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据付け、運転操作、メンテナンス、マニュアル
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営 業 本 部 ：横浜市保土ヶ谷区岩井町 1-7 Tel 045-333-1144 Fax. 045-333-7024
本社赤穂工場：兵庫県赤穂市木津 1325-67 Tel 07914-8-1680 Fax. 07914-8-1681
215164JC
2003-04-14 1/11
角型インサート MONOVAT
• 圧空アクチュエーター
復動式
それぞれのバルブには、以下のように製造番号が表示されております。（又はそれに類似）
made in Switzerland
Fabrication No.: patented . .
031 . .
- . . . . - . . . . / . .
A - . . . . . .
梱包を開いたらバルブの取り扱いに先立ち、このマニュアルと、同封の«安全マニュアル»を注意深く
お読み下さい。
フランジタイプ
C . . .MONOVAT シート及びアクチュエーターユニット
0 3 1 1 0 - C A 2 4 - 0001
4 桁
ｵﾌﾟｼｮﾝｺｰﾄﾞ
ｱｸﾁｭｴｰﾀｰ
24 ... 電磁弁無
44 ... 電磁弁付
ボディ材質:
A ...
ｱﾙﾐﾆｳﾑ
ｻｲｽﾞ:
10 ... 46 x 236
12 ... 50 x 336
01 ... 25 x 160
02 ... 25 x 210
03 ... 25 x 265
04 ... 25 x 420
05 ... 51 x 160
06 ... 51 x 210
07 ... 51 x 265
08 ... 51 x
420
09 ... 32 x 222
0X ... 51 x 510
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2003-04-14 2/11
出版事項:
VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
製造者
ウェブサイト
www.vatvalve.com
Tel
+41 81 771 61 61
Fax
+41 81 771 48 30
Eメール
CH@vatvalve.com
発行者 VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
編集者 VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
印刷 VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
著作権 © VAT Vakuumventile AG 2008
本取扱説明書の一部について、VAT社の書面による了承を得ない限り、いかなる方法(写
真、マイクロフィルム又は他の複製方法)でも複製すること及び電子機器で操作、複写、
配布を禁止します。違反者は損害賠償金を支払う責任があります。
最初の VATファームウエア及び最新式のバージョンにアップデートされた VATファー
ムウエアは VAT製品に使用するよう意図されています。VATファームウエアは無期限の
ユーザーライセンスで使用期限が切れることはありません。VATファームウエアは弊社
の製品に使用することのみに設計されており、VATファームウエアをコピーすることは
禁止されております。特に、VATファームウエアのコピーを他人に渡すことは厳しく禁
じます。
これらの説明書の商品名、商標名、トレードマーク等の使用は、第三者がこれらの名前
の保護を無くして自由に使用することを検討する権利を与えません。これは法律及び法
令に従い、商標名やトレードマークの保護を意味します。
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2003-04-14 3/11
製品の使用用途
«技術データ»項に記載されている状況下での真空アプリケーションに対してのみ製品をご使用下さい。その他アプリケ
ーションに対しては VAT社の文章による了承を得た場合のみ御使用頂けます。
技術データ
リークレート シート < 1 x 10-10 Pam3 s-1
使用圧力範囲 1 x 10-7 Pa ～ 0.12 MPa (abs)
ゲートにかかる最大許容差圧 両方向に対して 0.1 － 0.12 MPa
ゲートを開けるときの最大許容差圧 3000 Pa
第1回サービスまでのサイクル数 2 百万回
許容ベーク温度： バルブボディー アルミニウム < 150°C
圧空アクチュエーター < 150°C
