Renishaw XM-60 ユーザーガイド

使用指南

F-9921-0209-06-B

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

專利

XM-60 多光束校正儀以及其他類似的 Renishaw 產品的功能受下列一個或多個專

利和/或專利申請保護：

CN 101715540 US 2016/0169710

CN 105637326 US 5975744

EP 3028011 US 6473250

GB 2337339 US 6597505

IN WO2015/015213 US 7304815

JP 2015/015213 US 8368887

JP 4499924

零件編號

F-9921-0209-06-B

版本:

10.2019

法規資訊

免責聲明及保固資訊商標

Renishaw 公司有權對本文檔及本文檔所述的產品進行更改，恕不另行通知。

免責條款

RENISHAW竭力確保在發佈日期時，此份文件內容之準確性及可靠性，但對文件

內容之準確性及可靠性將不做任何擔保。RENISHAW概不會就此文件內容之任何

不正確或遺漏所引致之任何損失或損害承擔任何法律責任。

保固

在保固期限內的設備若需要服務支援，應該將其送回您的設備供應商來處理。

除非您與Renishaw 雙方訂定有特別的條款，否則若您向Renishaw 公司所採購的

設備其所適用之保固條款將會包含在 Renishaw 的 “銷售條件” 中。您應該諮詢

相關保固條件已確認您的保固內容，但總體而言，設備若有下列主要情形時，將不

在保固範圍內：

• 因疏忽、處理失當或使用不當；抑或

• 未經事先取得Renishaw 的同意，將設備以任何方式修改或更動。

若您的設備是採購自其他的供應商，您應該與他們取得聯繫，以詳細了解其保固條

款所包含的維修內容。

商標

RENISHAW及RENISHAW公司徽標中的測頭符號是Renishaw公司在英國及其他國

家或地區的註冊商標。apply innovation,及其他Renishaw產品和技術的名稱與命

名是Renishaw plc及旗下子公司的商標。

本文件中使用的所有其他品牌名稱和產品名稱為各自所有者的商品名稱、服務標

誌、商標或註冊商標。

Copyright

未經 Renishaw 公司事先書面許可，不得以任何形式，將本文檔部分或全部拷貝

或轉到任何其他媒介或語言。

出版本文檔所含材料並不暗示 Renishaw 公司放棄對這些材料的專利權。

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

法規資訊

國際規範及遵循

EC 符合性

Renishaw plc 聲明，XM-60 產品遵照適用的標準及相關法規。歡迎索取 EC 符合

性聲明的完整副本。

符合 BS EN 61010-1:2001，本產品在下列環境條件下可安全使用：

• 僅在室內使用

• 海拔最高 2000 公尺

• 當溫度為31 °C 時，最大相對濕度（不凝結）為80％，當溫度

到達40 °C 時，相對濕度線性減少到50%。

• 污染度 2

電池處置方式

詳情請參閱相關電池製造商的網站：

Varta: https://www.varta-storage.com/produkte/power/cellpac-lite/

在電池、包裝或隨附文件中使用本符號，表示電池不可與普通家庭廢

品混合處理。請將用過的電池棄置於指定的回收地點。如此可防止不

當的廢棄物處理對環境及人類健康造成不良影響。請洽詢您所在地的

機關或廢棄物處置服務中心，瞭解該如何隔離回收和處置電池。所有

鋰電池和可充電電池在棄置之前，都必須完全放電或進行避免短路的

保護處理。

包裝

包裝組成材料

94/62/EC

代碼

94/62/EC

編號

外箱紙板

PAP 20

內襯紙板

PAP 20

包裝袋低密度聚乙烯

LDPE 4

REACH 法規

(EC) 1907/2006 號法規 (「REACH」) 第 33(1) 條就含有高度關注物質

(Substances of Very High Concern, SVHC) 產品所要求的相關資訊，請造訪：

www.renishaw.com.tw/REACH

RoHS 符合性

符合 EC 指令 2011/65/EU (RoHS)

