合に
は手で押して下さい） 。
5.1項に従い、バルブのロック圧を確認します。
5.2.5 メンテナンス最終ステップ
カバーシート(Pos. 15)を取り付けます。
バルブをパーティクルや衝撃から保護する為カバーします (機械的衝撃、 パーティクル等)
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5.3 リミットスイッチ交換
1. チャンバーを大気開放しバルブを開けます。
2. バルブから圧空源及び電源を外す。
3. 4 本のネジ Pos. 47 (シートあたり 4本)を外しカバーシート Pos. 15 (2x)
を外します。
4. ネジ Pos. 77 (4x) 及びネジ Pos. 70 (2x) を緩めます。
5. アクチュエーターハウジングの溝から取付け用バーを下側へ引き抜きま
す。
6. インサート Pos. 5(左側に)を引き抜き、リミットスイッチを取り外しま
す。
7. 逆の手順で組み立てを行ないます。
スイッチの検出位置は、2本のネジを緩め、取付け用バーの溝の範囲内でス
イッチをスライドさせることにより調整する事ができます。スイッチの位置
は 通常は溝の終端より１～1.5mm 手前となります。
5.4 アクチュエーターの調整
ゲートシールの押し付けは工場出荷時に調整及び検査されており、通常再調整の必要は有りません。
調整は毎回のメンテナンス作業後に必要となります。調整の確認、平行度及びロック圧の調整は 5.1 項に記載されており
ます。
ロック圧の設定
:
ゲートのライフタイムを最大にする為、ロック圧はクローズ位置で許容できないリーク量にを発生しない程度に
できるだけ低く設定する必要がございます。
一般的に、ロック圧は開口サイズ及び使用されるシール材により異なります。標準 SEMI サイズでのバルカナイ
ズド VITON® ゲートのロック圧は 0.10 – 0.12 MPa の範囲が推奨されます。
ロック圧の仕様はプロダクトデータシートに記載されております。
5.5 バルブの潤滑
真空側のガスケットは原則的に潤滑されません。適正な高真空グリース(VAT 高真空グリース)を少量、Oリング又は
ゲートシールに使う場合があります。
圧空シリンダーおよびピストンシールは、VAT 高温圧空グリースにて潤滑して下さい。他の潤滑剤では規定のライフ
サイクルに適合しない場合が有ります。
アクチュエーター内部のギア、ラック、ラッシュ類は、’Rocol’または相当品で潤滑して下さい。
真空外部のネジは、’モリコート 321R’または相当品で潤滑して下さい。VAT 社供給品は潤滑済みです。
圧空シリンダーとアクチュエーターの部品には、規定のライフサイクル数を経過した場合には再潤滑を行って下さ い。
（«技術データ»参照）新しいベローズアセンブリーのシャフトは工場出荷時に潤滑されております。
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6 図面
6.1 アクチュエーター及びゲートアセンブリ
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7 予備部品
確実に正しい部品を選定するため、予備部品をご注文の際にはバルブの製造番号をご指定ください。（バルブ上
の黄色いラベル参照）
7.1 アクチュエーターサービスキット、差圧用タブ、アップグレードキット
部品名
SEMI サイズ 01-04, 09
SEMI サイズ 05-08, 10, 12
アクチュエーターサービスキット (軸シール及び圧空), グリスを含む
214685
214684
スペアベローズ
215619
208198 / 205011
シャフトシールキット (ベローズ 2本, Oリング, セーフティクリップ) 、グリス
なし
-
253941
アップグレードキット 差圧用タブ
-
307509
VAT 高温圧空グリス（ピストン用）12g
N-6951-403
VAT 高性能真空グリス 10g
N-6951-011
7.2 スペアゲート及びゲートサービスキット
SEMI サイ
ズ
開口
Al ゲート
VITON シール
表面処理
特徴
12
50x336
94027-R1
ビーズブラスト
標準
50x336
303001
ビーズブラスト
パーティクル最適仕様
50x336
95842-R1
硬質アルマイト
50x336
97154-R1
ニッケルコーティング
50x336
215455
透明アルマイト
50x336
301062
Emetalコーティング
10
46x236
77006-R1
ビーズブラスト
標準
46x236
87125-R1
ビーズブラスト
ゲート加熱用
46x236
82510-01
硬質アルマイト
46x236
91145-R1
硬質アルマイト
ゲート加熱用
46x236
94143-R1
硬質アルマイト
A-サイドのみ表面処理
46x236
92796-R1
ニッケルコーティング
46x236
101379-R1
透明アルマイト
09
32x222
