TruStability
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基板実装圧力センサ
HSCシリーズ — 高精度、補正/増幅
±1.6 mbar～±10 bar | ±160 Pa～±1 MPa | ±0.5 inH
2
O～±150 psi
デジタルまたはアナログ出力
デ ータシート
2
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TruStability
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基板実装圧力センサ
TruStability
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高 精 度 シリコン セラミック（ HSC）シリーズは、ピエゾ抵抗シリコン圧力センサで、レシオメトリックなアナログまたはデジタル出力
を提供し、指定したフルスケール圧力スパンおよび温度範囲にわたって圧力を読み取ります。
HSCシリーズは内蔵の特定用途向け集積回路（ASIC）を使用し、センサオフセット、感度、温度の影響、非直線性に対し、完全な較正および温度
補正を行います。較正された圧力の出力値は、アナログでは約
1kHz、デジタルでは約2kHzで更新されます。
HSCシリーズは0 °C～50 °C [32 °F～122 °F].の温度範囲で較正されます。センサは3.3 Vdcまたは5.0 Vdcのいずれかの単一電源で動作します。
シリーズセンサは絶対圧、ゲージ圧、差圧を計測します。絶対圧バージョンは内部真空基準を備え、絶対圧に比例した出力値を提供します。ゲー
ジ圧バージョンは気圧を基準とし、気圧の変化に比例した出力値を提供します。差圧バージョンは
2つの圧力ポート間の圧力差を計測できます。
TruStability
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圧力センサは空気やその他の乾性ガスなどの非腐蝕性、非イオン性ガスへの使用を目的としています。40 mbar | 4 kPa |
20 inH
2
Oを超える圧力範囲の非腐蝕性、非イオン性の液体に適用を拡大できるオプションも用意されています。
すべての製品は
ISO 9001標準に準拠して設計および製造されています。
安定性 • 精度 • 柔軟性 • 小型サイズ
TruStability
圧力センサの優れた特性
• 安定性と信頼性
•
±0.25 %FSS BFSLの業界トップクラスの高精度
• ポートおよびハウジングオプションによる統合の簡略化
•
±1.6 mbar～±10 bar | ±160 Pa～±1 MPa |
±0.5 inH
2
O～±150 psiの広い圧力範囲
• 小型のパッケージサイズ
• きわめて少ない電力消費
,
目次
機 能 とメリット 3-5
用途例 6
一般的仕様 7-8
アナログ動作仕様 9
デジタル動作仕様 10
伝達関数範囲 11
全誤差範囲値 12
命名法と注文ガイド 13
圧力範囲仕様
±1.6 mbar～±10 bar 14
±160 Pa～±1 MPa 15
±0.5 inH
2
O～±150 psi 16
使用可能な全標準構成 17-18
寸法図
DIPパッケージ 19-21
SMTパッケージ 21-24
SIPパッケージ 24-29
ピンアウト、PCBレ イアウト 30
TruStability
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基板実装圧力センサポートフォリオ
概要 31
追加情報 32
3
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ハネウェル専有技術
高感度、高い最大圧力、高い破裂圧力に業界トップクラスの安定性を兼ね備え、同一製品では
実現の難しい性能要素を提供します。これによりセンサ実装の柔軟性が改善し、圧力の微細な
変化を検知する機能を犠牲にすることなく、センサ保護に関する設計要件を軽減します。
多数の世界的な特許によって保護
業界トップクラスの長期安定性
長期的な使用や極端な温度にさらされた後も、センサの安定性はクラス最高レベルを保ち
ます。
• システム較正の必要性を最小化
• システム性能を向上
• アプリケーション耐用期間中の点検修理やセンサ交換の必要性を最低限に抑え、 シス
テムの稼働時間をサポート
全誤差範囲（TEB）
ハネウェルは、センサの実際の性能を0 °C～50 °C [32 °F～122 °F] の補正範囲で提供す
る
TEB（最も包括的で、明確、有意な計測）を指定します（図1参 照 ）。
• 各センサの個別のテストと較正の必要性を最低限に抑え、製造時間を短縮し処理コスト
を低減
• システム精度を向上
• センサの互換性を改善し、部品ごとの精度の差を最小化
機 能 とメリット
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
=
=
図1TruStability
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基板実装圧力センサのTEBコン ポ ー ネント
4
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機 能 とメリット
業界トップクラスの精度
±0.25 %FSS BFSL（フルスケールスパンベストフィット直線）のきわめて厳密な精度によっ
て、システムの誤差を修正するために必要なソフトウェアを減らし、システム設計時間を最低
限に抑えます。
• 顧客による追加の較正が不要
• システム効率を改善
• ソフトウェア開発を簡略化
高い破裂圧力
• システムの信頼性を改善し、システムのダウンタイムの可能性を低減
• 設計プロセスを簡略化
高い使用圧力範囲
較正された圧力範囲を大きく上回っても、継続的に超低圧センサを使用可能
業界トップクラスの柔軟性
モジュール式の柔軟な設計で、多数のパッケージ形式（業界トップクラスの安定性は同じ）、
圧力ポート、オプションを提供し、デバイス製造メーカーの用途に容易に適合します。
圧力範囲の多様性
±1.6 mbar～±10 bar | ±160 Pa～±1 MPa | ±0.5 inH
2
O～150 psiで、様々な独自の用途
