安装、操作与
维护说明书
603171CA 2018-09-19 版
大型摆阀
带双作用气动驱动器
168 系列
公称直径 DN 400 – 500 mm (内径 16" – 20")
本产品手册适用于以下产品订购编号：
168..-….-….
样品图
168
系列
2/29 2018-09-19 版 603171CA
版本说明
制造商： VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
官网:
电话:
传真:
电子邮件:
www.vatvalve.com
+41 81 771 61 61
+41 81 771 48 30
CH@vatvalve.com
发行方 VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
编辑 VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
印制 VAT Vakuumventile AG, CH-9469 Haag, Switzerland
版权 © VAT Vakuumventile AG 2018
未经 VAT 书面许可，严禁以复印、缩微胶片等途径或利用任何其它复制工
艺复制本说明书的任何部分，或通过电子系统处理、复制或分发本说明书的任
何部分。违者将赔付损害赔偿金。
VAT 原装固件以及更新后的最新款 VAT 固件适用于 VAT 产品。VAT 固件
含范围有限但无期限限制的用户使用许可。除预期用途外或经许可复制 VAT 固
件，不得以任何其它形式复制 VAT 固件或将之用于任何其它用途。特别是，严
禁将 VAT 固件的复制品提供给他人。
尽管本说明书中使用了各种商品名称、品牌名称和商标等信息，但第三方
不得认为这些名称不受保护且无权随意使用这些名称。此规定符合相关品牌名
称与商标法及法案的规定。
168 系列
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目录
1
产品描述 ................................................................................................ 5
1.1 产品标识 .......................................................................................................... 5
1.2 产品用途 .......................................................................................................... 5
1.3 相关文件 .......................................................................................................... 5
1.4 重要注意事项 ................................................................................................... 5
1.5 技术数据 .......................................................................................................... 5
2
安全性 ................................................................................................... 6
2.1 必读资料 .......................................................................................................... 6
2.2 危险等级 .......................................................................................................... 6
2.3 人员资质 .......................................................................................................... 7
2.4 安全标签 .......................................................................................................... 7
3
设计与功能 ............................................................................................ 8
3.1 设计 ................................................................................................................ 8
3.2 功能 ................................................................................................................ 8
4
安装 ..................................................................................................... 9
4.1 开箱 ................................................................................................................ 9
4.2 将阀门装入系统 ............................................................................................... 9
4.2.1 允许力度与弯矩 ................................................................................. 11
4.3 压缩空气连接 ................................................................................................. 12
4.4 电气连接 ........................................................................................................ 12
5
操作 ..................................................................................................... 13
5.1 正常操作 ........................................................................................................ 13
5.2 升温状态下操作 ............................................................................................. 13
5.3 压缩空气发生压降时的阀门特性 ..................................................................... 13
5.4 断电时的阀门特性 .......................................................................................... 13
5.4.1 应急手动操作 .................................................................................... 13
5.5 三位置驱动器 (选配件) ................................................................................... 15
5.5.1 三位置驱动器的控制逻辑 ................................................................... 15
5.5.2 调整第三位置 .................................................................................... 15
5.6 故障排除 ........................................................................................................ 16
6
维护 .................................................................................................... 17
6.1 维护间隔时间 ................................................................................................. 17
6.2 所需工具 ........................................................................................................ 18
6.3 更换阀板/机构单元 ......................................................................................... 18
7
维修 .................................................................................................... 21
8
拆装与储存 .......................................................................................... 22
8.1 拆装 .............................................................................................................. 23
8.2 储存 .............................................................................................................. 23
168
系列
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9
包装与运输 .......................................................................................... 24
9.1 包装 .............................................................................................................. 25
9.2 运输 .............................................................................................................. 25
10
处理 ................................................................................................... 26
11
备品备件 ............................................................................................. 27
12
附录 ................................................................................................... 28
12.1 组装图 ........................................................................................................... 28
12.2 阀板机构组装图 ............................................................................................. 29
168 系列 产品描述
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1 产品描述
1.1 产品标识
制造号和订单号直接印在产品上或标示牌上。
made in Switzerland
Fabrication No.:
168 . . - . . . . - . . . . / . . . .
A - . . . . . .