標準リミットスイッチ < 80°C
ベーカブルリミットスイッチ < 150°C (オプション)
電磁弁 < 50°C
許容温度差 ボディー / ゲート < 40°C
材質 バルブボディー アルミニウム 3.2315
ゲート アルミニウム 3.2315
ベローズ AM 350 (AISI 633)
ボンネットシール VITON®
ゲートシール VITON®
動作時間 開及び閉 < 1 s
リミットスイッチ接点容量 5 A / 250 V AC, 3 A / 50 V DC
電磁弁 ソレノイドに記載されています。
より詳しいデータは、VATカタログをご参照ください。
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2003-04-14 4/11
真空システムへの取り付け
バルブを取付け前に汚さぬ様、ごみや埃などの混入を防ぐため出来る限りプラスチックバック内に保管して下さい。
VAT 社ではバルブをクリーンな環境で組み立て、プラスチック製の袋で密閉しております。シート及びシール部は取り
付け前に絶対にクリーニングしないで下さい。インサートはクリーンなシステムにのみ取付けて下さい。シートの固定
用ネジの締め付けは、対角線上に均一に行ってください。
圧縮空気及び電源の接続は以下の条件が整ってから行って下さい。
− インサートが真空システムに既に据え付けられていること。
− 開口部に障害部がないこと、可動部には絶対に手を触れていないこと。
通電部分には絶対に手を触れないよう、ご注意ください。
許容されるストレス
バルブの寸法図に示されている寸法や公差は、全ての操作状況において守れる様注意して下さい。
圧縮空気の接続
圧縮空気圧力
(最低 – 最高、ゲージ圧力): 0.4 – 0.7 MPa / 55 - 95 psi
クリーンでドライな圧空または若干オイルを含んだ圧空のみを供給して下さい。
圧縮空気の接続口 内部ネジ M5
電磁弁付： 接続口 „P“ が供給側
接続口 „R“ が排気側
電磁弁無し： 接続口 „open“ 及び „closed“
電気結線
電磁弁に記載されている電圧と、使用電圧が一致している事を確認下さい。リミットスイッチ用コネクターと電磁弁は、
インサートと一緒に供給されます。
結線図：
インパルス電磁弁 標準リミットスイッ
チ リミットスイッチ
„open/close“(Opt.) 標準リミットスイッ
チ 1xLo / 2xLg
リミットスイッチ
1xLo / 2xLg (Opt.)
6
5
43
2
1
3
1
2
4
6
5
Lo
Lg
4321
5
6
78
9101112131415
3
1
7
4
2
8
13
15
11
Lo1
Lg1
Lg2
12
4
12
4
12
4
9
Lg2
Lg1
Lo
6
5
4
3
2
1
6
5
43
2
1
3
MV
power
close
open
1
2
3
1
2
MV = 電磁弁のコイル
パルス時間：最短 50 ms
Lo = リミットスイッチ „open“ Lg = リミットスイッチ „close“ 最大電圧 50 V DC
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2003-04-14 5/11
操 作
通常の操作
圧空アクチュエーター付バルブ：圧空作動によりバルブ開閉。
許容ベーク温度
«技術データ»をご参照下さい。
圧縮空気停止
バルブ閉： バルブは閉じたままリークタイトを保持します。（機械的に固定）
バルブ開： バルブの位置は特定できません。
停電
バルブに直接圧空供給口を接続
バルブの位置は取り付けられる電磁弁のタイプにより異なります。トランスファーバルブにはインパルス電磁弁をご使
用頂くことをお勧めします。
停電時の非常操作
停電の場合、圧縮空気の圧力があればインサートの操作を可能にする非常操作機構がついております。
停電時にインサートを操作するには：
− プッシュボタンを押す： インサート開
− プッシュボタンを引く： インサート閉
open
close
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2003-04-14 6/11
予防保守
品番は本項の詳細図と«予備部品»の項の図を参照下さい。
クリーンな操作条件下においては、インサートは規定されたサイクル数内での特別なメンテナンスを必要としません。
(«技術データ»参照。)
予防保守は、ゲート、ベローズ、ピストンのシールの交換を含みます。又は、圧空部品の潤滑やインサートシートのク
リーニングです。その他の部品は、点検時に、必要に応じて交換します。修理または緊急時に備え、最低限下記の予備
部品をお持ち頂く事をお勧めいたします。
− 1 MONOVAT ゲート