に 対 応 し ま す 。
IPC/JEDEC J-STD-020D.1 乾湿レベル1の要件に対応
• はんだリフロー接続時の熱損傷および機械的損傷や、低定格製品が原因の修理を回避
• 指定の保管条件（
30 ºC/85 %RH以下）での保存可能期間は無制限であるため、保管
を容易にし、廃棄が減少
• リフロー前に時間のかかるベークの必要なし
• リフロー処理後すぐに安定し使用できるため、効率的な製造が可能
オプションの内部診断機能
• システム内の冗長センサの必要性を低減
• バーストセンサを含むほとんどの内部障害を検出
優れたエネルギー効率
きわめて少ない電力消費（標準10 mW未 満 ）
• システム電力要件を軽減
• バッテリー寿命を拡張
• 特別な要求に応じてオプションのスリープモードが利用可能
出力: レシオメトリックなアナログ、I
2
CまたはSPIと互換性のある14ビットデジタル出
力（
12ビット以上のセンサ分解能）
低減された変換要件と、マイクロプロセッサと直接インタフェースできる利便性のため、処理
速度が向上します。
5
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機 能 とメリット
小型サイズ
10 mm x 10 mm [0.39インチ x 0.39インチ]の小型パッケージは、他の多くの基盤実装圧
力センサに比べ非常に小型です。
•
PCB上に占める面積が縮小
• 込み合った
PCB上や小型デバイス内への配置が容易
REACH規則とRoHS指令に準拠
液体媒体オプション
• 結露する環境での堅牢性
• 多様な非イオン性液体に対応
•
40 mbar | 4 kPa | 20 inH
2
0を超える圧力範囲に利用可能
6
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医療向け
• エアフローモニタ
• 麻酔器
• 血液分析器
• ガスクロマトグラフィ
• ガス流量計
• 腎臓透析装置
• 酸素コンセントレータ
• 空気圧制御
• 呼吸器
• 睡眠時無呼吸関連装置
• ベンチレータ
• スパイロメータ
• ネブライザ
• 病室の空気圧
工業向け
• 気圧測定
• フロー較正装置
• ガスクロマトグラフィ
• ガス流量計
• HVAC
• 生命科学
• 空気圧制御
• VAV（可変風量）制御
• HVACフィルタの目詰まり検知
• HVACトランスミッタ
• 室内空気質
用途例
7
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一般的仕様
表1：絶対最大定格
1
特性 最小 最大 単位
供給電圧（
V
supply
）
-0.3 6.0 Vdc
各ピンの電圧
-0.3
V
supply
+ 0.3
V
デジタルインタフェースクロック周 波数:
I
2
C
SPI
100
50
400
800
kHz
ESD
耐圧（人体モデル）
3 — kV
保管温度 -40 [-40] 85 [185] °C [°F]
はんだ付けの時間と温度:
鉛はんだ温度（SIP、DIP）
ピークリフロー温度（
SMT）
250 °C [482 °F]で4秒以内
250 °C [482 °F]で15秒以内
1
絶対最大定格は、損傷を受けずに耐えることができる最大範囲です。
表2：環境仕様
特性 パラメータ
湿度
:
ガスのみ（図4の「 オ プ シ ョ ン NおよびD」参 照 ）
液体媒体（図
4の「 オ プ シ ョ ン TおよびV」参 照 ）
0% ～ 95% RH、非結露
湿度
100%または直接の液体媒体（ポート1）
振動
MIL-STD-202G、方 法 204D、条 件 B（15 g、10 Hz～2 Hz）
衝撃
MIL-STD-202G、方 法 213B、条 件 C（100 g、6 ms 持続時間）
耐用期間
1
100万回以上の圧力サイクル
はん だリフロ ー
J-STD-020-D.1 感湿レベル1
（30 °C/85 % RH以下で保管した場合の保存可能期間は無制限）
1
耐用期間はセンサの用途によって異なる場合があります。
8
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警告
液体媒体オプション（60 MBAR | 6 KPA | 1 PSI以上でのみ使用可能）を使用するセンサに関する製品の破損
• 液体媒体は必ずポート1のみに使用してください。ポート2は液体に対応していません。
• 液体媒体に粒子が含まれていないことを確認してください。すべての
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センサは端部が閉じています。粒子はセンサ内に堆積して破損を
引き起こしたりセンサ出力に影響を及ぼすことがあります。
• センサはポート
1を下向きにして配置することをお勧めします。ポートが下向きであれば、微粒子が装置内に入って堆積する可能性が少なくなります。
• 乾燥時に液体媒体のかすが残っていないことを確認してください。センサ内にかすが堆積するとセンサの出力に影響を及ぼすことがあります。端部
が閉じたセンサのすすぎは容易ではなく、かすを取り除く効果は限られています。
• 液体媒体が接液部材質と適合することを確認してください。適合性のない液体媒体はセンサの性能を低下させ、センサの故障につながる可能性が
ありま す。
上記事項が守られなかった場合、製品の破損につながる可能性があります。
表4：セ ン サ 圧 力 タ イプ
圧力タイプ 説明
絶対圧 出力は加えられた圧力と内蔵の真空基準値の差に比例します。
差圧 出力は各ポート（ポート
1 – ポート2）に加えられた圧力の差に比例します。
ゲージ圧 出力は加えられた圧力と大気圧の差に比例します。
一般的仕様
表3：接液部材質
1
コンポ ー ネント ポート1（圧力ポート） ポート2（基準ポート）
ポ ートとカ バ ー 高温ポリアミド 高温ポリアミド
基板 アルミナセ ラミック アルミナセ ラミック
接着剤 エポキシ、シリコン エポキシ、シリコン
電 子コン ポ ー ネント セ ラ ミ ッ ク 、シ リ コ ン 、ガ ラ ス 、は ん だ シ リ コ ン 、ガ ラ ス 、金
1
素材の詳細情報についてはハネウェルカスタマーサービスにお問い合わせください。
9
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表5アナログ動作仕様