76168-R1
ビーズブラスト
標準
32x222
80499-01
硬質アルマイト
32x222
96062-R1
ニッケルコーティング
08
51x420
76752-R1
ビーズブラスト
51x420
99513-R1
硬質アルマイト
51x420
101373-R1
透明アルマイト
07
51x265
79364-R1
ビーズブラスト
51x265
207458
硬質アルマイト
06
51x210
77939-R1
ビーズブラスト
05
51x160
78819-R1
ビーズブラスト
04
25x420
85113-R1
ビーズブラスト
01
25x160
91088-R1
ビーズブラスト
アルミニウム
(Al)
ゲート、バルカナズド
VITON VA8ANZ EF
、
S020/021
、
SEMI
サイズ
01-10, 12
据付け、運転操作、メンテナンス、マニュアル
シリーズ 021
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205440JL
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19/22
SEMI
サイズ
開口
Alゲート
特殊シール
シール材料
表面処理
特徴
12
50x336
200062
FFKM - C 630
ビーズブラスト
50x336
101367-R1
FFKM - C 630
硬質アルマイト
50x336
205413
FFKM - C 513
ビーズブラスト
50x336
227030
FFKM - C 513
ニッケルコーティング
50x336
100431-R1
FFKM - C E38
ビーズブラスト
50x336
231484
FFKM - G67P
ビーズブラスト
50x336
303006
FFKM - G67P
ビーズブラスト
パーティクル最適仕様
50x336
231438
FFKM - G67P
硬質アルマイト
50x336
217542
FFKM - K 8575
ビーズブラスト
50x336
217578
FFKM - K 8575
硬質アルマイト
50x336
233454
FFKM - K 8085
ビーズブラスト
50x336
245508
FFKM - K 8085
硬質アルマイト
50x336
255750
FFKM - K 8085
ニッケルコーティング
50x336
307612
FFKM - KLR 9100
ビーズブラスト
50x336
327364
FFKM - KLR 9100
硬質アルマイト
50x336
222969
FKM - Ultic Armor
ビーズブラスト
50x336
225595
FKM - Ultic Armor
硬質アルマイト
50x336
232071
MFQ - Fluorsilicon L677-70
硬質アルマイト
50x336
300648
MVQ - Silicon FH7 ABS
硬質アルマイト
50x336
318281
FKM - Nanofluor HVA7725_74
ビーズブラスト
パーティクル最適仕様
10
46x236
245326
FFKM - C 639
ビーズブラスト
46x236
96073-R1
FFKM - C 630
ビーズブラスト
46x236
99424-R1
FFKM - C 630
硬質アルマイト
46x236
97147-R1
FFKM - C 630
ニッケルコーティング
46x236
100519-R1
FFKM - C 592
ビーズブラスト
46x236
208855
FFKM - C 520
ビーズブラスト
46x236
85104-R1
FFKM - C 513
ビーズブラスト
46x236
88100-R1
FFKM - C 513
硬質アルマイト
46x236
208063
FFKM - C 513
硬質アルマイト
ゲート加熱用
46x236
89375-R1
FFKM - C 513
ニッケルコーティング
46x236
100430-R1
FFKM - C E38
ビーズブラスト
46x236
209097
FFKM - C E38
硬質アルマイト
46x236
310323
FFKM - C656
ビーズブラスト
46x236
310642
FFKM - C656
硬質アルマイト
46x236
227130
FFKM - G67P
ビーズブラスト
46x236
212473
FFKM - K 8575
ビーズブラスト
46x236
314896
FFKM - K 8575
硬質アルマイト
46x236
215277
FFKM - K 8575
硬質アルマイト
ゲート加熱用
46x236
235060
FFKM - K 8575
ニッケルコーティング
46x236
224440
FFKM - K 8085
ビーズブラスト
46x236
237616
FFKM - K 8085
硬質アルマイト
46x236
314846
FFKM - KLR 9100
ビーズブラスト
46x236