WEEE 指令

在 Renishaw 產品和/或隨附文件中使用本符號，表示本產品不可

與普通家庭廢品混合棄置。根據光纖回收處理需求，該裝置需送回

Renishaw 進行處置。請聯絡您當地的 Renishaw 分公司或辦事處

以安排回收事宜。正確棄置本產品有助於節省寶貴的資源，並防止對

環境的消極影響。如需更多資訊，請與您當地的 Renishaw 分公司或

辦事處聯絡。

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

無線電通訊

XM-60 系統內使用的無線通訊模組經過包括歐盟、EFTA 國家、美國及加拿大等地

區的預先審核。

模組製造商：

Laird plc

零件編號：

TRBLU23-00200

FCC ID: FCC ID PI401B

模組 ID 號碼： 1931 B-BISMII

有關此裝置的國家無線電許可詳細資訊，請參閱校正產品的品質與符合性網頁上的

無線電裝置法規文件。

有關無線電許可國家特定聲明的更多資訊，可在下面找到：

Singapore

Reg. No. N1116-17

Complies with

IDA Standards

DA104642

Mexico

La operación de este equipo está sujeta a las siguientes dos condiciones:

(1) es posible que este equipo o dispositivo no cause interferencia perjudicial y

(2) este equipo o dispositivo debe aceptar cualquier interferencia, incluyendo la

que pueda causar su operación no deseada.

Taiwan

低功率電波輻性電機管理辦法

第十二條經型式認證合格之低功率射頻電機，非經許可，公司、商號或使用者均不

得擅自變更頻率、加大功率或變更原設計之特性及功能。

第十四條低功率射頻電機之使用不得影響飛航安全及干擾合法通信；經發現有干擾

現象時，應立即停用，並改善至無干擾時方得繼續使用。前項合法通信，指依電信

規定作業之無線電信。低功率射頻電機須忍受合法通信或工業、科學及醫療用電波

輻射性電機設備之干擾。

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

法規資訊

美國和加拿大法規

FCC

使用者須知（47CFR:2001第15.19款）

本設備符合FCC規則第15款要求。其操作應滿足以下條件：

本設備不會產生有害的干擾。

本裝置必須接受任何收到的干擾，包括可能引起意外操作的干擾。

使用者須知（47CFR:2001第15.105款）

本設備已經過測試並確認通過A類數位裝置的限度，符合FCC規則第15款要求。這些

限制旨在提供合理保護，避免設備在商業環境中運轉時產生有害的干擾。本設備產

生、使用並輻射無線電頻率能量，如果未能遵照本使用指南指示使用，可能對無線

電通訊產生有害的的干擾。在居民區使用本設備可能會產生有害的干擾，你需自費

解決干擾問題。

使用者須知（47CFR:2001第15.21款）

使用者應該注意，任何未經Renishaw plc或其授權代表明確批准的變更或修改將導

致使用者操作本裝置的權利失效。

特殊配件 (47CFR:2001 第 15.27 款)

使用者同時必須注意，任何諸如電腦等與該設備連接的周邊裝置，必須採用優質的

屏蔽電纜連接，從而確保符合FCC限制的要求。

加拿大 – 加拿大工業部（IC）

本設備符合加拿大工業部的RSS 210規則。其操作會受限於以下兩個狀況：（1）

該裝置不會造成干擾，並且（2）該裝置必須能夠耐受任何干擾，包括可能導致該

裝置非預期操作的干擾。

L’utilisation de ce dispositif est autorisée seulement aux conditions suivantes :

(1) il ne doit pas produire d’interference et (2) l’utilisateur du dispositif doit étre

prêt à accepter toute interference radioélectrique reçu, même si celle-ci est

susceptible de compromettre le fonctionnement du dispositif.

