⑤-1. 移動端クランプ(A)を手で押して、後方の端まで移動さ
せます。
⑤-2. Z 寸法とY寸法の差が 1[m]当たり±10[mm]以内か確認
します。
⑤-3. ±10[mm]以内であれば、固定端クランプ(B)を確実に
固定します。注)
注)±10[mm]を超える差がある場合は、
固定端クランプ(B)の位置調整に
より、±10[mm]以内に合わせて
固定してください。
⑥-1. 移動端クランプ(A)を
フリースパン長さが最も長い
位置に移動させます。
⑥-2. X 寸法とW寸法の差が 1[m]当たり±10[mm]以内か
確認します。
⑥-3. ±10[mm]以内であれば、移動端クランプ(A)を確実
に固定します。注)
注)±10[mm]を超える差がある場合は、移動端クランプ
(A)の位置調整により、±10[mm]以内に合わせて
固定してください。
クリーンベヤは、必ず定期的に保守点検をして下記のような異常がないか確認してください。
・ ポッドの破れ、クランプの欠けやクラックの有無
・ 皿ねじ、装置への取付ボルトの緩み
・ 周辺に干渉するなど、異常な動きがないか
ねじ類に緩みが発生している場合は、増し締めを行ってください。
・ 皿ねじの締付トルク:1.5~2[N・m]
・ 装置への取付ボルトの締付トルク:3.6[N・m](参考値)