217062
FKM - Ultic Armor
ビーズブラスト
46x236
234876
FKM - Ultic Armor
硬質アルマイト
46x236
91154-R1
FKM - Hifluor V8514-65
ビーズブラスト
46x236
78510-R1
FKM - Hifluor V3819-75
ビーズブラスト
46x236
206802
MFQ - Fluorsilicon L677-70
ビーズブラスト
46x236
85630-R1
MVQ - Silicon FH7 ABS
ビーズブラスト
据付け、運転操作、メンテナンス、マニュアル
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20/22
46x236
82625-R1
MVQ - Silicon FH7 AMS
ビーズブラスト
46x236
200047
FKM - Viton SC1105
ビーズブラスト
46x236
207215
FKM - Viton V75WH
ビーズブラスト
46x236
81038-R1
TFE - AFLAS SVA 4416/06
ビーズブラスト
09
32x222
96072-R1
FFKM - C 630
ビーズブラスト
32x222
213300
FFKM - C 520
ビーズブラスト
32x222
92032-R1
FFKM - C 513
ビーズブラスト
32x222
93096-R1
FFKM - C 513
硬質アルマイト
32x222
100432-R1
FFKM - C E38
ビーズブラスト
32x222
212538
FFKM - C E38
硬質アルマイト
32x222
218213
FFKM - K 8575
ビーズブラスト
32x222
319731
FFKM - K 8085
ビーズブラスト
32x222
323629
FFKM - KLR 9100
ビーズブラスト
32x222
216691
FKM - Ultic Armor
ビーズブラスト
32x222
237765
FKM - Ultic Armor
硬質アルマイト
32x222
209254
MFQ - Fluorsilicon L677-70
ビーズブラスト
32x222
79416-R1
MVQ - Silicon FH7 AMS
ビーズブラスト
32x222
81063-R1
FKM - Hifluor V3819-75
ビーズブラスト
32x222
93098-R1
FKM - Hifluor V8514-65
ビーズブラスト
32x222
96045-R1
FKM - Hifluor V8514-65
硬質アルマイト
07
51x265
236293
FFKM - K 8575
ビーズブラスト
51x265
301509
FFKM - K 8085
ビーズブラスト
06
51x210
82152-R1
FKM - Hifluor V3819-75
ビーズブラスト
03
25x265
80681-R1
MVQ - Silicon FH7 ABS
ビーズブラスト
01
25x160
99404-R1
FFKM - C 630
ビーズブラスト
25x160
92827-R1
FKM - Hifluor V8514-65
ビーズブラスト
アルミニウム
(Al)
ゲート、バルカナズド特殊シール、
S020/021
、
SEMI
サイズ
01-10, 12
SEMI サイ
ズ
開口
SS ゲート
VITON シール
表面
処理
特徴
12
50x336
96031-R1
ビーズブラスト
標準
50x336
100087-R1
ビーズブラスト
水冷用
50x336
249336
ビーズブラスト
A-サイド: 断熱板
50x336
95911-R1
ボール研磨
50x336
244307
電解研磨
10
46x236
78201-R1
ビーズブラスト
標準
46x236
252318
ビーズブラスト
A-サイド: 断熱板
46x236
101269-R1
ビーズブラスト
B-サイド側断熱板
46x236
84481-R1
ボール研磨
09
32x222
78175-R1
ビーズブラスト
標準
08
51x420
77682-R1
ビーズブラスト
51x420
84233-R1
ビーズブラスト
B-サイド側断熱板
07
51x265
78485-R1
ビーズブラスト
51x265
236223
ビーズブラスト
A-サイド: 断熱板
05
51x160
78493-R1
ビーズブラスト
51x160
215819
ビーズブラスト
水冷用
04
25x420
80664-R1
ビーズブラスト
02
25x210
81786-R1
ビーズブラスト
01
25x160
81483-R1
ビーズブラスト
ステンレス鋼
(SS)
ゲート、バルカナズド
VITON VA8ANZ EF
、
S020/021
、
SEMI
サイズ
01-10, 12
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