特性 最小 標準 最大 単位
供給電圧（V
supply
）:
1, 2, 3
圧力範囲 60 mbar | 6 kPa | 1 psi以上:
3.3 Vdc
5.0 Vdc
圧力範囲 40 mbar | 4 kPa | 20 inH
2
O以下:
3.3 Vdc
5.0 Vdc
3.0
4.75
3.27
4.95
3.3
5.0
3.3
5.0
3.6
5.25
3.33
5.05
Vdc
供給電流:
3.3 Vdc
5.0 Vdc
—
—
2.1
2.7
2.8
3.5
mA
作動温度範囲
4
-20 [-4]
—
85 [185] °C [°F]
補正温度範囲
5
0 [-32]
—
50 [122] °C [°F]
立上り時間（電源投入からデータ準備完了まで）
— — 5 ms
応答時間
— 1 — ms
クリッピング 限 界 :
上限
下限
—
2.5
—
—
97.5
—
%Vsupply
精度
6
— — ±0.25
%FSS BFSL
8
出力分解能
0.03 — — %FSS
指向性感度（±1 g）:
7, 9
圧力範囲40 mbar | 4 kPa | 20 inH
2
O以下
圧力範囲 2.5 mbar | 250 Pa | 1 inH
2
O以下
—
—
±0.1
±0.2
—
—
%FSS
8
1
センサは選択したカタログ一覧に基づき3.3 Vdcまたは5.0 Vdcのいずれかです。
2
センサのレシオメトリック性（供給電圧に比例したデバイス出力の変動）は、指定された作動電圧内で実現します。
3
センサは逆極性保護が施されていません。供給電圧の誤った使用や、間違ったピンを使用した接地は、電気的故障の原因となります。
4
作動温度範囲：センサが圧力に比例して出力を生成する温度範囲。
5
補正温度範囲:指定された性能範囲内でセンサが圧力に比例して出力を生成する温度範囲。
6
精度:BFSL（ベストフィットストレートライン）からの出力最大偏差。25 °C [77 °F]で圧力範囲に対して計測した出力に適切。圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、非再現性が原
因のすべてのエラーを含みます。
7
指向性感度:地球の重力場による位置や方向の変動が原因の、センサのオフセットにおける最大変動
8
フルスケールスパン（FSS）:圧力範囲の最大値（Pmax）および最小値（Pmin）で測定された出力信号間の数式上の差。（範囲については図4を参照）
9
40 mbar | 4 kPa | 20 inH
2
Oを超える圧力範囲については影響なし
アナログ動作仕様
10
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表7：有意な割合でのセンサ出力（デジタルバージョンのみ）
%出力 デ ジ タ ル カ ウ ン ト（ 10進数） デ ジ タ ル カ ウ ン ト（ 6進数）
0 0 0x0000
10 1638 0x0666
50 8192 0x2000
90 14746 0x399A
100 16383 0x3FFF
表6：デジタル動作仕様
特性 最小 標準 最大 単位
供給電圧（
V
supply
）
:
1,
2,
3
圧力範囲 60 mbar | 6 kPa | 1 psi以上:
3.3 Vdc
5.0 Vdc
圧力範囲 40 mbar | 4 kPa | 20 inH
2
O以下:
3.3 Vdc
5.0 Vdc
3.0
4.75
3.27
4.95
3.3
5.0
3.3
5.0
3.6
5.25
3.33
5.05
Vdc
供給電流:
3.3 Vdc
5.0 Vdc
—
—
3.1
3.7
3.9
4.6
mA
作動温度範囲
4
-20 [-4]
—
85 [185] °C [°F]
補正温度範囲
5
0 [-32]
—
50 [122] °C [°F]
立上り時間（電源投入からデータ準備完了まで）
— — 3
ms
応答時間
— 0.46 —
ms
SPI
/I
2
C圧力レベル:
低
高
—
80
—
—
20
—
%Vsupply
SDA
/MISO, SCL/SCLK, SSのプルアップ
1 — —
kOhm
精度
6
— — ±0.25
%FSS
BFSL
8
出力分解能
12 — —
ビ ット
指向性感度（
±1 g）:
7,
9
圧力範囲40 mbar | 4 kPa | 20 inH
2
O以下
圧力範囲 2.5 mbar | 250 Pa | 1 inH
2
O以下
—
—
±0.1
±0.2
—
—
%FSS
8
1
センサは選択したカタログ一覧に基づき3.3 Vdcまたは5.0 Vdcのいずれかです。
2
センサのレシオメトリック性（供給電圧に比例したデバイス出力の変動）は指定された作動電圧内で実現します。
3
センサは逆極性保護が施されていません。供給電圧の誤った使用や、間違ったピンを使用した接地は、電気的故障の原因となります。
4
作動温度範囲：センサが圧力に比例して出力を生成する温度範囲。
5
補正温度範囲:指定された性能範囲内でセンサが圧力に比例して出力を生成する温度範囲。
6
精度:BFSL（ベストフィットストレートライン）からの出力最大偏差。25 °C [77 °F]で圧力範囲に対して計測した出力に適切。圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、非再現性が原
因のすべてのエラーを含みます。
7
指向性感度:地球の重力場による位置や方向の変動が原因の、センサのオフセットにおける最大変動。
8
フルスケールスパン（FSS）:圧力範囲の最大値（Pmax）および最小値（Pmin）で測定された出力信号間の数式上の差。（範囲については図4を参照）
9
40 mbar | 4 kPa | 20 inH
2
Oを超える圧力範囲については影響なし。
デジタル動作仕様
11
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伝達関数範囲
図2伝達関数範囲1
アナログ バ ージョン
デジタル バ ージョン
1
伝達関数「A」を表示。その他の伝達関数オプションについては図4を参照してください。
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
1
2 3456
7
8
9
10
1%
0
P
min.
P
max.