− 2 ベローズアセンブリー
− 1 アクチュエーターアセンブリ
ゲートのクリーニングまたは交換
1. 真空チャンバーを大気圧に戻し、ドアを開ける。
2. ドアを圧空源及び電源から外す。
3. ネジ 44 を1回転ゆるめ、ゲートをシャフトから外す。
4. ゲートのクリーニングまたは交換をし、逆の手順で組み立てる。ネジ 44
（
2x
）
を均等に 5 Nmで締めます。
ベローズの交換
1. 真空チャンバーを大気圧に戻し、ドアを開ける。
2. ネジ 47
（
4 x
シート）
とカバーシート 15 (2x) を外す。
3. サークリップ 53, ディスタンスリング 23 (2x) 及びボルト 11を取り外す。(図参照下さ
い。)
4. ネジ 40 (8x) をゆるめ、アクチュエターハウジングを取り外す。
5. ベローズアセンブリー 2 を慎重に抜き取る。
注意： O-ring 30 とチューブ 17をゴミやグリスで汚さない様に注意する。
6. 新しいベローズアセンブリー 2、O-ring 30 (2x per bellows) 及びチューブ 17 (1x per
bellows)を取付ける。O-ring にパーティクルが付着していない事を確認して下さい。
注意： 新しいベローズアセンブリーを取り扱う際は手袋を使用する事。
7. 逆の手順で組み立てる。
（ネジ 40 (8x) を均等に 3.4 Nmで締め付ける。）
注意事項：
− ベローズの真空側は潤滑剤で汚さないこと。
− 交換用ベローズアセンブリーのシャフトはシャフトブッシング用に工場にて潤滑されております。
− アクチュエーターにはベローズアセンブリー用リークテストポートがついております。（図面上指示）
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ピストン用シールの交換
1. 上記に従ってゲートとカバーシートを取り外す。
2. ネジ 47
（
4 x
シート）
とカバーシート 15 (2x) を外す。
3. ネジ 40 (8x) を緩め、アクチュエーターハウジング１を外す。
注意：O-ring30及びチューブ 17 は固定されていない状態です。
4. ナット 55とラグ 22 を外し、ピストン 14とシャフト 13を引き抜く。
5. ピストン O-ring 32 とシャフトシール 33 を交換する。損傷が見られる場合は、31
、
36のO-ring も交換する。
6. O-ring 35 に損傷が見られる場合以下の手順を実施：
A: ネジ 45 (1x) を外し、 ピストン 14をシャフト 13から外す。
B: O-ring 36を交換します。
C: ピストンを 14 シャフト 13 に取り付けます。
D: ネジ 45 (1x) にロックタイト 270 を塗り、シャフト 13に固定します。
7. シリンダーとピストンを VAT 高温圧空用グリースにて均等に潤滑する。各部品にパーティクルなどが付着していな
い事を確認します。
8. 逆の手順で組み立てる。
リミットスイッチの交換
1. 真空チャンバーを大気圧に戻し、ドアを開ける。
2. バルブから圧空源及び電源を外す。
3. ネジ 47 (4x per sheet)及びカバーシート 15 (2x) を取り外す。
4. ネジ 77(4x)とネジ 70 (2x per assembly)を外します。
5. アクチュエータのハウジングの切り込みからマウンティングバーを下方
向に引き抜く。
6. インサート 5 （左方向に）を引き抜きリミットスイッチを取り外す。
7. 逆の手順で組み立てる。
スイッチの位置は、スイッチのネジをゆるめ取り付けバーの切り欠き内を
動かす事によって再調整できます。スイッチの位置はエンドポイントの手
前1～1.5mm に設定して下さい。
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アクチュエーターの調整
ゲートシールの押し付けは工場出荷時に調整及び検査されており、通常再調整の必要は有りません。
調整の確認
− ゲートとシート間のギャップ«A»は、3.0 mm ±0.15 mm でなければなりません。(右図参照)
− ゲートとシートの平行は 0.2 mm 以内です。
− 閉動作時、圧空圧力 0.13～0.2 MPaの間でメカニカルロックしなければなりません。
確認手順： 1. 圧空圧力を 1bar以下に下げる。
2. バルブを閉める様に操作する。
3. メカニカルロックが確認される機械音がするまで圧空圧力を上げる。
押し付け圧 / 平行度の調整
1. バルブを開ける。
2. ラック 12 (2x)のネジ 43 (2x per rack)をゆるめる。
3. 両方のネジ 50を同じ角度にまわす事によりゲートシールの押し付け圧を調整する。