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

法規資訊 ...............................2

安全資訊 ...............................7

安全標籤 ................................ 8

機械安全 ................................ 9

雷射光學安全 ............................ 9

電子及電力安全.......................... 10

電池安全性 ............................. 10

光纖安全 ............................... 11

量測原理 ..............................12

XM-60 多光束校正儀 ..................... 12

系統組件 ..............................14

XM-60 系統套件 ......................... 14

XM-600 系統套件 ........................ 15

雷射 / 啟動裝置 ...................... 16

接收器............................... 17

校正軟體套件 ......................... 18

XC-80 環境補償器........................ 19

夾具配件 ............................... 20

用於 CMM 的其他配件.................... 21

設定測試 ..............................22

測試注意事項 ........................... 22

使用 CARTO 軟體快速設置系統 ............ 24

測試一覽 ............................... 25

XM-60 設定 ............................ 26

XC-80 設定............................. 28

對光的基本規則.......................... 29

對光一覽 ............................... 30

目視軸對齊 ........................... 31

細部軸對齊 ........................... 34

接收端對齊 ........................... 36

資料擷取 ............................... 37

資料分析 ............................... 39

診斷及故障排除 ........................40

雷射 LED 指示燈 ........................ 40

接收器 LED ............................ 41

電池充電器 LED ......................... 42

系統故障排除 ........................... 43

量測故障排除 ........................... 44

維護及搬運 ............................45

系統................................... 45

導管 .................................. 45

光學鏡組 ............................... 45

系統規格 ..............................46

性能規格 ............................... 47

操作及存放環境.......................... 48

無線電通訊 ............................. 49

PICS 連接器（僅限 XM-600） ............. 49

接收器電池及充電器 ...................... 50

電源裝置 ............................... 51

重量及尺寸 ............................. 52

尺寸 (雷射源)............................ 52

尺寸 (發射器) ........................... 53

尺寸 (接收器)............................ 54

附錄 A ...............................55

更換接收端電池.......................... 55

附錄 B ...............................56

使用 90 度支架 ......................... 56

附錄 C ...............................57

記號偵測 ............................... 57

附錄 D ...............................58

工具機夾具套件良好實務指南 ............... 58

附錄 E ...............................63

CMM 上的XM 系統架設範例 ................ 63

附錄 F ...............................64

真直度量測 ............................. 64

角度誤差 ............................... 65

XM 設定最佳實務 ......................... 66

7

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

安全資訊

在使用控制元件、調整元件或操作時，若不按照本文所述的步

驟進行，可能會受到有害紅外線輻射的照射。

使用 XM 系統之前，請確定你已閱讀並理解 XM

系統使用指南內容。

XM 系統可用於各種不同環境及應用項目，首重確保使用者及附近其他人員的安

全，因此在使用 XM 系統之前，應針對測試機器執行全面風險評估。此動作應由