%Vsupply
0.8 x Vsupply
P
max.
– P
min.
Output (V) =
x (Pressure
applied
– P
min.
) + 0.10 x Vsupply
80%
P
max.
– P
min.
Output (% of 2
14
counts) =
x (Pressure
applied
– P
min.
) + 10%
Output (% of 2
14
counts)
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
1
23456
7
8
9
10
1%
0
P
min.
P
max.
12
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全誤差範囲値
図3フルスケールスパン圧力範囲の全誤差範囲値
4 mbar
10 inH
2
030 inH
2
0
Pressure
16x
5x
11x
18x
Calibrated Pressure Range
15x
30x
84x
159x
50x
250x
500 inH
2
0
1000 mbar
550 inH
2
0
Calibrated
Pressure Range (x)
Working Pressure
Range
Overpressure
(maximum)
Burst Pressure
(minimum)
%FSS
%FSS
2.5 mbar | 250 Pa
4 mbar | 400 Pa
1.6 mbar | 160 Pa
±1
±1.5
±2
±2.5
16 mbar | 1.6 kPa
25 mbar | 2.5 kPa
40 mbar | 4 kPa
60 mbar | 6 kPa
10 bar | 1 MPa
2.5 mbar | 250 Pa
6 mbar | 600 Pa
±1
±1.5
±2
±3
10 mbar | 1 kPa
2 inH
2
O
5 inH
2
O
10 inH
2
O
20 inH
2
O
150 psi
2 inH
2
O
5 inH
2
O
10 inH
2
O
20 inH
2
O
150 psi
0 inH
2
O
0 mbar | 0 Pa
0 inH
2
O
0 mbar | 0 Pa
10 bar | 1 MPa
16 mbar | 1.6 kPa
25 mbar | 2.5 kPa
40 mbar | 4 kPa
60 mbar | 6 kPa
0%
0%
1 psi
1 psi
10 mbar | 1 kPa
13
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図4命名法と注文ガイド
命名法と注文ガイド
H S C D N N N
1 5 0 P G A A 3
008B
DIP
HSC
/
5, 6
SMT
NN
AA
SIP
AN
LN
FF
FN
GN
NB
RN
HH
HN
MN
NN
AN
LN
RN
RR
DR
NN
AN
LN
RN
RR
DR
SN
DR
RR
JN
JJ
JN
JJ
JJ
JN
D
DIP
M
SMT
S
SIP
2
HSCDNNN150PGAA3 HSC TruStability
®
DIP NN
150 psi 10% 90% 3.3 Vdc
3, 4
N
D
T
1
V
1
A
S
SPI
2
I
2
C 0x28
3
I
2
C 0x38
4
I
2
C 0x48
5
I
2
C 0x58
6
I
2
C 0x68
7
I
2
C 0x78
3
3.3 Vdc
5
5.0 Vdc
1
Pmin Pmax Pmin Pmax
2
2
SPI SIP
3
4
4
5
6
T V ±60 mbar±10 bar | ±6 kPa ±1 MPa | ±1 psi ±150 psi
±0.5 inH
2
O±150 psi
±1.6 mbar±10 bar
015PA
030PA
060PA
100PA
150PA
001BA
1.6BA
2.5BA
004BA
006BA
010BA
0.5ND
001ND
002ND
004ND
005ND
010ND
020ND
030ND
001PD
005PD
015PD
030PD
060PD
001NG
002NG
004NG
005NG
010NG
020NG
030NG
001PG
005PG
015PG
030PG
060PG
100PG
150PG
1.6MD
2.5MD
004MD
006MD
010MD
016MD
025MD
040MD
060MD
100MD
160MD
250MD
400MD
600MD
001BD
1.6BD
2.5BD
004BD
2.5MG
004MG
006MG
010MG
016MG
025MG
040MG
060MG
100MG
160MG
250MG
400MG
600MG
001BG
1.6BG
2.5BG
004BG
006BG
010BG
0 bar1 bar
0 bar1.6 bar
0 bar2.5 bar
0 bar4 bar
0 bar6 bar
0 bar10 bar
±1.6 mbar
±2.5 mbar
±4 mbar
±6 mbar
±10 mbar
±16 mbar
±25 mbar
±40 mbar
±60 mbar
±100 mbar
±160 mbar
±250 mbar
±400 mbar
±600 mbar
±1 bar
±1.6 bar
±2.5 bar
±4 bar
0 mbar2.5 mbar
0 mbar4 mbar
0 mbar6 mbar
0 mbar10 mbar
0 mbar16 mbar
0 mbar25 mbar
0 mbar40 mbar
0 mbar60 mbar
0 mbar100 mbar
0 mbar160 mbar
0 mbar250 mbar
0 bar400 mbar
0 bar600 mbar
0 bar1 bar
0 bar1.6 bar
0 bar2.5 bar
0 bar4 bar
0 bar6 bar
0 bar10 bar
±160 Pa±1 MPa
100KA
160KA
250KA
400KA
600KA
001GA
160LD
250LD
400LD
600LD
001KD
1.6KD
2.5KD
004KD
006KD
010KD
016KD
025KD
040KD
060KD
100KD
160KD
250KD
400KD
250LG
400LG
600LG
001KG
1.6KG
2.5KG
004KG
006KG
010KG
016KG
025KG
040KG
060KG
100KG
160KG
250KG
400KG
600KG
001GG
0 kPa100 kPa
0 kPa160 kPa
0 kPa250 kPa
0 kPa400 kPa