注意： ネジ 50を30°まわす事により、押し付け圧は 0.125mm変わります。
4. ネジ 50を一つだけまわす事により平行度を調整する。
注意： ネジ 50を30°まわす事により、それぞれの側の押し付け圧は 0.125mm変わります。
5. ゲートを閉める。
6. ネジ 43 (4x)を3.4 Nm のトルクで締め付ける。
7. バルブの開閉を行い、再度押し付け圧と平行度を確認し、必要であれば再調整を行う。
バルブの潤滑
− 真空側のガスケットは原則的に潤滑されません。適正な高真空グリース(VAT 高真空グリース)を少量、O-ring 又はゲ
ートシールに使う場合があります
− 圧空シリンダーおよびピストンシールは、VAT高温圧空グリースにて潤滑して下さい。他の潤滑剤では規定のライフ
サイクルに適合しない場合が有ります。
− アクチュエーター内部のギア、ラック、ラッシュ類は、’Rocol’または相当品で潤滑して下さい。
− 真空外部のネジは、’モリコート 321R’または相当品で潤滑して下さい。VAT社供給品は潤滑済みです。
− 圧空シリンダーとアクチュエーターの部品には、規定のライフサイクル数を経過した場合には再潤滑を行って下さい。
（«技術データ»参照）新しいベローズアセンブリーのシャフトは工場出荷時に潤滑されております。
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予備部品
シールキット、アクチュエーターサービスキット、潤滑剤
部品名 型式
スペアベローズアセンブリー、 25 x .. / 32 x .. 94196-R1
スペアベローズアセンブリー、 46 x .. / 51 x .. 76610-R1
VAT 高温圧空グリス（ピストン用）12g N-6951-403
VAT 高真空グリス 10g N-6951-011
バルカナイズ VITON®シールゲート、ボンネットシール、SEMI インターフェイス用ボディ O-ring
DN ゲートアルミニ
ウム VITON®
seal
ゲートステンレス
VITON® seal ボンネット O-リ
ング VITON® O-リング
VITON® SEMI ｲﾝ
ﾀｰﾌｪｲｽ用
ボンネット VATSEAL (ｵ
ﾌﾟｼｮﾝ、ｽﾃﾝﾚｽﾎﾞﾃﾞｨのみ)
32 x 222 76168-R1 78175-R1 N-5100-266 N-5100-263 82180-01
46 x 236 77006-R1 78201-R1 N-5100-266 N-5100-263 82180-01
50 x 336 94027-R1 96031-R1 N-5100-275 N-5100-276 81697-01
25 x 160 91088-R1 81483-R1 N-5100-262 82588-01
25 x 210 - 81786-R1 N-5100-266 82180-01
25 x 265 - 77008-R1 N-5100-271 77951-01
25 x 420 85113-R1 80664-R1 N-5100-279 92075-01
51 x 160 78819-R1 78493-R1 N-5100-262 82588-01
51 x 210 77939-R1 78213-R1 N-5100-266 82180-01
51 x 265 79364-R1 78485-R1 N-5100-271 77951-01
51 x 420 76752-R1 77682-R1 N-5100-279 92075-01
25 x 254 - 77008-R1 N-5100-271 77951-01
32 x 336 92020-R1 - N-5100-275 N-5100-273 81697-01
スペシャルバルカナイズシール付ゲート、特別表面処理、SEMI サイズ
ゲート材質 シール材質 32 x 222 46 x 236 50x336
Chemraz® 630 96072-R1 96073-R1 96074-R1
Chemraz® 513 92032-R1 85104-R1 205413
Chemraz® E38 100432-R1 100430-R1 100431
Parofluor® V8514-65 93098-R1 91154-R1 204662
Perfluoro black 81063-R1 78510-R1 -
Silicone red 79416-R1 82625-R1 -
Silicone transparent - 85630-R1 -
アルミニウム
SC 1107 205580 205581 204585
VITON® 80499-01 82510-01 95842-R1
Chemraz® 630 - 99424-R1 101367-R1
Chemraz® 513 93096-R1 88100-R1 -