合格使用者 (需具備機器操作資格、應用技術知識及訓練有素的風險評估人員)在

考慮所有人員安全的情況下執行。必須先行降低已識別到的風險，再使用產品。應

特別注意機器、手動處置、機械、鐳射、電子、功率及光纖安全的風險評估。

目前的研究结果顯示，本產品中使用的無線裝置不會對絕大多數起搏器配戴者造成

重大的健康威脅。但是，起搏器配戴者可能希望確保 XM 與起搏器之間至少保持

3 cm 距離。

8

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

安全標籤

XM 系統內沒有使用者可自行維護的部件。請勿拆除外殼的任何部

分；否則使用者可能遭受高電壓及／或 3R 級雷射的照射。

使用XM系統之前，請確定您已閱讀並理解XM系統指南

遵守 FDA 雷射產品效能標準，除了2007年 6 月 24 日雷射公

告第 50 號文規定的偏離。

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XM-60 / XM-600 多光束校正儀

機械安全

• 在設定和安裝 Renishaw XM 和 XC-80 系統時，應提防擠壓及／或碾壓的危

險，如磁力固定底座可能產生此種危險。

• 使用 XM 及 XC-80 系統時，應當心被電纜線絆倒的危險。

• 如果元件要安裝在運動或旋轉機械上，應小心操作。謹防電纜線糾纏在一起。

• XM 和 XC-80 系統元件安裝在高加速或高速運動的機械上時需十分小心，機

械運動時可能導致物體碰撞或被彈出。

• 如果需要在防護罩去除或其他安全功能失效的情況下操作機器，操作者有責任

根據機器製造商的操作指南或相關實際方法採取變通的安全措施。

• 如果使用 Renishaw 軟體產生的工件程式或誤差修正參數，則使用者有責任

在低進給率下對其進行驗證，並隨時準備在必要時按下機器的緊急停止按鈕。

• 箱內的 XM 系統重量約 24 kg（若包含工具機安裝夾具配件則為 31kg

）

。

使用者應格外注意並依照當地的手動操作準則執行。

雷射光學安全

• 根據 (IEC) EN60825-1 的規定，XM 系統為第 2M 級雷射光，因此不要求

配戴保護眼罩（正常情況下，在雷射光對眼睛造成傷害之前，眼睛會眨並望向

別處，因此不會造成眼睛傷壞）。

• 請勿直視雷射光束或觀看如望遠鏡、聚光鏡或雙筒望遠鏡光學設備，因為這會

造成永久視力傷害。請勿將光束射向其他人的眼睛或射向可能有與雷射作業無

關人員在場的區域。在系統準直調整期間，觀察經散反射的光束則是安全的。

• FDA 符合性（美國）— 除了依據 2007 年 6 月 24 日公佈的第 50 號雷射

通告規定的偏離外，符合 21CFR1040.10 及 1040.11 標準規定。

將遮罩轉至關閉位置（圖中的右側位置）確保沒有光束散發。

10

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

電源接頭開／關式開關

電子及電力安全

• 不得讓電源裝置接觸液體，例如地板上的冷卻劑。

• 電源裝置不得放置於機器內部空間中。

• XM 系統已通過認證，可和系統隨附的電源裝置搭配使用。

本電源裝置的規格可在這裡找到。

• 電源裝置配線部分的單相電源遭破壞時（電源導線），必須

先隔離所有電源與設備，再採取其他動作。

• 切勿將不屬於XM系統的裝置連接至該裝置。

電池安全性

XM 多光束校正儀隨附充電電池。電量用盡後，請使用隨附的充電器為電池充

電。請勿試圖以其他方式為電池充電。

為了符合特定電池的操作需求、保持安全並遵守棄置規範，請參閱電池製造商的說

明文件。

• 務必更換規格相符的電池類型。

• 確保所有電池按正確的極性插入。

• 請勿置於陽光可直接照射處。

• 請勿將電池加熱或投入火中處置。

• 請勿使電池短路或強制放電。

• 請勿對電池進行拆解、穿刺、變形或施加過度壓力。

• 請勿吞食電池。

• 請將電池置放於孩童無法接觸到的地方。

• 請勿讓電池受潮。

• 若電池受損，處理時請務必小心。

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XM-60 / XM-600 多光束校正儀

電池安全性

運輸

在運輸電池或 XM 系統套件時，請確保符合國際和所在國家的電池運輸規範。

XM 系統使用鋰離子電池。鋰電池歸類為危險貨物，且空運時會受到嚴格管控。為

了減少運輸延期的風險，若您需要將 XM 系統寄回 Renishaw 公司，切勿要包含

任何電池於XM系統中。

大多數航空公司皆禁止在飛機上操作無線設備，以防止干擾通訊系統。登機前請取

出接收器中的電池，以確保不會不當開啟。

光纖安全

XM 系統內含光纖。在少數情況下，如果柔性鋼管斷裂或割斷，可能因此產生光纖

碎塊。

光纖碎塊可能非常微小且極為鋒利。如果光纖碎塊進入皮膚，則需要立即進行醫療

救治。

如果光纖損壞，則應遵循下列程序（請留意受影響區域可能包含未連接光纖的碎片

並會產生危險）：

• 請立即關閉 XM 系統電源、

• 在處理損壞或外露的光纖時，配戴護目鏡和手套、

• 小心的從加工機中移出 XM 系統，且裝置應採用適合的厚壁紙箱包裝，在紙

箱外部清楚標明「注意：光纖外露，小心處理」、

• 送回至最近的 Renishaw 營業處。

不要嘗試從雷射裝置上維修或拆解光纖。

註：光纖碎塊不會在 X 光透視下顯示。

12

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

XM 是一套能測量六自由度的雷射量測系統：

• 沿線性軸

• 任何方向

• 從單一設置

可量測的誤差有：

• 運動軸線性定位

• 垂直面角旋轉 (前後傾角)

• 水平面角旋轉 (偏轉角)

• 垂直面真直度偏差

• 水平面真直度偏差

• 關於線性軸移動的側轉角

量測原理

XM 多光束校正儀

13

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

XM 使用三道雷射光束 (1、2 和 3) 並透過干涉測量法測量線性、前後傾角與偏

轉角誤差。真直度與側轉角量測使用發光二極體 (LED) 光束 (4)。

基本量測概念為：

角度

三道干涉量測光束提供線性量測於發射端和接收端。由於已知這

些光束間的距離，系統便能判斷前後傾角與偏轉角的角誤差。

線性

使用線性與偏轉角量測，根據光束組合 1、2 及 3 判斷線性誤

差，以計算光束 4 位置的線性誤差。

第 4 (二極體來源) 光束用於測量真直度與側轉角。

真直度

利用接收端內的位置量測頭量測垂直及水平真直度誤差，然後透

過無線通訊傳回雷射裝置。

側轉角(Roll)