0 kPa600 kPa
0 kPa1 MPa
±160 Pa
±250 Pa
±400 Pa
±600 Pa
±1 kPa
±1.6 kPa
±2.5 kPa
±4 kPa
±6 kPa
±10 kPa
±16 kPa
±25 kPa
±40 kPa
±60 kPa
±100 kPa
±160 kPa
±250 kPa
±400 kPa
0 Pa250 Pa
0 Pa400 Pa
0 Pa600 Pa
0 kPa1 kPa
0 kPa1.6 kPa
0 kPa2.5 kPa
0 kPa4 kPa
0 kPa6 kPa
0 kPa10 kPa
0 kPa16 kPa
0 kPa25 kPa
0 kPa40 kPa
0 kPa60 kPa
0 kPa100 kPa
0 kPa160 kPa
0 kPa250 kPa
0 kPa400 kPa
0 kPa600 kPa
0 kPa1 MPa
0 inH
2
O1 inH
2
O
0 inH
2
O2 inH
2
O
0 inH
2
O4 inH
2
O
0 inH
2
O5 inH
2
O
0 inH
2
O10 inH
2
O
0 inH
2
O20 inH
2
O
0 inH
2
O30 inH
2
O
0 psi1 psi
0 psi5 psi
0 psi15 psi
0 psi30 psi
0 psi60 psi
0 psi100 psi
0 psi150 psi
±0.5 inH
2
O
±1 inH
2
O
±2 inH
2
O
±4 inH
2
O
±5 inH
2
O
±10 inH
2
O
±20 inH
2
O
±30 inH
2
O
±1 psi
±5 psi
±15 psi
±30 psi
±60 psi
0 psi15 psi
0 psi30 psi
0 psi60 psi
0 psi100 psi
0 psi150 psi
1
A
B
C
F
2
14
10%90%
2
14
5%95%
2
14
5%85%
2
14
4%94%
1
伝達関数の範囲は、任意の圧力入力におけるセンサの出力を定義します。PminとPmax、PminとPmaxにおける出力を指定することで、センサの完全な伝達関数が定義されます。図2の伝達関数に関するグラフ表示を参照してくださ
い。その他の有効な伝達関数については、ハネウェルカスタマーサービスに問い合わせください。
2
SPIの出力関数はSIPパッケージでは利用できません。
3
カスタムの圧力範囲が利用できます。詳細情報についてはハネウェルカスタマーサービスにお問い合わせください。
4
表4のセンサ圧力タイプに関する説明を参照してください。
5
本書の警告を参照してください。
6
オプ ション TおよびVは、圧力範囲±60 mbar～±10 bar | ±6 kPa～±1 MPa | ±1 psi～±150 psiでのみ利用可能です。
14
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表8：±1.6 mbar～±10 barの圧力範囲仕様
圧力範囲
（図4を参
照）
圧力範囲
単位 使用圧力
1
最大
圧力
2
破裂圧力
3
コモンモード
圧力
4
全誤差範囲
5
（%FSS）
オートゼロ後の全
誤差範囲
6
（%FSS）
長期安定性
1000時間、25 °C
（%FSS）
Pmin
Pmax
絶対圧
001BA 0 1 bar - 2 4 - ±1% - ±0.25%
1.6BA 0 1.6 bar - 4 8 - ±1% - ±0.25%
2.5BA 0 2.5 bar - 6 8 - ±1% - ±0.25%
004BA 0 4 bar - 8 16 - ±1% - ±0.25%
006BA 0 6 bar - 17 17 - ±1% - ±0.25%
010BA 0 10 bar - 17 17 - ±1% - ±0.25%
差圧
1.6MD -1.6 1.6 mbar 335 675 1000 3450 ±2.5% ±1.75% ±0.5%
2.5MD -2.5 2.5 mbar 335 675 1000 3450 ±2% ±1.25% ±0.35%
004MD -4 4 mbar 335 675 1000 3450 ±1.5% ±0.75% ±0.35%
006MD -6 6 mbar 335 675 1000 3450 ±1% ±0.75% ±0.35%
010MD -10 10 mbar 375 750 1250 5450 ±1% ±0.5% ±0.25%
016MD -16 16 mbar 375 750 1250 5450 ±1% ±0.5% ±0.25%
025MD -25 25 mbar 435 850 1350 10450 ±1% ±0.5% ±0.25%
040MD -40 40 mbar 435 850 1350 10450 ±1% ±0.5% ±0.25%
060MD -60 60 mbar - 850 1000 10000
±1%
- ±0.25%
100MD -100 100 mbar - 1400 2500 10000 ±1% - ±0.25%
160MD -160 160 mbar - 1400 2500 10000 ±1% - ±0.25%
250MD -250 250 mbar - 1400 2500 10000 ±1% - ±0.25%
400MD -400 400 mbar - 2000 4000 10000 ±1% - ±0.25%
600MD -600 600 mbar - 2000 4000 10000 ±1% - ±0.25%
001BD -1 1 bar - 4 8 10 ±1% - ±0.25%
1.6BD -1.6 1.6 bar - 8 16 10 ±1% - ±0.25%
2.5BD -2.5 2.5 bar - 8 16 10 ±1% - ±0.25%
004BD -4.0 4.0 bar - 16 17 10 ±1% - ±0.25%
ゲージ圧
2.5MG 0 2.5 mbar 335 675 1000 3450 ±3% ±2% ±0.5%
004MG 0 4 mbar 335 675 1000 3450 ±2% ±1.25% ±0.5%
006MG 0 6 mbar 335 675 1000 3450 ±2% ±1% ±0.35%
010MG 0 10 mbar 335 675 1000 3450 ±1.5% ±0.75% ±0.35%
016MG 0 16 mbar 335 675 1000 3450 ±1% ±0.75% ±0.25%
025MG 0 25 mbar 375 750 1250 5450 ±1% ±0.5% ±0.25%
040MG 0 40 mbar 375 750 1250 5450
±1% ±0.5% ±0.25%
