L-9904-2368-06-B
Data sheet
このデータシートでは、レニショー RPI20 パ ラレ ル インタ ーフェ
ースの概要と仕様について解説します。
RPI20は、ディファレンシャルのアナログ信号1 Vpp Sin/Cosを受
信し、4096倍の内挿分割を行い、位置決めデータを最大36ビット
のパラレルフォーマットで出力します。
ダブルパス平面鏡用干渉計システム(PMI)と併用する場合(正弦
波の基本信号周期158nm)、最 高 1m/sec速度で38.6ピコメートル
のLSBが得られます。
このシステムのアーキテクチャーはドーターボードと、1 枚 か 2 枚
(フォーマットによる)のドーターボードを取り付けられるように
特別に設計された「業界標準」(VME)のインターフェースマザー
ボードで構成されます。
多軸バスベースのシステムでは、各ドーターボードに最高7軸ま
での固有のアドレスを割り当てることが可能なスイッチが提供さ
れます。追加スイッチにより、LSB値の選択と方向認識の切り替え
を行うことができます。
各ドーターボードはアドレス指定可能な36ビット幅のレジスター
が搭載されており、位置決め、ステータス、制御情報を得ることが
できるようになっています。
RPI20パラレルインターフェース
VME構成では、P1(VMEインターフェース)コネクタに接続を行う
必要はなく、P2コネクタを介してすべての機能にアクセスするよ
うになっています。
次 ページ のタイミング 図 に はデ ータタイミング を示しています。
パラレルインターフェース性能
分解能 38.6 pm(ダブルパス平面鏡用干渉計 - PMI)
77.2 pm(シングルパス反射鏡用干渉計 - RRI)
最大追従速度 1 m/s(ダブルパス平面鏡用干渉計 - PMI)
2 m/s(シングルパス反射鏡用干渉計 - RRI)
最大更新速度 4 MHz(1軸 )
2.86 MHz(2軸)
2.22 MHz(3軸)
各軸を順番に読みだすことを想定した場合、
1軸を追加する毎に読み取り時間が100 nsずつ 長くなります。
データ遅れのばらつき < ±10 ns
SDEへの寄与(PMI) < ±0.5 nm(低帯域幅、速度 < 50 mm/sec) 70% - 120%(信号強度)
< ±2 nm(全帯域幅、速度 < 1 m/sec) 50% - 120% (信号強度)
ユーザーによる設定可能な機能 ベースアドレスの選択
LSB値( ダ ブ ル パ ス PMIで可能な選択値 - 38.6、77.2、154.4、308.8 pm)
検出方向
電源 各パラレルインターフェースのドーターボードごとに 5 V @ < 500 mA
接続 Dサブ15ピンコネクタ(干渉計/エンコーダ入力)(RPI20側がメス型)
60ピンJAEコ ネ ク タ( 36ビットパラレルデータ)(RPI20側がオス型)
動作環境
気圧 650-1150 ミリバール 標準大気
湿度 0-95% RH 結露なし
温度 10 °C - 40 °C
寸法 110 mmx72 mm(4.33インチx2.83インチ)