硬質アノダイズ
アルミニウム
Parofluor® V8514-65 96045-R1 - -
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営 業 本 部 ：横浜市保土ヶ谷区岩井町 1-7 Tel 045-333-1144 Fax. 045-333-7024
本社赤穂工場：兵庫県赤穂市木津 1325-67 Tel 07914-8-1680 Fax. 07914-8-1681
215164JC
2003-04-14 10/11
ゲート材質 シール材質 32 x 222 46 x 236 50x336
VITON® 96062-R1 92796-R1 97154-R1
Chemraz® 630 - 97147-R1 -
ニッケルコート
アルミニウム Chemraz® 513 - 89375-R1 -
Chemraz® 630 - 94106-R1 97077-R1
ステンレススチール Chemraz® 513 90151-R1 92057-R1 -
その他の記載の無いサイズ、材質、表面処理については別途お問い合わせ下さい。
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ISO 9001
EN 29001
据付け、運転操作、メンテナンス、マニュアル
シリーズ 031
VAT 株式会社
営 業 本 部 ：横浜市保土ヶ谷区岩井町 1-7 Tel 045-333-1144 Fax. 045-333-7024
本社赤穂工場：兵庫県赤穂市木津 1325-67 Tel 07914-8-1680 Fax. 07914-8-1681
215164JC
2003-04-14 11/11
トラブル対策
バルブが開閉しない。 電源は入っていますか？ 電源電圧を確認して下さい。
圧縮空気は供給されていますか？ 圧空圧力を確認して下さい。
電磁弁は正常ですか？ 電磁弁を確認して下さい。(手動非常操作).
ゲートからの洩れ。 汚れていませんか？ バルブのシートとゲートを清浄にして下さい。
ゲートシールが損傷していません
か？ 損傷している時は交換して下さい。
シール圧力が弱すぎませんか？ 圧空圧力及びアクチュエーターの調整を確認し
て下さい。
バルブボディからの洩れ。 フランジ結合部から洩れていませ
んか？ フランジ O-ring を清浄にする、または交換して
下さい。
ベローズから洩れていませんか？ ベローズを交換して下さい。
修 理
バルブに表示されている製造番号(F03- . . . . . / . . . . )と故障状況を、当社あるいは当社代理店へご連絡下さい。 お客様
にて修理可能か、当社への持ち込みが必要かの判断をさせていただきます。電源結線部、圧空供給部等ユーティリティ
は、システムへのバルブの取り付け、又は、取外しに先立ち全て取り外して下さい。
電源、圧空の供給を停止していても、負荷のかかったスプリングやシリンダー内に溜まっている空気に
よって危険な動きを招く可能性が有りますので注意して下さい。
バルブ開口部への手や物品の挿入は絶対にしないで下さい。
修理のため、当社又は当社代理店にバルブまたは物品を返送される場合は、有毒物質、腐食物質、細菌等の有毒物質の
付着が一切ないこと、放射線による汚染に対しては VAT 社指定の«汚染と放射線に関する申告書»に必要事項記載の上、
バルブと共に送って下さい。申告書に最大許容値が示されております。
保 証
弊社(VAT 社)は、新品且つ未使用の製品について出荷より 12 ヶ月間、仕上げ及び材料に欠陥がないことを保証いたしま
す。特殊な目的に対する商品性及び適合性のような言外の保証も含め、商品の品質に関する上記以外の保証は明示ある
いは言外を問わず一切いたしかねます。
製品の品質に関し、弊社の保証その他義務違反が生じた場合は、弊社の選択により、 (1)修理、(2)交換、(3)必要な場合
は、製品の返却と引き換えに代金の返済（しかるべく減額し）、のいずれかの措置をとるものといたします。弊社に対
するクレームは製品の出荷日より 13 ヶ月以内に書面で速やかに行われるものといたします。
通常の摩耗、不適切な保守、操作指図の無視、不適切な操作条件、不適合な材料や化学電解的影響、組込み上の欠陥、
その他弊社の管理できない事由による損傷は本保証には含まれません。弊社の書面による同意なしになされた改造や修
理は本保証外となります。製品を受理されたら直ちに検査を行って下さい。万一欠陥が見つかった場合は 10 日以内に書
面によりお申し出下さい。
その他の事柄については、価格表の裏側に記載されている«諸条件»が適用されます。
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