060MG 0 60 mbar - 850 1000 5450 ±1% ±0.5% ±0.25%
100MG 0 100 mbar - 850 1000 10000 ±1% - ±0.25%
160MG 0 160 mbar - 850 1000 10000 ±1% - ±0.25%
250MG 0 250 mbar - 1400 2500 10000 ±1% - ±0.25%
400MG 0 400 mbar - 2000 4000 10000 ±1% - ±0.25%
600MG 0 600 mbar - 2000 4000 10000 ±1% - ±0.25%
001BG 0 1 bar - 2 4 10 ±1% - ±0.25%
1.6BG 0 1.6 bar - 4 8 10 ±1% - ±0.25%
2.5BG 0 2.5 bar - 8 16 10 ±1% - ±0.25%
004BG 0 4 bar - 8 16 16 ±1% - ±0.25%
006BG 0 6 bar - 17 17 17 ±1% - ±0.25%
010BG 0 10 bar - 17 17 17 ±1% - ±0.25%
1
使用圧力:継続使用時に、センサの任意のポートに加えることができる最大圧力。この圧力は作動圧力範囲（Pmin～Pmax）外であることも可能ですが、その場合、圧力が作動圧力範囲内に戻るまで、セ
ンサが有効な出力を提供できないことがあります。
100万サイクル以上テスト済み。
2
最大圧力:製品に安全に加えることができる最大圧力。この圧力までなら、圧力が作動圧力範囲に戻ったときに製品が仕様の範囲内で動作することができます。これより高い圧力を加えると、製品に回復
不可能な損傷を与えることがあります。他に特に規定がない限り、この値は作動温度範囲の任意の温度にある使用可能なすべての圧力ポートに適用されます。
3
破裂圧力：圧力媒体の漏れを起こさずに、製品の任意のポートに加えることができる最大圧力。製品は 破裂圧力を超える圧力を加えると、機能しなくなります。
4
コモンモード圧力:仕様の性能を変えることなく、差圧センサの2つのポートに同時にかけることができる最大圧力。
5
全誤差範囲:補正温度と圧力範囲全体の、理想的な伝達関数からの最大偏差。オフセット、フルスケールスパン、圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、再現性、オフセットへの熱効果、スパンへの熱効果、
サーマルヒステリシスが原因のすべてのエラーを含みます（図1参 照 ）。
6
オートゼロ後の全温度範囲:オートゼロ後最低24時間の一定の温度と電圧における補正圧力範囲全体の、理想的な伝達関数からの最大偏差。フルスケールスパン、圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、
スパンへの熱効果が原因のすべてのエラーを含みます。
圧力範囲仕様
±1.6 mbar～±10 bar
15
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圧力範囲仕様
±160 Pa～±1 MPa
表9：±160 Pa～±1 MPaの圧力範囲仕様
圧力範囲
（図4参照）
圧力範囲
単位 使用圧力
1
最大
圧力
2
破裂圧力
3
コモンモード
圧力
4
全誤差範囲
5
（%FSS）
オートゼロ後の全
誤差範囲
6
（%FSS）
長期安定性
1000時間、25 °C
（%FSS）
Pmin
Pmax
絶対圧
100KA 0 100 kPa - 200 400 - ±1% - ±0.25%
160KA 0 160 kPa - 400 800 - ±1% - ±0.25%
250KA 0 250 kPa - 600 800 - ±1% - ±0.25%
400KA 0 400 kPa - 800 1600 - ±1% - ±0.25%
600KA 0 600 kPa - 1700 1700 - ±1% - ±0.25%
001GA 0 1 MPa - 1700 1700 - ±1% - ±0.25%
差圧
160LD -160 160 Pa 33500 67500 100000 345000 ±2.5% ±1.75% ±0.5%
250LD -250 250 Pa 33500 67500 100000 345000 ±2% ±1.25% ±0.35%
400LD -400 400 Pa 33500 67500 100000 345000 ±1.5% ±0.75% ±0.35%
600LD -600 600 Pa 33500 67500 100000 345000 ±1% ±0.75% ±0.35%
001KD -1 1 kPa 37.5 75 125 545 ±1% ±0.5% ±0.25%
1.6KD -1.6 1.6 kPa 37.5 75 125 545 ±1% ±0.5% ±0.25%
2.5KD -2.5 2.5 kPa 43.5 85 135 1045 ±1% ±0.5% ±0.25%
004KD -4 4 kPa 43.5 85 135 1045 ±1% ±0.5% ±0.25%
006KD -6 6 kPa - 85 100 1000
±1%
- ±0.25%
010KD -10 10 kPa - 140 250 1000 ±1% - ±0.25%
016KD -16 16 kPa - 140 250 1000 ±1% - ±0.25%
025KD -25 25 kPa - 140 250 1000 ±1% - ±0.25%
040KD -40 40 kPa - 200 400 1000 ±1% - ±0.25%
060KD -60 60 kPa - 200 400 1000 ±1% - ±0.25%
100KD -100 100 kPa - 400 800 1000 ±1% - ±0.25%
160KD -160 160 kPa - 800 1600 1000 ±1% - ±0.25%
250KD -250 250 kPa - 800 1600 1000 ±1% - ±0.25%
400KD -400 400 kPa - 1600 1700 1000 ±1% - ±0.25%
ゲージ圧
250LG 0 250 Pa 33500 67500 100000 345000 ±3% ±2% ±0.5%
400LG 0 400 Pa 33500 67500 100000 345000 ±2% ±1.25% ±0.5%
600LG 0 600 Pa 33500 67500 100000 345000 ±2% ±1% ±0.35%
001KG 0 1 kPa 33.5 67.5 100 345 ±1.5% ±0.75% ±0.35%
1.6KG 0 1.6 kPa 33.5 67.5 100 345 ±1% ±0.75% ±0.25%