制造号
订单号
1.2 产品用途
本产品仅用于洁净干式真空应用环境。如需将本产品用于其它用途，必须事先获得 VAT 的书
面许可。
1.3 相关文件
• 产品数据表
• 尺寸图
1.4 重要注意事项
此符号提醒用户特别注意其右的重要事项说明。
示例:
对于不当包装所致的任何损害，VAT 概不承担任何责任。
1.5 技术数据
详见产品数据表和尺寸图
安全性 168
系列
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2 安全性
2.1 必读资料
操作本产品之前，请仔细阅读本章。本章内容事关操作人员的人身安全。所有在本产品
使用寿命内对其进行任何操作的人员必须阅读并理解本章内容。
注意
对本产品缺乏了解
若在使用本产品前未阅读本手册，可能导致财产受损。
首先，请阅读本手册。
本安装、操作与维护说明书是完整技术系统内综合说明文件的一个组成部
分。因此，本说明书必须与其它文件存放在一起，以便该系统的授权使用者随时
取阅。
2.2 危险等级
危险
高风险
表示某种危险情况，
若未能避免此类
情况，则将导致死亡或重伤。
警告
中等风险
表示某种危险情况，若未能避免此类情况，则可能导致死亡或重伤。
小心
低风险
表示某种危险情况，若未能避免此类情况，则可能导致轻度或中度损伤。
注意
指示
表示某种危险情况，若未能避免此类情况，则可能导致财产受损。
168 系列 安全性
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2.3 人员资质
警告
无证人员
不当操作可能导致重伤或财产受损。
因此，仅允许持证人员开展上述操作。
2.4 安全标签
标签 零件编号 零件在阀门上的位置
T-9001-156 防护罩
表 2-1
设计与功能 168
系列
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3 设计与功能
3.1 设计
1 法兰
2 阀体
3 阀盖
4 驱动器
图 3-1
3.2 功能
该阀门采用了 VATLOCK 密封技术，即阀门可在闭合位置实现机械式锁定。当处于打开
位置时，阀门机构不会锁定。叶片弹簧配合滚珠笼的支撑扣紧阀板和背板。滚珠对置于限位
槽内。为关闭阀门，该机构前移至闭合位置。一旦叶片弹簧挡块触碰阀体，阀门即开始锁紧
动作。滚珠笼将滚珠对推出限位槽。阀门阀板和背板分开。阀板密封圈被无摩擦地贴向密封
面。滚珠对的排列确保了密封力度可通过阀板任意一侧上的真空相应增大。打开时，呈倒序
移动。详见图 3-2。
1 阀板密封圈
2 阀板
3 滚珠导槽
4 弹簧组件
5 滚珠对
6 轴承滚道
7 驱动杠杆
8 背板
9 驱动器输出轴
阀座侧
图3-2
1 6 5 4 2 3 7 8 9
1
2
4
3
168 系列 安装
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4 安装
警告
无证人员
不当操作可能导致重伤或财产受损。
因此，仅允许持证人员开展上述操作。
警告
重物
请
勿人工搬运。
须用起重机起吊该产品
。
4.1 开箱
•
确保所供应的产品与您的订单相符。
•
目测检查所供应产品的质量。若不符合您的要求，请立即与 VAT 联系。
•
妥善存放原装包装材料。如必须将产品退给 VAT，可用这些包装材料重新包装
产品。
仅可使用吊环螺栓起吊阀门。
详见尺寸图
1. 小心地提起阀门，将阀门置于干净表面上或装入清洁系统中。
4.2 将阀门装入系统
警告
活动部件
可能卡住（附近人员的）身体部位并导致严重伤害。
在本产品完全装入系统之前，请勿接通电源并供应压缩空气。
注意
污染
产品可能会受到污染。
在操作本产品时，请务必佩戴洁净室专用无尘手套。
安装 168
系列
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注意
不适用的工具
密封面可能会受损。
请勿使用锋利工具。
注意
上紧扭矩不当
阀体和螺钉可能会受损。
须按照螺钉尺寸使用恰当的上紧扭矩。
注意
螺钉太长
阀体可能变形及/或可能发生故障。
仅使用 VAT 推荐的螺钉。
1. 从阀体法兰上取下防护罩。
2. 清洁阀体法兰的密封面和密封件；详见图 4-1中的(1)和(2)。
阀座侧为标记有 «∇» 的法兰 A。
3. 将阀门移至安装位置。
4. 根据图 4-1 按交叉顺序均匀安装四颗螺钉(3)，直至密封件碰到密封面。
5. 用与螺钉强度等级相对应的恰当扭矩拧紧所有螺钉。
1 法兰 A
2 法兰 B
3 螺钉
图 4-1
3
2
1
168 系列 安装
