对于不适合使用安装支架的情形,请参考附录A:安装硬件设计中的支架设计要求和制造商要求。在某些情况下,由于支架设
计时几何形状的不准确或安装设定的原因,可能无法达到这一安装公差。随着测量轴和XR20-W轴之间平行度误差的增
加,XR20-W测量产生的误差也随之增加。下表说明特定平行度公差会产生的XR20-W测量误差。注:根据此误差的符号,轴
测量结果可能比实际情况更差或更好。
安装干涉镜
有关不同机床类型光学镜组配置的详细信息,请参阅光学镜组设定一节。
根据被测机床类型的要求,将磁力表座/支柱/干涉镜安装到主轴/机床工作台上。为获得最佳的测量精度,请确保尽可能以最少
的加长杆稳固安装干涉镜。
光学镜组准直
这样就完成了光学镜组准直程序。
1. 如上节所述,根据标称值定位XL-80、XR20-W和干涉镜。
2. 将气泡水平仪放在激光系统上,并调整三脚架确保其保持水平。
3. 将回转轴与线性轴移至XR20-W最接近干涉镜的位置。
4. 根据需要调整组件与轴的位置,以确保不会发生碰撞。
5. 在整个行程范围内将激光系统对准线性轴,以进行测试设定。
6. 保持平面镜对着干涉镜的表面并旋转干涉镜,使光束反射回激光系统的输出孔。注:这时激光系统可能发生不稳现象。
7. 在线性轴上重新检查准直情况,并平移XL-80或干涉镜,修正前一个步骤产生的任何准直偏差。
8. 将回转轴固定至旋转行程的一个末端,运行测试。
9. 移动线性轴,以使干涉镜与XR20-W呈一直线,并检查是否达到最大信号强度。
10. 将机床移至行程的另一末端进行测试设定,然后重复上述两个步骤。