2.5KG 0 2.5 kPa 37.5 75 125 545 ±1% ±0.5% ±0.25%
004KG 0 4 kPa 37.5 75 125 545 ±1% ±0.5% ±0.25%
006KG 0 6 kPa - 85 100 545 ±1% ±0.5% ±0.25%
010KG 0 10 kPa - 85 100 1000 ±1% - ±0.25%
016KG 0 16 kPa - 85 100 1000 ±1% - ±0.25%
025KG 0 25 kPa - 140 250 1000 ±1% - ±0.25%
040KG 0 40 kPa - 200 400 1000 ±1% - ±0.25%
060KG 0 60 kPa - 200 400 1000 ±1% - ±0.25%
100KG 0 100 kPa - 200 400 1000 ±1% - ±0.25%
160KG 0 160 kPa - 400 800 1000 ±1% - ±0.25%
250KG 0 250 kPa - 800 1600 1000 ±1% - ±0.25%
400KG 0 400 kPa - 800 1600 1600 ±1% - ±0.25%
600KG 0 600 kPa - 1700 1700 1700 ±1% - ±0.25%
001GG 0 1 MPa - 1.7 1.7 1.7 ±1% - ±0.25%
1
使用圧力:継続使用時に、センサの任意のポートに加えることができる最大圧力。この圧力は作動圧力範囲（Pmin～Pmax）外であることも可能ですが、その場合、圧力が作動圧力範囲内に戻るまで、セ
ンサが有効な出力を提供できないことがあります。
100万サイクル以上テスト済み。
2
最大圧力:製品に安全に加えることができる最大圧力。この圧力までなら、圧力が作動圧力範囲に戻ったときに製品が仕様の範囲内で動作することができます。これより高い圧力を加えると、製品に回復
不可能な損傷を与えることがあります。他に特に規定がない限り、この値は作動温度範囲の任意の温度にある使用可能なすべての圧力ポートに適用されます。
3
破裂圧力：圧力媒体の漏れを起こさずに、製品の任意のポートに加えることができる最大圧力。製品は 破裂圧力を超える圧力を加えると、機能しなくなります。
4
コモンモード圧力:仕様の性能を変えることなく、差圧センサの2つのポートに同時にかけることができる最大圧力。
5
全誤差範囲:補正温度と圧力範囲全体の、理想的な伝達関数からの最大偏差。オフセット、フルスケールスパン、圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、再現性、オフセットへの熱効果、スパンへの熱効果、
サーマルヒステリシスが原因のすべてのエラーを含みます（図1参 照 ）。
6
オートゼロ後の全温度範囲:オートゼロ後最低24時間の一定の温度と電圧における補正圧力範囲全体の、理想的な伝達関数からの最大偏差。フルスケールスパン、圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、
スパンへの熱効果が原因のすべてのエラーを含みます。
16
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仕様
±0.5 inH
2
O～±150 psi
表10：0.5 inH
2
o～150 psiの圧力範囲仕様
圧力範囲
（図4参照）
圧力範囲
単位 使用圧力
1
最大
圧力
2
破裂
圧力
3
コモンモード圧力
4
全誤差範囲
5
（%FSS）
オートゼロ後の全
誤差範囲
6
（%FSS）
長期安定性
1000時間、25 °C
（%FSS）
Pmin
Pmax
絶対圧
015PA 0 15 psi - 30 60 - ±1% - ±0.25%
030PA 0 30 psi - 60 120 - ±1% - ±0.25%
060PA 0 60 psi - 120 240 - ±1% - ±0.25%
100PA 0 100 psi - 250 250 - ±1% - ±0.25%
150PA 0 150 psi - 250 250 - ±1% - ±0.25%
差圧
0.5ND -0.5 0.5 inH
2
O 135 270 415 1400 ±3% ±2% ±0.5%
001ND -1 1 inH
2
O 135 270 415 1400 ±2% ±1.25% ±0.35%
002ND -2 2 inH
2
O 135 270 415 1400 ±1% ±0.75% ±0.35%
004ND -4 4 inH
2
O 150 300 500 2200 ±1% ±0.5% ±0.25%
005ND -5 5 inH
2
O 150 300 500 2200 ±1% ±0.5% ±0.25%
010ND -10 10 inH
2
O 175 350 550 4200 ±1% ±0.5% ±0.25%
020ND -20 20 inH
2
O 175 350 550 4200 ±1% ±0.5% ±0.25%
030ND -30 30 inH
2
O 175 350 550 4200 ±1% ±0.5% ±0.25%
001PD -1 1 psi - 10 15 150 ±1% - ±0.25%
005PD -5 5 psi - 30 40 150 ±1% - ±0.25%
015PD -15 15 psi - 60 120 150 ±1% - ±0.25%
030PD -30 30 psi - 120 240 150 ±1% - ±0.25%
060PD -60 60 psi - 250 250 250 ±1% - ±0.25%
ゲージ圧
001NG 0 1 inH
2
O
135 270 415 1400
±3% ±2%
±0.5%
002NG 0 2 inH
2
O 135 270 415 1400 ±2% ±1.25% ±0.35%
004NG 0 4 inH
2
O 135 270 415 1400 ±1.5% ±0.75% ±0.35%
005NG 0 5 inH
2
O 135 270 415 1400 ±1% ±0.75% ±0.25%
010NG 0 10 inH
2
O 150 300 500 2200 ±1% ±0.5% ±0.25%
020NG 0 20 inH
2
O 175 350 550 4200 ±1% ±0.5% ±0.25%
030NG 0 30 inH
2
O 175 350 550 4200 ±1% ±0.5% ±0.25%
001PG 0 1 psi - 10 15 150 ±1% - ±0.25%
005PG 0 5 psi - 30 40 150 ±1% - ±0.25%
015PG 0 15 psi - 30 60 150 ±1%
- ±0.25%