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4.2.1 允许力度与弯矩
抽空系统产生的力、其他部件带来的重力或烘烤可能导致阀体变形和阀门故
障。必须通过恰当方式消除应力；详见下图 4-1。
允许承受以下力度或弯矩：
DN (标称内径) 轴向拉力
或推力«FA» 弯矩 «M»
mm inch N lbf Nm lbf · ft
400 16 7840 1760 980 722
500 20 8820 1980 1078 800
若产生这两种组合力（FA 和M），则上述值无效。请与 VAT 联
系，了解更多详情。
表 4-1
安装 168
系列
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4.3 压缩空气连接
警告
阀门位于打开位置
当压缩空气与阀门连接后，存在人身伤害风险。
仅在以下情况下连接压缩空气：
- 阀门已装入真空系统内
- 不会碰到活动部件
仅使用洁净、干燥或轻微含油的空气。
允许的空气压力范围，详见产品数据表。
1. 根据产品数据表和尺寸图连接压缩空气
。
4.4 电气连接
危险
触电
通电状态下的零件会导致人员重伤或死亡。
请勿触碰欠压状态下的零件。
注意
电压不当
电气部分可能受损
必须为电气部件提供正确电压。
1. 根据产品数据表和尺寸图连接电磁先导阀。
2. 根据产品数据表和尺寸图连接位置指示器。
168 系列 操作
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5 操作
警告
无证人员
不当操作可能导致重伤或财产受损。
因此，仅允许持证人员开展上述操作。
警告
活动部件
可能卡住（附近人员的）身体部位并导致严重伤害。
请避免身体的任何部位靠近活动部件。
5.1 正常操作
阀门通过气动方式启闭。
5.2 升温状态下操作
关于最高允许温度，详见产品数据表。
5.3 压缩空气发生压降时的阀门特性
详见产品数据表
5.4 断电时的阀门特性
详见产品数据表
5.4.1 应急手动操作
WARNING
活动部件
可能卡住（附近人员的）身体部位并导致严重伤害。
请避免身体的任何部位靠近活动部件。Keep human body parts away from
movable parts.
操作 168
系列
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标准电磁先导阀
按下按钮： 阀门打开
松开按钮： 阀门关闭
具有应急锁定功能的电磁先导阀（选配件）
具有应急手动操作功能的电磁
先导阀 (5) 处于“正常”位置的电磁先导
阀 处于“手动”位置的电磁先导
阀 (按下并旋转 90°)
图 5-1
5
168 系列 操作
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5.5 三位置驱动器 (选配件)
5.5.1 三位置驱动器的控制逻辑
脉冲式电磁先导阀（选配件）
阀板位置 V1 V2
MV
1 MV
2 MV
1 MV
2
打开
+
-
-
+
中间
-
+
+
-
关闭
-
+
-
+
+
=
线圈通电
-
=
线圈断电
5.5.2 调整第三位置
1. 停止阀门驱动器的压缩空气。
2. 松开夹紧螺钉 (3).
3. 顺时针（闭合方向）或逆时针（打开方向）旋转调整螺钉（4），调整第三位置。
4. 拧紧夹紧螺钉 (3)。
5. 根据第 5.5.1 章（三位式驱动器的控制逻辑）施加空气压力，将阀板移动至中间位置。重
复第 1-4 步，直至调整后的第三位置符合要求。
6. 将位置指示器（PI）的调整螺钉（5）向右或左旋转，直至用于控制中间位置的位置指示
器开关关闭。
（销 3与4闭合。参见产品数据表。）
无电磁先导阀 带电磁先导阀
阀板位置 进气口 阀板位置 电磁先导阀
打开 关闭 中间 V1 V2
打开
+
-
-
打开
+
-
中间
-
+
+
中间
-
+
关闭
-
+
-
关闭
-
-
+
=
压缩空气通于所示端口
+
=
线圈通电
-
=
压缩空气未通于所示端口
-
=
线圈断电
操作 168
系列
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1 电磁阀 “V1”
2 电磁阀 “V2”
3 夹紧螺钉
4 调整螺钉
5 位置指示器
调整螺钉
图 5-2
5.6 故障排除
故障 检查 措施 参考
阀门无法关闭/打
开
空气压力
连接压缩空气 4.3 压缩空气连接
工作压力
调整工作压力
产品数据表
电磁阀的电压
连接电压
4.4 电气连接
阀板处泄漏