使用接收端內的側轉角偵測器，以光學方式執行側轉角量測。側

轉角量測於發射端和接收端之間是絕對的。

1

2

3

4

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XM-60 / XM-600 多光束校正儀

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12

11

7

1

系統組件

XM-60 系統套件

1

雷射 / 發射裝置

2

接收器

3

磁性基座

4

M8 柱 × 4

5

90 度支架

6

鋰聚合物電池 3.7v × 3

7

電池充電器

8

夾鉗塊 × 2

9

光束罩

10

水準儀

11

纜線夾 × 3

12

(關於旋轉應用，請參閱XR20-W 旋轉軸

校正手冊取得詳細資訊)

15

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

8

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2

5

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1

雷射 / 發射裝置

2

接收器

3

磁性基座

4

M8 柱 × 4

5

90 度支架

6

PICS 連接器（僅限 XM-600）

7

鋰聚合物電池 3.7v × 3

8

電池充電器

9

夾鉗塊 × 2

10

光束罩

11

水準儀

12

纜線夾 × 3

13

光束阻擋器（關於旋轉應用，請參閱

XR20-W 旋轉軸校正手冊取得詳細資訊）。

系統組件

XM-600 系統套件

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XM-60 / XM-600 多光束校正儀

雷射 / 啟動裝置

雷射包含氦氖 (HeNe) 雷射管，可透過光纖為發射端提供雷射光束。另外，雷射

也包含信號處理電子元件。

雷射光束在發射端中分成三道光分別進行線性與角度量測。也含有二極體光束來源

可進行側轉角和真直度量測。

1

無線通訊模組

2

USB 連接埠

3

PICS 連接器（僅限 XM-600）

4

系統狀態 LED

5

電源接頭

6

開 / 關式電源開關

7

雷射安全遮罩

8

磁性安裝安全銷

(防止意外磁性運作)

9

磁性夾開/關桿

10

前後傾角調整器

11

偏轉角調整器

1

2

4

5 3

1

2

6

4 53

8

9

10

7

11

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XM-60 / XM-600 多光束校正儀

接收器

接收器內含三個用於雷射光束干涉量測的反射鏡。其中也包含用於二極體光束量測

真直度與側轉角的感應器，此感測器的資料將透過無線通訊傳送至雷射裝置。

光束罩透過「推入定位」安裝於接收器側轉角孔上。

1

光束罩

2

側轉角調整器

3

遮罩

4

電池釋放按鈕

5

電源按鈕

6

接收端/電池狀態 LED

5

2

6

3

1

4

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XM-60 / XM-600 多光束校正儀

CARTO 軟體套件

XM 系統可搭配 CARTO 軟體套件使用。套件由兩個應用程式組成；Capture 用

以收集雷射干涉儀的資料，Explore 用以提供強大的分析。

www.renishaw.com.tw/carto

附註：在配備 Renishaw UCC 系統的 CMM 上使用

時，XM-600 支援額外功能。存取此功能的方式是使用

UCC Assist（UCC Suite – CMM 控制器軟體套件的一部

分）。 UCC Suite V5.4 支援 XM-600。

UCC Assist 支援 XM-600 獨有的額外功能，並包含關於如何使

用 XM-600 校正配備 UCC 之 CMM 的支援資訊。

19

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

XC-80 環境補償器

XM 用於干涉法量測的規定精度僅限於搭配校準過的 XC-80 環境補償器使用時才

有效。

氣溫、壓力與相對濕度的改變可能影響雷射光的波長，因此擷取的量測讀數也會改

變。

XC-80 環境補償器及其感測器會以極精密的方式量測環境條件，並補償因氣溫、

氣壓和相對濕度變化的雷射光束波長。

註：如需有關 XC-80 操作及規格的完整詳細資訊，請參閱 XC-80 使用指

南。

20

XM-60 / XM-600 多光束校正儀

夾具配件

可選購夾具套件，可為使用者提供更靈活的安裝選擇，尤其是在有磁性表面時。

夾具套件的典型應用包括：

• 懸掛 XM 發射單元以便量測軸的全行程

• 將發射單元固定於車床或車銑工具機的夾頭（請參閱附錄 D）

1

450 mm 鋁擠

350 mm 鋁擠

250 mm 鋁擠

200 mm 鋁擠

150 mm 鋁擠

2

鋁擠接頭 × 8

3

磁鐵 × 5

4

鋁擠調整輔助工具 × 2

5

車床連接器

6

固定板

7

六角螺絲起子 × 3

7

1

2

3

4

5

6

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