030PG 0 30 psi - 60 120 150 ±1% - ±0.25%
060PG 0 60 psi - 120 240 250 ±1% - ±0.25%
100PG 0 100 psi - 250 250 250 ±1% - ±0.25%
150PG 0 150 psi - 250 250 250 ±1% - ±0.25%
1
使用圧力:継続使用時に、センサの任意のポートに加えることができる最大圧力。この圧力は作動圧力範囲限界（Pmin～Pmax）外であることがあり、その場合、圧力が作動圧力範囲に戻るまで、センサ
が有効な出力を提供しないことがあります。
100万回以上テスト済み。
2
最大圧力:製品に安全に加えることができる最大圧力。この圧力までなら、圧力が作動圧力範囲に戻ったときに製品が仕様の範囲内で動作することができます。これより高い圧力を加えると、製品に回復
不可能な損傷を与えることがあります。他に特に規定がない限り、この値は作動温度範囲の任意の温度にある使用可能なすべての圧力ポートに適用されます。
3
破裂圧力：圧力媒体の漏れを起こさずに、製品の任意のポートに加えることができる最大圧力。製品は 破裂圧力を超える圧力を加えると、機能しなくなります。
4
コモンモード圧力:仕様の性能を変えることなく、差圧センサの2つのポートに同時にかけることができる最大圧力。
5
全誤差範囲:補正温度と圧力範囲全体の、理想的な伝達関数からの最大偏差。オフセット、フルスケールスパン、圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、再現性、オフセットへの熱効果、スパンへの熱効果、
サーマルヒステリシスが原因のすべてのエラーを含みます。
6
オートゼロ後の全温度範囲:オートゼロ後最低24時間の一定の温度と電圧における補正圧力範囲全体の、理想的な伝達関数からの最大偏差。フルスケールスパン、圧力の非線形性、圧力ヒステリシス、
スパンへの熱効果が原因のすべてのエラーを含みます。
17
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図5使用可能な全標準構成（寸法図は下に示すページに掲載）
パッケージ
コード
圧 力 ポ ート
DIP SMT SIP
NN
AA — —
AN
LN
FF
—
—
FN — —
GN — —
NB — —
RN
19ページ 21ページ
24ページ
24ページ
19ページ 22ページ
25ページ
19ページ 22ページ
25ページ
20ページ
22ページ
27ページ
26ページ
26ページ
26ページ
25ページ
使用可能な標準構成
18
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図5使用可能な全標準構成（続き）（寸法図は下に示すページに掲載）
パッケージ
コード
圧 力 ポ ート
DIP SMT SIP
RR
DR
JN — —
JJ
HH — —
HN — —
MN — —
SN — —
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23ページ
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29ページ
29ページ
29ページ
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使用可能な標準構成
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図6DIPパッケージ寸法図（参照用のみ、mm [インチ]）
寸法
DIP NN:ポ ートなし
DIP AN:シングルアクシャル
バーブポート
DIP LN:シングルアクシャル
バーブレスポート
1 2 3 4
10.0
[0.39]
1
8 7 6 5
6.2
[0.24]
2.54
[0.100]
9.24
[0.364]
11.21
[0.441]
7.95
[0.313]
13.75
[0.541]
4.93
[0.194]
2
6.99
[0.275]
8X 0.46
[0.018]
0.25
[0.010]
13.3
[0.5
3]
1
1
2
10.0
[0.39]
6.99
[0.275 ]
2.54
[0.100]
6.95
[0.274]
1.00
[0.039]
9.24
[0.364]
11.21
[0.441]
13.75
[0.541]
5.80
[0.228]
1 2 3 4
8 7 6 5
8X 0.46
[0.018]
0.25
[0.010]
2.47
[0.097]
13.3
[0.5
3]
1
10.0
[0.39]
6.99
[0.275]
1 2 3 4
8 7 6 5
10.85
[0.427]
9.24
[0.364]
5.44
[0.214]
2.54
[0.100]
8X 0.46
[0.018]
0.25
[0.010]
1 2
13.3
[0.5
3]
1
寸法図
DIPパッケージ
20
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図6DIPパッケージ寸法図（つづき）
寸法
DIP RN:シングルラジアル
バーブポート
DIP RR:デュアルラジアル
バーブポート、片側
DIP DR:デュアルラジアル
バーブポート、両側
10.0
[0.39]
1
1 2 3 4
8 7 6 5
6.16
[0.242]
9.24
[0.364]
2.54
[0.100]
15.76
[0.620]
11.21
[0.441]
2X 1.93
[0.076]
6.99
[0.275]
8X 0.46
[0.018]
0.25
[0.010]
1
2
3.78
[0.149]
13.3
[0.5
3]
2
1
13.3
[0.53]
10.0
[0.39]
6.99
[0.275]
1 2 3 4
8 7 6 5
11.21
[0.441]
9.24
[0.364]
5.80
[0.228]
2.54
[0.100]
8X 0.46
[0.018]
0.25
[0.010]
1.93
[0.076
]
4.2
[0.17]
2
8X 0.46
[0.018]
13.3
[0.53]
10.0
[0.39]
6.99
[0.275]
1 2 3 4
8 7 6 5
6.16
[0.242]
2.54
[0.100]
11.21
[0.441]
9.24
[0.364]
2X 1.93
[0.076
]
4.65
[0.183]
.25
[0.010]
1
2
1
2
4.0
[0.16]
3.78
[0.149
]
0
寸法図
DIPパッケージ
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