阀板密封是否正
常？ 更换阀板密封圈 6.3 更换阀板密封圈和阀盖密
封件
阀板损坏或污染？
更换阀板密封圈
6.3 更换阀板密封圈和阀盖密
封件
工作压力
调整工作压力
产品数据表
阀体处泄漏
阀盖密封件和密封
面是否正常？ 清洁密封面，如有
必要，请更换阀盖
密封件
6.3 更换阀板密封圈和阀盖密
封件
表 5-1
欲了解更多详情，请与您所在地区的维修中心联系。您可通过网站 www.vatvalve.com
查找相应地址。
168 系列 维护
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6 维护
警告
无证人员
不当操作可能导致重伤或财产受损。
因此，仅允许持证人员开展上述操作。
警告
重物
请勿人工搬运。
须用起重机起吊阀嵌座。
警告
危险部件
可能卡住（附近人员的）身体部位并导致严重伤害。
开始维护作业前：
- 停止供应压缩空气
- 断开电源
警告
活动部件
可能卡住（附近人员的）身体部位并导致严重伤害。
请避免身体的任何部位靠近活动部件。
6.1 维护间隔时间
在清洁工作状态下，阀门在规定的工作周期内无需任何维护作业；详见产品数据表。在
阀门经过了规定的工作周期后，VAT 建议更换机构单元；详见第 6.4 章“更换阀板密封圈和阀
盖密封件”。
欲了解更多详情或常规检修情况，请与您所在地区的维修中心联系。您可通过网站
www.vatvalve.com 查找相应地址。
维护 168
系列
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6.2 所需工具
• 扭力扳手 128 Nm
• 浸过乙醇溶液（浓度 2%的甲基乙基酮）的无尘布
• O 型圈拆卸工具；详见第 27 页中的表 11-1。
图 6-1
6.3 更换阀板/机构单元
注意
污染
产品可能会受到污染。
在操作本产品时，请务必佩戴洁净室专用无尘手套。
注意
不适用的工具
密封面可能会受损。
请勿使用锋利工具。
括号中的数字参见第 12.1 章中的组装图与第 12.2 章中的阀板机构组装图。
请注意！仅当阀门处于打开位置时可移开阀盖（19）。
1. 将任意一侧的腔室放空至大气压。
2. 断开电源。
3. 通过电磁阀上的应急按钮打开阀门。
阀盖过重（2/1）!执行以下步骤前，请确保阀盖支撑牢固，不会因自身重量过
大而掉落。请在尺寸图中标注的连接点安装起吊用吊环螺栓。
4. 取下阀盖螺钉（61/1）。
5. 小心地移开阀盖（2/1）。
6. 将阀盖（2/1）放置在干净平整的表面上，并固定，防止造成任何危险。
168 系列 维护
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7. 取下位置指示器的螺钉（42/1/33）。
8. 拆下位置指示器（42）。
9. 取下中心环的螺钉（42/7）。
10. 拆下中心环（42/4）。
11. 取下柱塞螺钉(42/6)。
12. 拆下柱塞 （42/5）。
阀板机构（21）过重！执行以下步骤前，请确保阀板机构的支撑牢固，不会因
自身重量过大而掉落。
13. 取下阀板机构的紧固螺钉（61/10）。
14. 拆下阀板机构（21）。
15. 将阀板机构（21）放置在干净平整的表面上，并固定，防止造成任何危险。
16. 用无尘布清洁阀板密封圈（32）与背板密封圈（33），参见第 29 页上的图 12-2 或使用
O型圈拆卸工具予以更换（若必要）。
17. 用无尘布清洁阀体（1/1）内的阀座与背板座表面。
18. 用无尘布清洁阀盖密封件（2/2）或予以更换（若必要）。
19. 用无尘布清洁阀体（1/1）阀盖密封件的表面。
阀板机构（21）过重！执行以下步骤前，请确保阀板机构的支撑牢固，不会因
自身重量过大而掉落。
20. 安装阀板机构（21）。
21. 使用 128Nm 的扭矩扳手拧紧阀板机构的紧固螺钉（61/10），固定阀板机构（21）。
（需略微润滑螺钉）
安装在阀板机构上的吊环螺栓会严重损坏阀门！执行以下步骤前，请取下阀板
机构上的吊环螺栓。
22. 盖上阀盖（2/1），拧紧阀盖螺钉（61/1）。
23. 通过电磁阀上的应急按钮关闭阀门。
24. 用两颗柱塞螺钉（42/6）固定柱塞（42/5）。
25. 用中心环螺钉（42/7）固定中心环（42/4）。
维护 168
系列
20/29 2018-09-19 版 603171CA
26. 用位置指示器螺钉（42/1/33）固定位置指示器（42）。
27. 接通电源。
阀门准备就绪待用。
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